Òrùka Òjìji Kuartz 200mm

AMAT 0200-10445 Quartz Shield Ring (200 mm) jẹ́ ẹ̀ka ìṣàkóso etí quartz tó mọ́ tónítóní tí a ṣe pàtó fún àwọn ètò ìfọṣọ plasma. Ó wà lábẹ́ ẹ̀ka àwọn òrùka ààbò, èyí tí ó ṣe pàtàkì fún ṣíṣàkóso ìbáṣepọ̀ plasma ní àwọn etí wafer nígbà tí a bá ń ṣe iṣẹ́ semiconductor.

A ṣe é láti inú quartz tí a fi pò mọ́ ara rẹ̀, a ṣe àtúnṣe ẹ̀yà ara yìí láti ṣiṣẹ́ lábẹ́ àwọn ipò iṣẹ́ tó le koko, títí bí:

● Awọn agbegbe pilasima agbara giga

● Àwọn kẹ́míkà tí ó ní fluorine àti chlorine tí ó ń ṣiṣẹ́ padà

● Ìyípo ooru tí a ń ṣe leralera

Láìdàbí àwọn ohun èlò ààbò tó wọ́pọ̀, òrùka òjìji jẹ́ apá pàtàkì nínú iṣẹ́ tó ní ipa lórí ìṣàfihàn etch, ìṣọ̀kan, àti ìdarí ìwọ̀n pàtàkì (CD).

Ní Semixlab Technology, a ṣe àwọn òrùka òjìji quartz wa nípa lílo àwọn ìlànà wọ̀nyí:

● Yíyan àwọn ohun èlò aise tó lágbára láti rí i dájú pé kò ní ìbàjẹ́ púpọ̀

● Iṣẹ́ ṣíṣe tó péye láti rí i dájú pé ó dúró ṣinṣin ní ọ̀nà jíjìn

● Itoju dada ti o dara julọ lati dinku iran patiku

Èyí ń ṣe ìdánilójú pé iṣẹ́ tó dúró ṣinṣin àti tó ṣeé tún ṣe ní àwọn iṣẹ́ ìkọ́lé tó ti ní ìlọsíwájú.

Awọn ipo Ikuna ti o wọpọ

Gẹ́gẹ́ bí ohun èlò tí a lè lò tí a fi hàn sí àyíká plasma líle, àwọn òrùka òjìji quartz wà lábẹ́ àwọn ìlànà ìbàjẹ́ wọ̀nyí:

1. Ìfọ́ tí ó fa ìfọ́ tí ó fa ìfọ́ ẹ̀jẹ̀

● Bíbọ́ǹbù ion nígbà gbogbo ń yọrí sí ìfọ́mọ́ ojú ilẹ̀

● Pípàdánù ohun èlò díẹ̀díẹ̀ yí àwọn ohun èlò pàtàkì padà

Ipa:

Dídínkù iṣẹ́ ìṣàkóso ẹ̀gbẹ́, èyí tó ń yọrí sí ìyàtọ̀ tó ṣe pàtàkì (CD) àti àìdúróṣinṣin nínú profaili.

2. Ìfipamọ́ polima àti ìfipamọ́ ọjà

● Àwọn ọjà tí a ti ṣe ilana ń kó jọ sí ojú ilẹ̀ quartz

● Àwọn owó ìdókòwò lè bàjẹ́ nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́

Ipa:

Àìlera àwọn èròjà àti ìwúwo àbùkù tó wà lórí àwọn wáfárì.

3. Ìfọ́ra pẹ̀lú Ìdààmú Ooru

● Àwọn ìgbòkègbodò gbígbóná àti ìtútù tí a ń ṣe leralera máa ń fa àwọn wàhálà inú

● Àwọn microcracks lè tàn kálẹ̀, èyí sì lè fa ìbàjẹ́ nínú ìṣètò ara

Ipa:

Ìfọ́ tí a kò retí àti àkókò ìdádúró ohun èlò.

4. Ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò ìpakúkú nítorí ọjọ́ ogbó ohun èlò

● Fífi plasma sí ara ẹni fún ìgbà pípẹ́ máa ń ba ìdúróṣinṣin quartz jẹ́

● Àwọn microcracks máa ń tú àwọn èròjà sínú yàrá náà

Ipa:

Ìwọ̀n ìwúwo tó dínkù àti ìgbẹ́kẹ̀lé ẹ̀rọ tó dínkù.

Kí nìdí tí o fi yan Semixlab?

Pẹ̀lú ìmọ̀ tó jinlẹ̀ nínú àwọn ohun èlò semiconductor àti àwọn èròjà ìṣiṣẹ́, Semixlab Technology ń fúnni ní àwọn ẹ̀yà ìyípadà tó ga tó bá àwọn ìlànà OEM mu tàbí tó ju èyí tó yẹ lọ:

● Quartz tó mọ́ gan-an fún àwọn ìlànà tó ní í ṣe pẹ̀lú ìbàjẹ́

● Awọn iwọn-aye ti a ṣe apẹrẹ ti a ṣe apẹrẹ fun iṣakoso eti gangan

● Ìgbésí ayé iṣẹ́ gígùn àti ìdínkù owó ìní (CoO)

● Awọn apẹrẹ ti o baamu OEM ti o ṣepọ laisi wahala pẹlu awọn iru ẹrọ AMAT

Àwọn ohun èlò ìfọwọ́sowọ́pọ̀ semiconductor ló fọkàn tán òrùka òjìji quartz wa, wọ́n sì ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn olùpèsè tí wọ́n ń wá àwọn ọ̀nà míì tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé, tó rọrùn láti náwó, àti tó lágbára láti lò fún ìlò ìfọṣọ plasma.

Ibi ati Awọn Iṣẹ Ohun elo

Fifi sori Ipo

A maa n fi awọn òrùka ojiji quartz sori ẹrọ nigbagbogbo:

● Ní àyíká agbègbè etí wáfárì

● Lókè tàbí lẹ́gbẹ̀ẹ́ ohun èlò ìdènà electrostatic (ESC)

● Nínú agbègbè àpò ìbòrí plasma ti yàrá ìtọ́jú etch

Ó ń ṣiṣẹ́ pẹ̀lú àwọn ẹ̀yà etí mìíràn (bíi òrùka ìfojúsùn àti òrùka ìbòrí) láti ṣẹ̀dá ètò ìṣàkóso etí pípé.

Mojuto Awọn iṣẹ

1. Idaabobo Plasma ati Iṣakoso Pinpin Ion

Iṣẹ́ pàtàkì ti òrùka ààbò ni láti ṣẹ̀dá “ipa ààbò” kan:

● Ó ń dínà tàbí yíyípadà ìfarahàn plasma ní etí wafer ní ọ̀nà tí ó yàtọ̀.

● Ṣíṣe àtúnṣe àwọn igun ìṣẹ̀lẹ̀ ion àti ìpínkiri ion

awọn esi:

Iṣakoso profaili etch ti o dara si, pẹlu awọn igun ẹgbẹ ogiri ati iṣootọ ẹya.

2. Ṣíṣe Àtúnṣe Ìṣọ̀kan Ẹ̀gbẹ́

Nípasẹ̀ àwòrán ara rẹ̀ tí a ṣe ní pàtó (gíga, àlàfo, àti ìrísí), òrùka òjìji náà lè:

● Dín àwọn ipa ìfọ́jú edge àti micro-load kù

● Mu irẹwọn etch pọ si ni gbogbo wafer naa

Ipa:

Ó mú kí ìwọ̀n tó ṣe pàtàkì (CD) túbọ̀ péye sí i, ó sì mú kí ìwọ̀n wafer pọ̀ sí i.

3. Iduroṣinṣin ilana ati atunṣe

Apakan yii mu ki ihuwasi pilasima duro ni agbegbe eti nipasẹ:

● Mímú kí àpò ìbòrí plasma dúró ṣinṣin

● Dín ìyípadà ilana kù nígbà tí a bá ń ṣe àwọn iṣẹ́ ìṣẹ̀dá tó gùn sí i

anfani:

Mu iduroṣinṣin window ilana ati atunṣe ni iṣelọpọ iwọn didun giga dara si.

4. Ìdènà Àìníláárí àti Ìṣàkóso Ọjà Tí Ó Wà Nínú Rẹ̀

Oruka ojiji naa tun ṣe iranlọwọ lati:

● Dena awọn agbegbe ibi ipamọ ti a kofẹ

● Ṣàkóso ìpínkiri àwọn polima àti àwọn ọjà tí a fi sílẹ̀

Èyí dín ewu àwọn ohun èlò ìpalára kù, ó sì ń mú kí yàrá mímọ́ ṣiṣẹ́.