Fẹ́lẹ́ẹ̀tì Gíráfítì Rírọ

Gẹ́gẹ́ bí olùpèsè Soft Felt Insulations ní China, Soft Graphite Felt ti Semixlab jẹ́ ọ̀kan lára ​​àwọn ohun èlò erogba oníwọ̀n otutu gíga tí a ṣe fún ṣíṣe semiconductor. A ṣe é láti inú okùn erogba oníwà mímọ́ gíga tí a sì tún ṣe àtúnṣe nípasẹ̀ graphitization tí a ṣàkóso, Graphite Soft Felt wa ń pese ìṣiṣẹ́ ooru tí ó kéré àti ìbámu ẹ̀rọ tí a nílò nínú àwọn ilana ooru tí ó le koko jùlọ, títí bí epitaxy, diffusion, annealing, àti ion implantation. Semixlab soft insurance jẹ́ ohun èlò tí kò ṣe pàtàkì nínú ṣíṣe semiconductor thermal processing. A ń retí ìbéèrè yín.

Nínú àwọn ìlànà epitaxy bíi MOCVD àti LPE, ìṣàkóso ooru tí ó péye ní ipa taara lórí ìwà ìdàgbàsókè kristali, ìṣedéédé doping, àti ìrísí ojú ilẹ̀. Semixlab Soft Graphite Felt ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ìpele ìdábòbò ooru tí ó lágbára tí ó ga jùlọ láàrín agbègbè gbígbóná àti àwọn àkójọpọ̀ graphite pàtàkì tí ó yí i ká, tí ó ń ran lọ́wọ́ láti dín àdánù ooru parasitic kù kí ó sì dúró ṣinṣin ìpínkiri iwọn otutu nítòsí suscepter. Nípa mímú pápá ooru kan náà àti fífi ìdààmú thermomechanical láàrín àwọn èròjà graphite àti quartz, aṣọ náà dín ìbọn wafer kù, ó dín àwọn microcracks nínú ohun èlò graphite kù, ó sì ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìṣẹ̀dá fẹlẹfẹlẹ epitaxial tí ó dúró ṣinṣin. Ètò rẹ̀ tí ó rọ̀, tí ó lè tẹ̀ mọ́ra tún ń gba àwọn àìbáramu ìfẹ̀sí ooru, ó ń fa ìgbésí ayé iṣẹ́ ti àwọn àkójọpọ̀ agbègbè gbígbóná pẹ́lú ìdínkù agbára ètò gbogbogbò.

Nínú àwọn ilé ìgbóná tí ó ní ìgbóná gíga, Soft Graphite Felt ń jẹ́ kí àwọn àyíká ooru tí ó dúró ṣinṣin, tí a lè tún ṣe pàtàkì fún ìṣiṣẹ́ dopant àti ìṣẹ̀dá ìsopọ̀. Ìgbékalẹ̀ ooru rẹ̀ tí ó kéré gan-an àti ìfọ́síta gaasi tí ó kéré ń ṣẹ̀dá ìdènà ìdènà tí ó mọ́, tí a ṣàkóso tí ó ń dáàbò bo àwọn ọ̀pọ́ù quartz àti àwọn modulu heater kúrò lọ́wọ́ àwọn ìyípadà ooru kíákíá. Èyí ń mú kí ìṣọ̀kan iwọn otutu pọ̀ sí i ní gbogbo àwọn ìyípo ìtànkálẹ̀ gígùn àti dín ewu ìkọlù ooru kù, ó ń ran lọ́wọ́ láti pa ìgbẹ́kẹ̀lé ilé ìgbóná mọ́ àti láti mú kí ìṣọ̀kan ìtẹ̀síwájú dopant pọ̀ sí i ní gbogbo àwọn ìpele wafer. Agbára ohun èlò náà láti kojú àwọn àyíká oxidizing àti inert ní àwọn iwọ̀n otutu tí ó ga ń mú kí ìbáramu tí ó lágbára pẹ̀lú onírúurú àwọn kemistri ìtànkálẹ̀.

Semixlab Soft Graphite Felt tún ń kó ipa pàtàkì nínú àwọn ìlànà ìfọ́ semiconductor, láti ìfọ́ iná ìléru àdáni dé ìfọ́ iná ìgbóná kíákíá (RTA) àti àwọn ìgbésẹ̀ carbonization tí ó ga tí a lò nínú àwọn ìmọ̀-ẹ̀rọ SiC àti GaN wafer. Ìṣètò erogba-carbon rẹ̀ ń pa ìdúróṣinṣin ìṣètò mọ́ ju 2000°C lọ lábẹ́ àwọn ipò àìlera ó sì dúró ṣinṣin ní àyíká hydrogen, nitrogen, àti vacuum. Èyí mú kí ohun tí a fi ń hun aṣọ náà dára fún dídáàbòbò àwọn ohun èlò inú ilé ìtura, mímú ìṣọ̀kan ooru dúró, àti dídènà ìbàjẹ́ nígbà ìfọ́ iná ìtura, àwọn ìgbésẹ̀ ìṣiṣẹ́, àti àwọn àkókò àtúnṣe àbùkù. Rírọ̀ tí ohun èlò náà ní jẹ́ kí ó ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ìdènà àti ohun èlò ìpamọ́ ẹ̀rọ, ó ń ran àwọn ohun èlò graphite lọ́wọ́ láti dúró ṣinṣin nípasẹ̀ ìyípo ooru tí a ń ṣe lẹ́ẹ̀kan sí i àti rírí i dájú pé ìṣọ̀kan ìgbà pípẹ́ ti profaili ooru annealing.

Àwọn ètò ìfàmọ́ra ion—pàápàá jùlọ àwọn tí ó nílò àtúnṣe ooru lẹ́yìn ìfàmọ́ra—ní àǹfààní púpọ̀ láti ọ̀dọ̀ Soft Graphite Felt nítorí ìṣẹ̀dá patiku rẹ̀ tí ó kéré gidigidi, mímọ́ kemikali, àti ìdènà ìgbóná ooru. Àwọn ànímọ́ ìdènà àti ìrọ̀rùn ti fel náà ń dáàbò bo àwọn ẹ̀yà graphite inú nígbà tí wọ́n bá ń yí iwọ̀n otútù líle tí ó ní í ṣe pẹ̀lú ìfàmọ́ra agbára gíga àti àwọn ìtẹ̀lé ìfàmọ́ra tí ó tẹ̀lé e. Àìlera kemikali rẹ̀ ń dáàbò bo àwọn wafers àti hardware kúrò nínú ìbàjẹ́ irin.

Jákèjádò àwọn ìlànà semiconductor mẹ́rin wọ̀nyí, Soft Graphite Felt ti Semixlab ń pèsè ojútùú pípéye sí àwọn ìpèníjà ooru, ẹ̀rọ, àti mímọ́ tí ó wà nínú iṣẹ́ wafer òde òní. Agbára rẹ̀ láti mú kí ìpínkiri ooru dúró ṣinṣin, dín ewu ìbàjẹ́ kù, àti láti dáàbò bo ilé ìtura àti ohun èlò epitaxy mú kí ó jẹ́ ohun èlò pàtàkì fún ìṣàkóso ìlànà tí ó péye. A ṣe é pẹ̀lú àwọn ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ tí ó le koko tí ó sì wà ní àwọn ìwọ̀n, ìwúwo, àti ìwọ̀n tí a lè ṣe àtúnṣe, Soft Graphite Felt wa ń ṣepọ láìsí ìṣòro sínú àwọn reactors MOCVD, àwọn ìléru ìfọ́sókè, àwọn modulu annealing, àwọn ohun èlò ìfilọ́lẹ̀ ion, àti àwọn ètò ìgbóná gíga mìíràn.