Semikondokito kuotisi wafer

Semixlab Semiconductor Quartz Wafer jẹ didan-konge kan, sobusitireti siliki ti o ni mimọ-pupọ ti a ṣe apẹrẹ fun ibeere awọn agbegbe ṣiṣe semikondokito.

O ti wa ni lilo pupọ bi wafer idin, wafer ti ngbe, sobusitireti opiti, ati ipilẹ fọtomask ni ifoyina gbona, CVD/LPCVD, PECVD, ati awọn eto lithography.

Ti a ṣe ẹrọ lati 99.99% SiO₂ mimọ-giga, wafer quartz yii nfunni ni iduroṣinṣin igbona alailẹgbẹ, inertness kemikali, ati akoyawo opiti, ni idaniloju iduroṣinṣin ati iṣẹ-ọfẹ aibikita ni awọn laini iṣelọpọ semikondokito ti ilọsiwaju.

Ⅰ. Ohun elo ati ki o dada Properties

● Ohun elo: Sintetiki tabi siliki ti a dapọ (SiO₂ ≥ 99.99%).

● Awọn aṣayan Opin: 2 ", 4", 6 ", 8", 12" (awọn iwọn aṣa wa).

● Ipari Ilẹ: Ilọpo-meji didan, flatness ≤ 5 μm, roughness ≤ 0.5 nm.

● Iduroṣinṣin Gbona: Idurosinsin titi di 1200 ° C iṣẹ ṣiṣe ti nlọ lọwọ.

● Imugboroosi Gbona: 5.5 × 10⁻⁷ /°C.

● Gbigbe Opitika:> 90% lati 190 nm si 2,600 nm.

Wafer kọọkan ṣe ayẹwo ayewo oju ti o muna, ijẹrisi onisẹpo, ati itupalẹ mimọ lati rii daju ibamu ni kikun pẹlu awọn ibeere ite semikondokito.

Ⅱ. Awọn iṣẹ bọtini ni Awọn ilana Semikondokito

1. Ti ngbe ilana ni CVD ati LPCVD Systems

Awọn wafers Quartz ni a lo bi idalẹnu tabi wafe spacer lati ṣe iduroṣinṣin sisan gaasi ati iṣọkan iwọn otutu lakoko SiO₂, Si₃N₄, ati ifisilẹ fiimu tinrin polysilicon. Iwọn iwọn iwọn wọn ṣe idaniloju idagbasoke fiimu aṣọ ati iran patiku pọọku jakejado awọn akoko idasile.

2. Oxidation ati Diffusion Furnace Awọn ohun elo

Ni ifoyina iwọn otutu ti o ga ati awọn ilana itankale dopant, awọn wafers quartz ṣiṣẹ bi awọn apata gbona tabi awọn diigi ilana, mimu pinpin iwọn otutu aṣọ ati idilọwọ ibajẹ ti awọn wafers iṣelọpọ.

3. Opitika ati Lithography Lilo

Ṣeun si gbigbe opiti giga rẹ ati isokan atọka itọka, wafer quartz jẹ apẹrẹ fun iṣelọpọ fọtomask, awọn sobusitireti ifihan DUV, ati awọn irinṣẹ isọdọtun opiti. O ṣe iṣeduro gbigbe ina deede fun i-line, KrF, ati awọn ọna ṣiṣe lithography ArF.

4. Plasma ati Etching Ayika

Ninu etching gbigbẹ ati awọn eto CVD pilasima, awọn wafers quartz ni a lo bi awọn apata iyẹwu tabi awọn window pilasima, ti o funni ni agbara dielectric ti o dara julọ ati agbara kemikali lodi si awọn gaasi ti o da lori halogen (CF₄, SF₆, Cl₂).

5. Metrology ati Equipment odiwọn

Kuotisi wafers ṣiṣẹ bi awọn wafers itọkasi fun sisanra fiimu, iwọn otutu, ati isọdiwọn flatness. Iwọn didan wọn, dada ti ko ni abawọn jẹ ki awọn abajade wiwọn deede ati atunwi, ni idaniloju iduroṣinṣin iṣakoso ilana.

Awọn ohun elo ti o ṣe pataki

● Dummy wafer fun CVD, LPCVD, ati awọn ọna ṣiṣe PECVD

● Awọn ti ngbe ilana tabi gbona shield ni ifoyina ati tan kaakiri ileru

● Photomask sobusitireti fun UV/DUV lithography

● Itọkasi wafer fun isọdiwọn ohun elo ati metrology

● Ferese iyẹwu pilasima ati aabo ilana etching

Semixlab Semikondokito Quartz Wafer jẹ sobusitireti iṣẹ ṣiṣe giga ti a ṣe fun awọn ilana semikondokito ti o nbeere julọ. Iduroṣinṣin igbona rẹ, konge opiti, ati mimọ kemikali jẹ ki o ṣe pataki ni ifisilẹ, ifoyina, lithography, ati awọn ohun elo metrology. Pẹlu isọdi okeerẹ ati atilẹyin imọ-ẹrọ, Semixlab n pese awọn solusan ti o mu iwọn ilana ilana pọ si, igbẹkẹle ikore, ati ṣiṣe ṣiṣe. A ni ireti ni otitọ lati di alabaṣepọ igba pipẹ rẹ ni Ilu China.