Disiki ti ngbe SiC fun ICP Etching

Laarin ifaseyin giga ati agbegbe pilasima ti eto etching ICP kan, SiC Carrier Disk ti a ṣe apẹrẹ nipasẹ Semixlab Semiconductor ṣe ipa pataki kan ni asọye iṣotitọ wafer, konge etch, ati iduroṣinṣin ilana gbogbogbo. Ju ohun imuduro ẹrọ ti o rọrun, o ṣiṣẹ bi wiwo ilana isọpọ — iwọntunwọnsi gbona, itanna, ati awọn agbara-kemikali pilasima ti o pinnu taara isokan etch ati ikore wafer.

Ni ipilẹ rẹ, disiki ti ngbe SiC n pese ipilẹ ẹrọ ti o ni iduroṣinṣin ati ultra-mimọ ti o ṣe atilẹyin wafer lakoko ifihan pilasima. Awọn iwọn konge ati planarity ti awọn disk rii daju ni ibamu wafer ibijoko, dindinku aapọn eti ati idilọwọ bulọọgi-fractures tabi teriba labẹ ion bombardment. Imudara igbona ti o ga julọ ati pinpin igbona aṣọ gba awọn wafers lati ṣetọju iwọntunwọnsi iwọn otutu deede kọja gbogbo dada, eyiti o ṣe pataki fun ṣiṣakoso awọn oṣuwọn etch ati iyọrisi iṣotitọ ipele nanometer-ipele. Ni awọn ipo pilasima iwuwo giga, awọn gradients igbona le fa sasi ilana tabi gbigbẹ micro-trenching, ati pe ooru aṣọ SiC disiki ti ntan kaakiri ni imunadoko awọn ipa wọnyi.

Kemikali, disiki ti ngbe SiC n ṣiṣẹ bi idena aabo laarin pilasima ati awọn paati mimu wafer ti iyẹwu naa. Ipilẹ ohun alumọni ohun alumọni mimọ ti o ga julọ ṣe afihan atako to dayato si awọn kemistri ti o da lori halogen gẹgẹbi Cl₂, BCl₃, SF₆, ati CF₄, aridaju ibajẹ sputter ti o kere ju ati imukuro iṣiwa ion ti irin-ipin pataki kan ninu iṣelọpọ oju ipade. Ihuwasi inert yii dinku igbohunsafẹfẹ ti iyẹwu mimọ ati fa gigun igbesi aye ti disiki mejeeji ati awọn paati ohun elo agbegbe, imudarasi akoko ati iṣelọpọ.

Lati oju-ọna itanna, Disiki ti ngbe SiC Semixlab ṣe alabapin si idasile iṣakoso ti apofẹlẹfẹlẹ pilasima ati imuduro ti isọdọkan agbara RF. Ti o da lori atunto ohun elo ti a yan-aṣeyọri tabi ologbele-idabobo SiC — disk naa le ṣe adaṣe lati ṣatunṣe pinpin irẹwẹsi agbegbe ti o dara, idinku ikojọpọ idiyele ati idilọwọ arcing ipele ipele wafer tabi awọn itujade kekere ti o le dinku awọn profaili ẹya. Iṣakoso kongẹ yii lori awọn ipo aala eletiriki ṣe imudara atunṣe ilana ati ṣe atilẹyin awọn ilana iṣatunṣe isokan pilasima ilọsiwaju.

Ni afikun, dada ti nkọju si pilasima disiki naa jẹ iṣapeye lati dinku iran patiku ati rii daju pinpin ṣiṣan gaasi didan kọja ọkọ ofurufu wafer. Jiometirika rẹ jẹ apẹrẹ nipasẹ awoṣe ṣiṣan iṣiro lati yọkuro awọn eddies ati awọn iyatọ iwuwo pilasima agbegbe, ti o yọrisi ṣiṣan ion deede ati isokan etch kọja gbogbo ipele wafer. Imuṣiṣẹpọ laarin agbara ẹrọ SiC, inertness kemikali, ati iwọntunwọnsi gbona/itanna yi pada si oluṣe pataki ti etching ti ko ni abawọn fun ohun alumọni mejeeji ati awọn ohun elo bandgap jakejado bii SiC ati GaN.

Ni pataki, Semixlab SiC Carrier Disk fun ICP Etching n ṣiṣẹ bi eroja ilana ti a ṣe deede ti o ṣe aabo fun mimọ wafer lakoko ti o n mu iṣẹ ṣiṣe pilasima ṣiṣẹ. Iduroṣinṣin ohun elo rẹ, apẹrẹ igbekale, ati iṣiṣẹpọ iṣẹ ni apapọ ṣe atilẹyin awọn ibeere lile ti iṣelọpọ ẹrọ iran atẹle, nibiti gbogbo nanometer ti konge etch ati gbogbo patikulu ti iṣakoso idoti ṣalaye ala laarin iṣapeye ikore ati iyapa ilana.

Gẹgẹbi olupilẹṣẹ Kannada ti o jẹ oludari ati ile-iṣẹ ti awọn disiki ti ngbe SiC fun ohun elo ICP, Semixlab ti pinnu lati pese awọn alabara pẹlu imọ-ẹrọ ilọsiwaju ati awọn solusan ọja. A nfunni ni awọn iṣẹ okeerẹ jakejado gbogbo ilana, pẹlu ijumọsọrọ imọ-ẹrọ iṣaaju-titaja, iṣelọpọ ọja, idanwo iṣaju iṣaju lile, ati atilẹyin lẹhin-tita. A ṣe itẹwọgba awọn ibeere rẹ siwaju nigbakugba.