EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC Bo Wafer Susceptor
| Ibi ti Oti: | China |
| Brand Name: | Semixlab |
| Awoṣe Number: | SiC Ti a bo Wafer Susceptor-01 |
| iwe eri: | ISO9001 |
| Kere Bere fun opoiye: | Koko-ọrọ si idunadura |
| Iye: | Olubasọrọ fun adani Quotation |
| Apoti alaye: | Standard okeere package |
| Akoko Ifijiṣẹ: | 15-30 Ọjọ Lẹhin Ìmúdájú Bere fun |
| Owo ofin: | T / T |
| Ipese Agbara: | 2000pcs / osù |
Apejuwe
SiC Coated Wafer Susceptor jẹ paati bọtini ti a lo ninu awọn ilana iwọn otutu bii semikondokito, Awọn LED, ati awọn fọtovoltaics. O jẹ lilo ni pataki lati gbe ati awọn wafers igbona (bii Si, GaN, SiC, oniyebiye ati awọn sobusitireti miiran) ninu awọn ilana bii isọdi eeru kẹmika (CVD), itọsi eefin kemikali Organic irin (MOCVD), ati epitaxy. SiC ti a bo pese o tayọ ga otutu resistance, ipata resistance, ati ki o gbona iduroṣinṣin, ati ki o jẹ dara fun simi ilana agbegbe.
ohun elo:
SiC (Silicon Carbide) Susceptor Wafer ti a bo jẹ paati bọtini ti a lo lọpọlọpọ ni iṣelọpọ semikondokito ati awọn ilana iwọn otutu giga, ti a lo ni pataki lati ṣe atilẹyin ati awọn igbona.
Awọn iṣẹ ti o le pese:
itupalẹ oju iṣẹlẹ ohun elo alabara, awọn ohun elo ti o baamu, ipinnu iṣoro imọ-ẹrọ.
Ifihan ile ibi ise:
Semixlab ni awọn ile-iṣẹ 2, ẹgbẹ ti awọn amoye pẹlu ọdun 20 ti iriri ohun elo, pẹlu R&D ati iṣelọpọ, idanwo ati awọn agbara ijẹrisi.
ni pato
imọ sile
| ise agbese | paramita |
| Aṣayan | Awọn ohun elo lẹẹdi mimọ-giga |
| Ohun elo ti a fi bo | Kemikali oru iwadi (CVD) SiC |
| Iwọn iwọn otutu ti o pọju | ≤1800℃ (agbegbe iner / igbale) |
| Akoonu ti aimọ irin | <1ppm |
| Aye roba | Ra≤0.5μm (iyan didan) |
| Iwọn boṣewa | Dara fun 2 ", 4", 6 ", 8" wafers (Iwọn ti a ṣe atilẹyin, irisi, sisanra) |
ohun elo
Awọn aaye ohun elo akọkọ
| Itọsọna ohun elo | Oju iṣẹlẹ aṣoju |
| Ilana otutu ti o ga | Ti a lo ninu awọn ilana iwọn otutu ti o ga julọ gẹgẹbi CVD (iṣiro atumọ kemikali), MOCVD (iṣiro afẹfẹ kemikali irin-irin) tabi idagba epitaxial lati gbe awọn ohun elo siliki tabi semikondokito agbo (gẹgẹbi GaN, SiC) wafers .SiC ti a bo le duro awọn iwọn otutu ti o ga ju 1000 ° C, idilọwọ awọn ohun elo irin ti aṣa lati awọn ohun elo ti o wa ni erupẹ ti o ni idinamọ si awọn ohun elo ti o wa ni erupẹ agbegbe tabi awọn ohun elo ti o wa ni erupẹ. |
| Ẹrọ ẹrọ Semiconductor | Ti a lo ni igbaradi ti awọn ẹrọ agbara SiC ati awọn semikondokito iran-kẹta (bii GaN), ati pe o le koju awọn gaasi ibajẹ (bii H₂, HCl) ati awọn agbegbe iwọn otutu giga. |
| Awọn semikondokito iran kẹta | Awọn ọkọ ayọkẹlẹ ti a bo SiC dara julọ ni ibamu pẹlu awọn iwọn imugboroja igbona ti GaN/SiC wafers, idinku awọn abawọn aapọn ni idagbasoke epitaxial ati imudarasi didara fiimu. |
| Itankale ati annealing | Lakoko doping wafer silikoni tabi ilana annealing (gẹgẹbi annealing annealing lẹhin fifin ion), ibora SiC le duro ni iwọn otutu giga ju 1200°C lati yago fun idoti irin. |
Ijẹrisi ijẹrisi pq ilolupo
Semixlab SiC Coated Wafer Susceptor ti kọja ijẹrisi boṣewa kariaye, didara rẹ ti jẹ idanimọ ni aṣẹ, ati pe o ni nọmba awọn imọ-ẹrọ itọsi, iyọrisi mimọ ibora SiC ti o ju 99.9999%.
Aṣoju ohun elo ilana
Sisẹ sobusitireti lẹẹdi → pretreatment dada → igbaradi ibora SiC → Ṣiṣe-ifiweranṣẹ → Ayẹwo didara → Ninu ati apoti
Nipasẹ iṣapeye ilana ilana gige-eti, Semixlab SiC Coated Wafer Susceptor ti ṣaṣeyọri aṣeyọri imọ-ẹrọ pataki ni awọn ohun elo epitaxial semiconductor giga-giga. Imudara tuntun yii ti jẹ ki aropo agbewọle agbewọle itesiwaju ni ọja semikondokito, nfunni ni iṣẹ ṣiṣe giga kan, ojutu abele ti o munadoko idiyele. Awọn alailagbara wa ti ni imuse ni aṣeyọri ni awọn oju iṣẹlẹ idagbasoke epitaxial gẹgẹbi GaN, SiC, LED, ati awọn ẹrọ agbara, ti n ṣe afihan iduroṣinṣin igbona ti o yatọ, iṣọkan, ati igbesi aye gigun-awọn ifosiwewe bọtini fun awọn ilana ikore-giga.
Fun awọn alaye imọ-ẹrọ alaye, awọn iwe funfun, tabi awọn eto idanwo ayẹwo, jọwọ kan si Ẹgbẹ Atilẹyin Imọ-ẹrọ wa lati ṣawari bii Semixlab ṣe le mu imunadoko ilana epitaxial rẹ pọ si.
ifigagbaga Anfani
Semixlab SiC Bo Wafer Susceptor mojuto awọn anfani
O tayọ ga otutu resistance
Iduroṣinṣin otutu giga: SiC ni aaye yo ti o to 2700 ℃ ati pe o le ṣiṣẹ ni iduroṣinṣin fun igba pipẹ ni agbegbe ilana ti 1000 ℃ ~ 1600 ℃ (gẹgẹbi CVD, MOCVD, idagba epitaxial, bbl), eyiti o dara julọ ju irin alagbara tabi awọn ohun elo alloy aluminiomu. Olùsọdipúpọ̀ ìmúgbòòrò gbigboná kekere, ko rọrun lati dibajẹ ni iwọn otutu giga, ati ṣetọju deede ipo wafer.
Idojukọ mọnamọna gbona: SiC ni adaṣe igbona giga, le yarayara ati paapaa tu ooru kuro, ati dinku eewu ti jija ti o ṣẹlẹ nipasẹ awọn iyipada iwọn otutu lojiji (ti o tọ diẹ sii ju graphite).
O tayọ ipata ati idoti resistance
Sooro si awọn gaasi ipata gẹgẹbi HCl, H2, NH3 (wọpọ ni etching ati awọn ilana epitaxial), idilọwọ awọn ti ngbe lati jẹ ibajẹ ati fa ibajẹ patiku. Iṣẹ ṣiṣe anti-oxidation ti o lagbara, iduroṣinṣin diẹ sii ju graphite ni iwọn otutu ti o ni awọn agbegbe atẹgun (graphite nilo aabo ti a bo, lakoko ti SiC funrararẹ jẹ sooro si ifoyina). SiC ti a bo le se aseyori kan ti nw ti diẹ ẹ sii ju 99.9999% (6N), idilọwọ awọn irin impurities (gẹgẹ bi awọn Fe, Ni) lati contaminating awọn wafer, ati ki o jẹ paapa dara fun ohun alumọni-orisun ati jakejado bandgap semikondokito (GaN, SiC) ẹrọ.
O tayọ gbona elekitiriki ati ki o gbona uniformity
Iṣeduro igbona yara yara ṣe idaniloju alapapo aṣọ ti wafer (dinku sisanra ti ko ni deede lakoko idagbasoke epitaxial). Dara fun awọn ilana igbega otutu iyara ati isubu (gẹgẹbi annealing iyara RTP) lati mu ilọsiwaju iṣelọpọ ṣiṣẹ. Olusọdipúpọ imugboroja gbona ti SiC sunmọ ti ohun alumọni (Si) ati ohun alumọni carbide (SiC) wafers, idinku awọn abawọn lattice ti o ṣẹlẹ nipasẹ aapọn gbona.
Ibamu ati oniru ni irọrun
Awọn ideri SiC le wa ni ipamọ lori awọn sobusitireti gẹgẹbi graphite, molybdenum, ati okun erogba, ni akiyesi mejeeji ina ati agbara giga. Nipasẹ CVD tabi awọn ilana fifin, awọn ẹya idiju ti awọn gbigbe (gẹgẹbi awọn ẹya la kọja ati awọn eroja alapapo ti a fi sii) le ṣe imurasilẹ.
wa Services
Ile itaja Ọja Semixlab
