SiC Ti a bo Epitaxial Susceptor fun Sisẹ Wafer

Agbára Epitaxial Suscepter SiC Coated jẹ́ apá pàtàkì nínú iṣẹ́ ṣíṣe wafer semiconductor, pàápàá jùlọ nínú àwọn ọ̀nà ìdàgbàsókè epitaxial bíi MOCVD, CVD, àti LPE. Gẹ́gẹ́ bí olùgbé wafer nínú àwọn reactors tí ó ní iwọ̀n otútù gíga, afẹ́fẹ́ náà ń rí i dájú pé a gbé ipò tí ó dúró ṣinṣin, ìgbóná ara kan náà, àti iṣẹ́ tí kò ní ìbàjẹ́, èyí tí ó ṣe pàtàkì fún ṣíṣe àwọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial tí ó ga lórí SiC àti àwọn wafer semiconductor oníṣọ̀kan.

Awọn iṣẹ bọtini ni Wafer Processing

1. Kongẹ wafer Support

Sẹ́pítà náà ń pèsè ìpele tó dúró ṣinṣin fún àwọn wáfárì nígbà tí wọ́n bá ń dàgbà sí i. Ìwọ̀n rẹ̀ àti bí ojú rẹ̀ ṣe rọ̀ díẹ̀díẹ̀ máa ń dín ìyípadà wáfárì kù tàbí ìyípadà rẹ̀, èyí sì máa ń mú kí ìdúró kan náà wà ní gbogbo ojú wáfárì náà.

2. Iṣapeye Gbona Management

Pẹlu ipilẹ lẹẹdi kan ati ibora SiC ipon, alailagbara naa daapọ adaṣe igbona giga pẹlu resistance ooru ti o ga julọ. Eyi jẹ ki:

● Yara alapapo ati itutu awọn iyipo

● Pinpin iwọn otutu aṣọ ni gbogbo wafer

● Ilọsiwaju iṣakoso ti sisanra Layer epitaxial ati awọn profaili doping

3. Ibajẹ & Resistance Kontaminesonu

Nínú àwọn ìlànà epitaxial tí ó ní àwọn gáàsì oníbàjẹ́ (NH₃, HCl, Cl₂), ìbòrí SiC ń dáàbò bo ààlà graphite kúrò lọ́wọ́ ìfọ́, ó sì ń dènà ìṣẹ̀dá pàtákì. Fẹ́ẹ̀lì SiC tí ó mọ́ tónítóní ń rí i dájú pé àyíká ìdàgbàsókè mọ́ tónítóní, ó sì ń dín àwọn àbùkù kristali àti ewu ìbàjẹ́ kù.

4. Iṣakoso ilana & Awọn anfani opitika

Awọn ohun-ini opitika ti ibora SiC ngbanilaaye fun wiwọn iwọn otutu ti o da lori infurarẹẹdi deede ati atunṣe ti itujade, idasi si ibojuwo ilana to dara julọ ati idagbasoke epitaxial aṣọ.

Imọ italaya ati awọn ilọsiwaju

Pelu awọn anfani rẹ, SiC wa ti a bo epitaxial suceptors koju awọn italaya imọ-ẹrọ kan:

1. Aso Aso - Iboju SiC ti kii ṣe aṣọ le ja si awọn aaye tabi alapapo wafer aiṣedeede.

● Ilọsiwaju: Lo awọn ilana imudani CVD-SiC to ti ni ilọsiwaju pẹlu awọn igbelewọn ifisilẹ iṣapeye lati ṣaṣeyọri iwuwo giga ati awọn aṣọ aṣọ.

2. Patiku generation – Micro-dojuijako tabi abawọn ninu awọn ti a bo le tu patikulu sinu awọn iyẹwu ilana.

● Ilọsiwaju: Ṣe imuse awọn ilana ibora-pupọ pupọ ati ayewo oju-aye deede lati dinku awọn ewu.

3. S'aiye labẹ simi Awọn ipo - Ifarahan tẹsiwaju si iwọn otutu giga (> 1600 ° C) ati awọn gaasi ipata n kuru igbesi aye ifura.

● Ilọsiwaju: Lo awọn ohun elo ti o nbọ ti iran-tẹle tabi awọn ilana doping SiC lati jẹki agbara ati fa awọn iyipo iṣẹ ṣiṣe.

4. Gbona Wahala Management - Awọn oṣuwọn imugboroosi oriṣiriṣi laarin sobusitireti lẹẹdi ati ibora SiC le fa aapọn.

● Ilọsiwaju: Ṣe ilọsiwaju ẹrọ sobusitireti ati sisanra ti a bo lati dọgbadọgba imugboroja igbona ati ṣe idiwọ delamination.

Semixlab SiC Ti a bo Epitaxial Susceptor kii ṣe dimu wafer nikan-o jẹ oluṣe mojuto ti idagbasoke epitaxial didara giga ni ile-iṣẹ semikondokito. Nipa sisọ awọn italaya ni isokan ti a bo, aapọn gbona, ati iṣakoso patiku, Semixlab pese igbẹkẹle, awọn solusan pipẹ ti o pade awọn ibeere lile ti iṣelọpọ semikondokito iran atẹle. Semixlab nireti lati di alabaṣepọ igba pipẹ rẹ ni Ilu China.