SiC ileru Tube

Ọja Definition ati mojuto Awọn ẹya ara ẹrọ

SiC ààrò tube jẹ tubular ga-otutu eiyan ṣe ti ga-mimọ silikoni carbide seramiki nipasẹ ifaseyin sintering (RBSC) tabi kemikali oru iwadi (CVD) ilana. Ko dabi irin ibile tabi awọn ohun elo kuotisi, ẹya ara oto ti SiC n fun ni ni ti ara ati awọn ohun-ini kemikali ti ko ni rọpo, gbigba laaye lati ṣetọju iduroṣinṣin iṣẹ ṣiṣe to dara julọ ni awọn agbegbe to gaju.

Awọn ohun-ini pataki ti ọja naa:

● Ifarada otutu ti o ga julọ: O le ṣiṣẹ ni iduroṣinṣin fun igba pipẹ ni oke 1600 ℃ ni oju-aye inert, ati iwọn otutu lilo ailewu ni oju-aye oxidizing jẹ 1250-1300 ℃, ti o kọja awọn opin ti awọn tubes quartz (≤1100 ℃) ati awọn alloy sooro ooru (1150≄XNUMX) .

● Imudara igbona ati iduroṣinṣin igbona:

Imudani ti o gbona jẹ giga bi 100-200 W / m · K, eyiti o jẹ diẹ sii ju awọn akoko 100 ti gilasi quartz. O le ṣaṣeyọri pinpin ooru ti iṣọkan ni ileru (gradient ≤ ± 2℃), imukuro iṣoro aaye gbigbona agbegbe ti o wọpọ ni awọn tubes ileru ibile.

Olusọdipúpọ igbona igbona jẹ 4.0 × 10⁻⁶/℃ (20-1000 ℃), ni idapo pelu modulus rirọ giga ti 350 GPa, lati rii daju pe iduroṣinṣin igbekalẹ lakoko awọn iyipada iwọn otutu to buruju.

● Mechanical agbara ati ki o wọ resistance: Mohs líle ≥9 (keji nikan si diamond), atunse agbara 300 MPa, compressive agbara 2000 MPa, resistance to patiku ogbara ati darí wahala.

● Kemikali inertness: Resistance to lagbara acid ipata bi HF ati HCl, sooro si pilasima etching, paapa dara fun semikondokito gbẹ etching ayika.

Kini idi ti o yan Semixlab?

Awọn tubes Silicon Carbide Furnace ti a pese kii ṣe awọn ibeere ti o ga julọ ti iwọn otutu ti o ga, mimọ giga, ipata resistance, bbl ni iṣelọpọ semikondokito, ṣugbọn tun gba igbẹkẹle ti awọn alabara nipasẹ atilẹyin ti adani, ifijiṣẹ yarayara ati iṣẹ didara lẹhin-tita.

Boya o jẹ ẹlẹrọ ohun elo fab wafer, oniwadi ile-iwadi, tabi oluṣepọ ohun elo, a le pese igbẹkẹle, ti o tọ ati awọn solusan mimọ fun ilana itọju igbona giga rẹ. Kaabọ lati kan si wa lati bẹrẹ iriri tuntun rẹ ti itọju igbona iṣẹ giga.

Ifiwera iṣẹ ṣiṣe ti awọn tubes ileru SiC ati awọn ohun elo yiyan:

Awọn lilo ni pato ni iṣelọpọ semikondokito ati iṣelọpọ

SiC Furnace Tube ṣe ipa pataki ninu sisẹ semikondokito ati iṣelọpọ, ati ohun elo rẹ ni wiwa awọn ọna asopọ ilana bọtini pupọ:

● Ileru Itankale:

Iṣẹ: Ileru tan kaakiri jẹ ohun elo mojuto fun doping, ifoyina, annealing ati awọn ilana miiran ni iṣelọpọ semikondokito. Gẹgẹbi laini mojuto ti ileru tan kaakiri, tube SiC ileru n pese iyẹwu iduroṣinṣin, mimọ, iwọn otutu giga fun wafer.

Awọn anfani: Iwa mimọ giga ati resistance otutu otutu ti SiC ṣe idaniloju idinku awọn aimọ lakoko ilana itankale ati yago fun idoti ti wafer. Iduroṣinṣin mọnamọna igbona ti o dara julọ ṣe idaniloju iduroṣinṣin ti tube ileru lakoko ilana alapapo ati itutu agbaiye, bakanna bi iduroṣinṣin igbekalẹ labẹ iṣẹ iwọn otutu igba pipẹ, lati le ṣaṣeyọri ifọkansi doping deede ati idagbasoke Layer oxide aṣọ. Eyi ṣe pataki fun iṣelọpọ awọn transistors iṣẹ-giga ati awọn iyika iṣọpọ.

● PECVD (Imudara pilasima Kemikali Vapor Deposition)/LPCVD (Isọsọ Ọru Kemikali Irẹjẹ Kekere) Awọn ohun elo:

Iṣẹ: Ninu ohun elo PECVD / LPCVD, awọn tubes ileru SiC ni a lo bi awọn iyẹwu ifaworanhan lati fi ọpọlọpọ awọn fiimu tinrin sori dada ti awọn wafers, gẹgẹ bi ohun elo oxide, silicon nitride, bbl

Awọn anfani: Imudaniloju ibajẹ ti awọn tubes ileru SiC jẹ ki wọn ṣe idiwọ ibajẹ ti awọn gaasi ilana (gẹgẹbi SiH4, NH3, N2O, bbl), ni idaniloju iduroṣinṣin ti ilana igbasilẹ fiimu ati didara ti Layer fiimu. Iwa mimọ rẹ tun ṣe idiwọ fiimu naa lati jẹ idoti nipasẹ ohun elo tube ileru, ni idaniloju itanna ati awọn ohun-ini opiti ti Layer fiimu naa.

● ALD (Ìfilọlẹ Layer Atomiki) Awọn ohun elo:

Iṣẹ: ALD jẹ imọ-ẹrọ ti o le dagba pupọ tinrin ati awọn fiimu aṣọ. Awọn tubes ileru SiC n pese agbegbe imuduro iduroṣinṣin ati irọrun-mimọ ni ohun elo ALD.

Awọn anfani: Ilẹ SiC ko rọrun lati ṣe adsorb awọn iṣaju iṣesi. Dada didan rẹ ati mimọ ti o ga julọ jẹ itunnu si iṣakoso idagbasoke fiimu ipele atomiki, ni idaniloju isokan sisanra fiimu ati atunṣe giga.

● Ileru ti nmu iwọn otutu ti o ga:

Iṣẹ: Annealing otutu otutu jẹ igbesẹ bọtini lati yọkuro awọn abawọn wafer, mu awọn dopants ṣiṣẹ, ati ilọsiwaju awọn ohun-ini ohun elo.

Awọn anfani: Awọn tubes ileru SiC le pese agbegbe iwọn otutu ti o ga pupọ lati ṣe iranlọwọ fun awọn wafers pipe atunṣe lattice ati imuṣiṣẹ aimọ, ati ilọsiwaju iṣẹ itanna ati igbẹkẹle awọn ẹrọ. Agbara ẹrọ ti o dara julọ ati resistance mọnamọna gbona tun rii daju pe awọn tubes ileru wa ni mimule lakoko iwọn otutu loorekoore ati dinku.

● Awọn ohun elo otutu giga miiran:

SiC Furnace Tube tun lo ni awọn ileru adanwo otutu ti o ga, awọn ileru ohun elo pataki, ati bẹbẹ lọ ni ọpọlọpọ awọn ipele R&D, pese agbegbe iwọn otutu ti o gbẹkẹle fun idagbasoke awọn ohun elo semikondokito gige-eti.

Awọn ifiyesi olumulo ati awọn solusan

1: Itọju ohun elo loorekoore ati irọrun rupture ti awọn tubes quartz?

Solusan: Semixlab nlo awọn tubes seramiki ohun alumọni carbide iwuwo giga pẹlu resistance mọnamọna gbona ti o dara julọ, eyiti o le dinku igbohunsafẹfẹ itọju ni pataki ati awọn eewu downtime.

2: Awọn ibeere mimọ ọja jẹ giga, bawo ni a ṣe le yago fun idoti keji?

Solusan: Yan ibora CVD SiC tabi ọpọn SSiC ipon mimọ-giga, itusilẹ aimọ irin-kekere, pade awọn iṣedede ilana mimọ-olekenka.

3: Ṣe o nira lati ra awọn titobi pataki tabi awọn ẹya wiwo?

Solusan: A ṣe atilẹyin isọdi iyaworan ati sisẹ eto akojọpọ (gẹgẹbi awọn atọkun flange, awọn tubes igbesẹ, awọn bends L-sókè, bbl) lati pade awọn iwulo isọpọ eto oniruuru ati eka.

4: Bawo ni lati yanju akoko ifijiṣẹ pipẹ ati pe ko si ẹri lẹhin-tita?

Solusan: Gẹgẹbi olupilẹṣẹ oludari ati olupese ti awọn paati SiC ni Ilu China, Semixlab ni awọn anfani okeerẹ atẹle wọnyi: agbara iṣelọpọ iduroṣinṣin + ayewo didara ti o muna + apoti okeere + atilẹyin imọ-ẹrọ, eyiti o le ṣe iṣeduro akoko ifijiṣẹ ati pese igbẹkẹle ifowosowopo igba pipẹ.

Awọn ile itaja ọja Semixlab