Adani sic ti a bo wafer susceptor

Susceptor wafer ti a bo SiC jẹ paati pataki ni iṣelọpọ semikondokito, pataki ni awọn ilana idagbasoke epitaxial gẹgẹbi MOCVD, PECVD, ati CVD. O ṣe iranṣẹ bi agbẹru iduroṣinṣin ti o ṣe atilẹyin awọn wafers labẹ iwọn otutu giga, ipata, ati awọn agbegbe igbale, ni idaniloju gbigbe ooru aṣọ ati sisẹ laisi idoti. Nipa lilo aṣọ ibora CVD SiC sori alamọja lẹẹdi mimọ-giga, alailagbara ṣajọpọ iṣẹ ṣiṣe igbona ti o dara julọ pẹlu resistance kemikali ti o ga julọ-ti o jẹ ki o ṣe pataki fun iṣelọpọ semikondokito iran atẹle.

Ohun elo Tiwqn & Ti ara Properties

Susceptor SiC Wafer ti a ṣe adani lati Semixlab jẹ iṣelọpọ ni lilo awọn ohun elo pataki meji:

CVD SiC Aso

● Lile Iyatọ (Mohs 9+) ati agbara

● High ti nw (> 99.999%) lati gbe patiku iran

● Inertness kemikali ti o dara julọ lodi si awọn gaasi ipata (HCl, NH₃, H₂, bbl)

●Iduroṣinṣin gbona titi di ** 1600 ° C

● Ipon, sisanra ti a bo aṣọ fun igbesi aye iṣẹ pipẹ

Ga-Purity Graphite Susceptor

● Imudara igbona giga fun pinpin iwọn otutu iduroṣinṣin

●Lightweight be akawe si monolithic seramiki

●Itọpa-ẹrọ lati pade awọn ibeere flatness wafer ti o muna

●Stable darí agbara labẹ gbona gigun kẹkẹ

Awọn ohun-ini idapo wọnyi jẹ ki ifarasi ti a bo SiC jẹ sooro pupọ si mọnamọna gbona, ogbara pilasima, ati idoti patiku, ni idaniloju didara wafer deede.

Awọn ohun elo ni Semikondokito Processing

Susceptor wafer ti SiC ti a bo ni lilo pupọ ni awọn ilana semikondokito to ti ni ilọsiwaju, pataki ni:

● Growth Wafer Epitaxial (Iṣelọpọ Epi Wafer): Ṣe idaniloju alapapo aṣọ ati dinku teriba wafer lakoko ifisilẹ apọju ti SiC, GaN, GaAs, ati awọn semikondokito agbo miiran.

●MOCVD & Awọn ilana CVD: Pese iduroṣinṣin kemikali, oju-mimọ giga fun fifisilẹ fiimu tinrin aṣọ.

● LED & Iṣẹ iṣelọpọ Semikondokito Agbara: Ṣe atilẹyin awọn wafer LED imọlẹ-giga ati awọn ohun elo bandgap jakejado ni awọn iyẹwu idagbasoke iwọn otutu giga.

● Giga-Ooru Annealing & Itankale : Ṣe itọju iduroṣinṣin igbekalẹ labẹ awọn iyipo igbona ti o leralera lakoko idilọwọ ibajẹ.

Nipa gbigbe gbigbe ooru silẹ ati mimu iduroṣinṣin dada, alailagbara taara ni ipa lori ikore wafer, iṣọkan, ati idinku abawọn — ṣiṣe ni paati pataki-pataki ni awọn laini ilana epitaxial.

Awọn anfani Idije Semixlab

Ni Semixlab, a pese diẹ sii ju awọn paati boṣewa — a fi jiṣẹ awọn solusan ti o ni ibamu ti o pade awọn ibeere ibeere ti awọn aṣelọpọ semikondokito:

Amoye isọdi

Apẹrẹ ati iṣelọpọ ti awọn alailagbara ni awọn titobi oriṣiriṣi, awọn apẹrẹ, awọn sisanra ti a bo, ati awọn geometries lati baramu kan pato MOCVD/CVD reactors.

SiC Ti a bo Wafer dimu

Silicon Carbide ti a bo Wafer Susceptor

Imọ imọran

Ẹgbẹ imọ-ẹrọ ti o ni imọran n pese awọn iṣeduro ilana-pato lati mu ikore wafer dara ati fa igbesi aye alailagbara.

Igbeyewo Ipo to gaju

Gbogbo awọn ọja faragba idanwo lile fun iduroṣinṣin gbona, resistance kemikali, ati agbara ṣiṣe ẹrọ labẹ awọn ipo ilana gidi.