EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Ààbò Kuotisi Aláìlágbára Gíga & Ṣíṣí fún MOCVD
Àwọn èròjà Opaque Quartz tó mọ́ tónítóní ni a ṣe fún àwọn ìlànà MOCVD semiconductor, títí kan àwọn ohun èlò tó ṣe pàtàkì bíi Heat Shields àti precision Shutters. Nípa lílo ẹ̀rọ ìtúká micro-bubble inú tó yàtọ̀, àwọn èròjà wọ̀nyí yí ìtànṣán ooru tó wà ní àdúgbò padà sí ìtànṣán ojú ilẹ̀ tó dọ́gba gan-an, èyí tó mú kí ìṣọ̀kan ojú ilẹ̀ epitaxial pọ̀ sí i. Pẹ̀lú ìmọ́tótó ≥99.999% àti ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru tó kéré gan-an, wọ́n pèsè ààbò ooru tó ga jùlọ ní àwọn iwọ̀n otútù tó ju 1100℃ lọ, wọ́n sì ń dín agbára lílo kù, wọ́n sì ń dènà ìbàjẹ́ irin—wọ́n ń sọ wọ́n di ojútùú tó dára, tó sì ń náwó fún àwọn ìlà iṣẹ́jade tó ga.
Apejuwe
Ìṣètò kékeré: Ìṣètò kékeré kékeré tó nípọn náà ń fúnni ní iṣẹ́ ìtújáde ooru tó ga jùlọ.
Kuotisi Opaque: "Idena Iwọn otutu Aṣọkan" fun Awọn ilana MOCVD
Agbára ìfọ́mọ́ra wa tó ga ju ohun èlò quartz tó wọ́pọ̀ lọ. A ṣe é nípasẹ̀ ìlànà ìfọ́mọ́ra pàtàkì kan tó ń mú kí ìwọ̀n gíga àwọn micro-bubbles tó wọ́pọ̀ pọ̀, pẹ̀lú àwọn ìbú tí a ń ṣàkóso láàrín 10-100µm. Àwọn bubbles wọ̀nyí ni kókó iṣẹ́ ooru tó tayọ ti ohun èlò náà:
● Ìyípadà Infrared Scattering & Far-Infrared (FIR):
Ìtànṣán àkọ́kọ́ láti inú àwọn èròjà ìgbóná MOCVD (bíi tungsten filaments tàbí graphite) jẹ́ ìmọ́lẹ̀ Near-Infrared (NIR). Ìtànṣán tí ó hàn gbangba fẹ́rẹ̀ẹ́ lè wọ inú NIR pátápátá, èyí tí ó ń yọrí sí ìṣọ̀kan ooru tí a gbé kalẹ̀ àti “àwọn ibi gbígbóná” lórí substrate náà. Àwọn èéfín inú inú nínú quartz tí kò ní àwọ̀ ń mú kí àìmọye ìyípadà inú àti ìfọ́nká rọrùn, èyí tí ó ń dí ìwọ̀lẹ̀ NIR tààrà lọ́wọ́. A máa ń gbà ooru náà, a sì tún máa ń tú u jáde gẹ́gẹ́ bí ìtànṣán ojú ilẹ̀ Far-Infrared (FIR) tí ó dọ́gba. Ìyípadà yìí ń rí i dájú pé pápá ooru kan wà láàárín yàrá MOCVD, èyí tí ó ṣe pàtàkì fún ṣíṣe àṣeyọrí àwọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial tí ó dára, tí ó dọ́gba.
● Àkóónú Ìmọ́tótó Gíga Jùlọ àti Ìwọ̀n Hydroxyl Kékeré (OH):
Fún àwọn ìlànà semiconductor iwájú, a ń ṣàkóso ìmọ́tótó SiO2 ní ìpele 5N (99.999%) dáadáa, a sì ń tọ́jú ìwọ̀n Hydroxyl (OH) ní <5ppm. Èyí ń rí i dájú pé ní àwọn àyíká afẹ́fẹ́ gíga tí ó ju 1000℃ lọ, a kò ní tú àwọn ions tàbí ọrinrin onírin tí ó léwu jáde, èyí tí ó ń dáàbò bo ìdúróṣinṣin àwọn ètò kànga quantum tí ó ní ìmọ̀lára.
| ano | Akoonu deede (ppm) | Ọna wiwa |
| Aluminiomu (Al) | <15 | ICP-OES |
| Kalisiomu (Ca) | <1.0 | ICP-OES |
| Irin (Fe) | <0.5 | ICP-OES |
| Iṣuu Soda (Na) | <1.0 | ICP-OES |
| Hydroxyl (OH) | <5 | FTIR |
| Ìmọ́tótó Gbogbogbò | ≥99.999% | Ti ṣe iṣiro |
ohun elo
Awọn oju iṣẹlẹ Ohun elo Aṣoju
Àwọn èròjà quartz tí kò ní àwọ̀ wa kì í ṣe àwọn àyípadà lásán; wọ́n jẹ́ àwọn ojútùú tí a ṣe àtúnṣe fún àwọn ìpèníjà ìṣiṣẹ́ ooru pàtó kan.
Àpẹẹrẹ A: Ààbò Iyẹwu MOCVD fún Àwọn Onímọ̀-ẹ̀rọ Semiconductor Onírúurú (GaN, SiC)
● Àkókò Ìrora: Nígbà tí GaN tàbí SiC bá ń dàgbà, àwọn igbóná gíga àti àwọn ìṣàn ìṣàn oníbàjẹ́ (bíi Amonia NH3 àti TMGa) máa ń fa ìdàsílẹ̀ púpọ̀ lórí àwọn ògiri yàrá olówó gọbọi àti àwọn ohun èlò ìgbóná graphite. Èyí máa ń yọrí sí àkókò ìsinmi fún Ìtọ́jú Ìdènà (PM) àti iye owó tí ó pọ̀ sí i fún Ẹni tí ó ní (CoO).
● Ojutu: Lilo quartz ti o ni mimọ ga julọ gẹgẹbi Heat Shield (Chamber Liner) pese "fẹlẹfẹlẹ ẹbọ" ti o munadoko ti o munadoko. Lakoko ti o n gba awọn idogo, idabobo giga rẹ n daabobo awọn odi iyẹwu irin alagbara, o n fa iyipo PM pọ si nipasẹ diẹ sii ju 30%.
Àpẹẹrẹ B: Ìṣàkóso Ìfọwọ́sowọ́pọ̀ nínú Àwọn Ìṣètò Míìràn Onírúurú (MQW)
● Oju Irora: Ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ MQW tín-tín-tín-tín-tín fún àwọn LED tàbí lésà nílò ìpele atomiki nínú ìyípadà gaasi onípele àkọ́kọ́. Èyíkéyìí ìyípadà ooru tàbí ìdádúró ẹ̀rọ nínú Shutter ń fa "Ìfẹ̀sí Àjọṣepọ̀," èyí tí ó ń ba iṣẹ́ optoelectronic ẹ̀rọ náà jẹ́ gidigidi.
● Ojutu: Awọn shutters Precision Quartz wa lo agbara ti o kere pupọ ti imugboroosi ooru ti opaque quartz. Eyi rii daju pe o ni fifẹ pipe ati iduroṣinṣin eto lakoko iyipada iyara giga ati gigun ooru iyara, ti o mu ki o ṣee ṣe "Iṣakoso Layer Atomic".
