EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Lẹẹdi isostatic mimọ-giga fun semikondokito
Lẹẹdi isostatic mimọ-giga jẹ ohun elo ilọsiwaju bọtini ni iṣelọpọ semikondokito, Pẹlu isokan gbona rẹ, iwọn konge, ati iṣẹ ti ko ni idoti, graphite isotatic jẹ pataki ni ilọsiwaju awọn ilana semikondokito bii MOCVD, RTP, tan kaakiri, ati SiC epitaxy. iwuwo aṣọ rẹ ati ẹrọ ti o dara julọ ngbanilaaye iṣelọpọ deede ti eka, awọn paati iṣẹ ṣiṣe giga. Nwa siwaju si ijumọsọrọ rẹ siwaju sii.
Apejuwe
ni pato
| Awọn ohun-ini ti ara ti graphite isostatic | ||
| ohun ini | Unit | Aṣoju Iye |
| Iwuwo Pupọ | g / cm³ | 1.83 |
| líle | HSD | 58 |
| Gbigba agbara Itanna | μΩ.m | 10 |
| Agbara Ọpọlọ | MPA | 47 |
| Agbara Igbaradi | MPA | 103 |
| Agbara Ijapa | MPA | 31 |
| Modulu ọdọ | GPA | 11.8 |
| Imugboroosi Gbona (CTE) | 10-6K-1 | 4.6 |
| Iwa Gbona | W·m-1· K-1 | 130 |
| Apapọ Ọkà Iwon | μm | 8-10 |
| Agbara | % | 10 |
| Akoonu Eeru | ppm | ≤5 (lẹhin ti a sọ di mimọ) |
ohun elo
Semixlab Gidi mimọ Isostatic giga, nitori mimọ giga rẹ, eto ọkà ti o dara, iwuwo aṣọ, resistance mọnamọna gbona, ati ẹrọ ti o dara julọ, ni lilo pupọ ni ile-iṣẹ semikondokito. Ni isalẹ wa awọn ọja pataki ti o pari ati awọn ipa ti o baamu ni awọn ilana to ṣe pataki:
Isostatic Graphite fun Awọn ohun elo Semikondokito
1. Ninu MOCVD (Ipaduro Omi Kemikali-Organic)
MOCVD jẹ ilana pataki fun iṣelọpọ awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial ti GaN, GaAs, ati SiC. Isostatic graphite jẹ igbagbogbo lo lati ṣe:
● Awọn olufun: Sin bi awọn gbigbe wafer ti o di ati yiyi wafer sinu ẹrọ riakito. Wọn pese gbigbe igbona aṣọ, aridaju idagbasoke epitaxial dédé kọja dada wafer. Nigbagbogbo ti a bo pẹlu CVD SiC tabi TaC lati mu ilọsiwaju kemikali dara si ati fa igbesi aye rẹ pọ si.
● Awọn ọkọ oju omi Wafer / Awọn ọkọ oju-omi ayaworan: Ti a lo lati gbe ọpọlọpọ wafers ni nigbakannaa. Wọn nilo ẹrọ kongẹ lati ṣetọju filati wafer ati yago fun idoti.
● Awọn ohun elo ti ngbona: Awọn igbona ayaworan n pese awọn aaye igbona iduroṣinṣin ati aṣọ ti o ṣe pataki fun epitaxy didara ga.
Ipa bọtini: Isostatic graphite ṣe idaniloju iṣọkan iwọn otutu, iduroṣinṣin kemikali, ati igbesi aye iṣẹ pipẹ, eyiti o ni ipa taara didara fiimu epitaxial.
2. Ni Annealing & Diffusion Furnaces
Awọn igbesẹ sisẹ igbona otutu-giga, gẹgẹbi itọka dopant, oxidation, ati annealing, gbarale dale lori awọn paati graphite isostatic, pẹlu:
● Awọn ọkọ oju-omi Ileru Itankale: Mu awọn apọn mu lakoko annealing ti iwọn otutu giga ati awọn ilana itankale dopant. Lẹẹdi n pese iduroṣinṣin igbona to dara julọ ati abuku kekere labẹ gigun kẹkẹ gbigbona leralera.
● Awọn ẹrọ ila ati Awọn ohun elo Idabobo: Awọn ila-aworan aworan ati awọn apata ṣe aabo awọn iyẹwu ileru lati idoti ati mu iṣọkan iwọn otutu pọ si.
● Awọn tubes ti ngbona & Awọn eroja: Ti a lo bi awọn igbona resistance ni awọn iwọn otutu ti o ga julọ, fifun ni pipe ati ooru deede.
Ipa bọtini: Awọn paati lẹẹdi isostatic jẹ ki ko ni idoti, iduroṣinṣin, ati itọju igbona atunwi, pataki fun imuṣiṣẹ dopant ati idinku abawọn.
3. Ninu SiC epitaxy (4H-SiC, 6H-SiC idagbasoke)
SiC epitaxial idagba beere awọn iwọn otutu-giga (> 1500°C) ati awọn agbegbe gaasi ibajẹ. Isostatic graphite ni a lo lati ṣe:
● Awọn Susceptors SiC ti a bo: Pese atilẹyin sobusitireti lakoko SiC epitaxy, ni idaniloju pinpin ooru ti o dara julọ ati iduroṣinṣin dada labẹ awọn ipo to gaju.
● Awọn Paddles Graphite & Awọn dimu Wafer: Awọn wafers ti o ni aabo lakoko yiyi ati ṣiṣan gaasi, ni idaniloju oṣuwọn idagbasoke aṣọ ati sisanra Layer.
● Awọn ohun elo tube ilana: Awọn ẹya lẹẹdi igbekale inu awọn reactors epitaxy duro awọn agbegbe ibinu lakoko mimu mimọ.
Ipa bọtini: Isostatic graphite ni SiC epitaxy n pese iṣedede iwọn, resistance kemikali, ati iṣakoso igbona ti o gbẹkẹle, eyiti o ni ipa taara ikore wafer ati isokan fiimu epitaxial.
Gẹgẹbi olutaja oludari ti graphite isostatic mimọ-giga ni Ilu China, Semixlab ti pinnu lati pese awọn ọja to ti ni ilọsiwaju ati awọn solusan imọ-ẹrọ fun ile-iṣẹ iṣelọpọ semikondokito. A ṣe itẹwọgba awọn ibeere rẹ nigbakugba ati ni ireti ni otitọ lati di alabaṣepọ igba pipẹ rẹ.
wa Services
Ile itaja Ọja Semixlab
