SiC seramiki Crucible

SiC Ceramic Crucible n ṣiṣẹ bi imudani to ṣe pataki ati ọkọ ifasẹyin ninu awọn ilana bii SiC ati idagbasoke garaN GaN, ifisilẹ epitaxial, itankale, ati annealing otutu-nibiti mimọ, iduroṣinṣin, ati iṣọkan iwọn otutu taara pinnu ikore wafer ati didara gara.

Awọn Abuda Awọn ohun elo

● Ohun elo Ohun elo: SiC sintered Ultra-pure tabi CVD-SiC (≥99.9%)

● Iwuwo & Microstructure: Ni kikun ipon, didara-grained, ati ti kii-la kọja be fun superior gaasi impermeability

● Iduroṣinṣin Gbona: Iṣẹ to dara julọ to 2000°C ni inert tabi awọn agbegbe gaasi ifaseyin

● Imudara Ooru: 120-200 W / m · K, aridaju iṣọkan iwọn otutu ti o ga julọ

● Atako Ibajẹ: Iduroṣinṣin ti o tayọ ni hydrogen, chlorine, ati awọn gaasi ilana ti o da lori halogen

● Ipari Ilẹ: Digi didan ati pilasima-ti mọtoto lati dinku iran patiku

Awọn ohun elo bọtini ni iṣelọpọ Semikondokito

SiC Ceramic Crucible ṣe ipa pataki ni ọpọlọpọ awọn ipele iṣelọpọ semikondokito, pẹlu:

1. Crystal Growth ati Apọju

Ti a lo ninu PVT (Ọkọ Vapor Ti ara) ati awọn eto idagbasoke epitaxial CVD, SiC crucibles n pese ohun elo iduroṣinṣin, ti kii ṣe ifaseyin fun awọn ohun elo orisun ati awọn kirisita dagba.

Iwa mimọ wọn giga ati ilodisi imugboroja igbona ti o baamu dinku ibajẹ ati aapọn, ni idaniloju idasile kristali ti ko ni abawọn fun SiC, GaN, ati awọn sobusitireti Ga₂O₃.

2. Itankale Iwọn otutu ati Annealing

Ni itọju igbona, itankale, ati awọn ilana ifoyina, SiC crucibles ṣetọju apẹrẹ wọn ati iduroṣinṣin kemikali labẹ gigun kẹkẹ igbona giga, idilọwọ ijade jade ati itusilẹ patiku ti o le ba didara wafer jẹ.

3. Ohun elo Sintering ati Powder Processing

SiC crucibles tun jẹ apẹrẹ fun semikondokito-ite lulú sintering, ti o funni ni ailagbara kemikali iwọn otutu ati iduroṣinṣin iwọn labẹ igbale tabi awọn ipo oju-aye iṣakoso.

Awọn anfani ti Semixlab

Ni Semixlab Semikondokito, a pese diẹ sii ju awọn paati nikan - a fi jiṣẹ awọn solusan imọ-ẹrọ okeerẹ lati pade awọn ibeere lile ti iṣelọpọ semikondokito.

1. Apẹrẹ Aṣa

● geometry crucible ti a ṣe, sisanra, ati iṣeto agbawọle gaasi.

● Ibamu pẹlu idagbasoke nla ti gara ati awọn eto CVD (LPE, PVT, AIXTRON, Veeco, bbl).

2. Imọ imọran

● Awọn onimo ijinlẹ sayensi awọn ohun elo inu ile ati awọn onimọ-ẹrọ ilana pẹlu awọn ọdun 20 ti iriri ile-iṣẹ.

● Atilẹyin fun apẹrẹ igbona, simulation ṣiṣan gaasi, ati ibamu ilana.

3. Ifijiṣẹ Didara Didara

● Kọọkan crucible faragba onisẹpo konge ayewo, helium jijo igbeyewo, ati dada roughness onínọmbà.

● Iyan CVD aabo bo ati awọn iṣẹ didan digi fun imudara igbesi aye ati mimọ.

Semixlab SiC Ceramic Crucible ṣeto ipilẹ tuntun fun iduroṣinṣin gbona, mimọ, ati agbara kemikali ni sisẹ semikondokito ilọsiwaju. Pẹlu awọn aṣayan apẹrẹ ti a ṣe adani, ijumọsọrọ imọ-ẹrọ, ati ayewo iṣaju gbigbe lile lile, Semixlab ṣe idaniloju gbogbo ọja pade awọn ibeere ibeere ti iwọn otutu giga, awọn ohun elo semikondokito mimọ-giga. A n reti siwaju si awọn ibeere rẹ siwaju sii.