EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Iṣalaye oru kẹmika (CVD) ati idasile oru kẹmika ti irin (MOCVD) jẹ awọn imọ-ẹrọ bọtini mejeeji ni aaye ti ifisilẹ fiimu tinrin ati pe a lo ni lilo pupọ ni iṣelọpọ semikondokito. Sibẹsibẹ, awọn iyatọ nla wa laarin awọn mejeeji ni awọn ofin ti awọn ipilẹ, awọn ilana ati awọn oju iṣẹlẹ ohun elo. Nkan yii ṣe afiwe alaye lati awọn iwoye ti asọye, ṣiṣan ilana, awọn aaye ohun elo, awọn anfani ati awọn alailanfani.
Ⅰ. Definition ati mojuto agbekale
CVD (igbesisọ oru kẹmika)
CVD ṣe ifipamọ awọn ohun elo fiimu tinrin (gẹgẹbi awọn irin, awọn ohun elo amọ, awọn semikondokito) lori dada ti sobusitireti nipasẹ awọn aati kemikali ti awọn awasiwaju gaseous ni awọn iwọn otutu giga. Fun apẹẹrẹ, ifisilẹ ti sic ti a bo ni semikondokito epitaxial ilana nlo imọ-ẹrọ CVD. CVD nigbagbogbo nilo awọn iwọn otutu giga lati mu awọn aati kemikali ṣiṣẹ.
MOCVD (ifisun ikemika eleto ti irin)
MOCVD jẹ fọọmu pataki ti CVD ti o nlo awọn agbo ogun Organic irin (gẹgẹbi trimethyl gallium) ati awọn hydrides bi awọn iṣaju. Awọn iṣaju wọnyi jẹ jijẹ ni awọn iwọn otutu ti o kere ju (500-800°C) ati pe o le ṣakoso ni deede ni deede idagba awọn semikondokito yellow ti III-V (bii gallium nitride GaN). Iwọn otutu ilana jẹ iwọn kekere ati akopọ fiimu ati sisanra le ni iṣakoso ni deede. MOCVD jẹ imọ-ẹrọ mojuto fun iṣelọpọ awọn ẹrọ optoelectronic gẹgẹbi awọn LED ati awọn diodes laser.
Ⅱ. Lafiwe sisan ilana
| Ifiwera Dimensions | CVD | MOCVD |
| Awọn iṣaaju | Gaasi (bii silane SiH₄, amonia NH₃) | Awọn agbo ogun onirin (gẹgẹbi trimethylgallium TMGa) + hydrides (gẹgẹbi arsine AsH₃) |
| otutu ibiti o | Iwọn otutu ti o ga (500-1200°C) | Ni ibatan iwọn otutu (500-800°C) |
| Orisun agbara | Agbara gbona, pilasima tabi imole ina | Gbona jijera |
| Iṣakoso išedede | alabọde | Giga (iṣakoso stoichiometric ipele atomiki) |
| Abo | Awọn gaasi oloro (gẹgẹbi hydrogen H₂) nilo lati mu | Awọn iṣaju jẹ ina ati majele, to nilo aabo to muna |
Akopọ ti awọn iyatọ koko:
Kemistri iṣaaju: MOCVD nlo awọn orisun Organic ti irin ati pe a ṣe apẹrẹ fun awọn semikondokito idapọpọ eka; CVD gbarale awọn iṣaju gaseous ti o rọrun.
Ifamọ iwọn otutu: Awọn abuda iwọn otutu kekere MOCVD dara fun awọn sobusitireti ti o ni igbona gẹgẹbi awọn polima tabi awọn ẹrọ ti a ti ṣaju.
Iṣakoso Aṣọkan: MOCVD nlo apẹrẹ ṣiṣan gaasi ilọsiwaju (gẹgẹbi imọ-ẹrọ TurboDisc Veeco) lati ṣe atilẹyin ifisilẹ iṣọkan giga ti awọn wafers pupọ.
Ⅲ. Awọn oju iṣẹlẹ ohun elo ni iṣelọpọ semikondokito
Awọn ohun elo akọkọ ti CVD
Microelectronics: Ifipamọ ti awọn fẹlẹfẹlẹ dielectric (SiO₂, Si₃N₄), igbaradi ti awọn fẹlẹfẹlẹ interconnect irin (tungsten, Ejò).
Semikondokito bo: Ni awọn aaye ti semikondokito bo, gẹgẹ bi awọn CVD SiC Aso, CVD TaC Coating, ati bẹbẹ lọ, iṣẹ ṣiṣe okeerẹ ti Silicon Carbide Coating ati Tantalum Carbide Coating awọn ọja ti a ṣe nipasẹ Semixlab wa ni ipele ilọsiwaju agbaye.
Awọn sẹẹli oorun: CVD (paapaa PECVD) jẹ imọ-ẹrọ mojuto fun iṣelọpọ awọn sẹẹli oorun ohun alumọni tinrin. O ṣe aṣeyọri daradara ati iṣelọpọ idiyele kekere ti awọn modulu fọtovoltaic nipasẹ fifisilẹ iwọn otutu kekere ti ohun alumọni amorphous, ohun alumọni microcrystalline ati awọn fẹlẹfẹlẹ conductive sihin. Awọn oludari ile-iṣẹ lọwọlọwọ pẹlu Awọn ohun elo Applied, Oerlikon Solar ati ULVAC.
Mojuto awọn ohun elo ti MOCVD
Awọn ẹrọ Optoelectronic:
LED: Gallium nitride (GaN) idagba Layer epitaxial ṣe atilẹyin iṣelọpọ buluu/alawọ ewe LED.
Awọn diodes lesa: Indium phosphide (InP) ati awọn ẹya gallium arsenide (GaAs) ni a lo fun awọn ibaraẹnisọrọ opiti.
Awọn ẹrọ itanna agbara: Gallium nitride transistor arinbo elekitironi giga (GaN HEMT), o dara fun awọn ẹrọ igbohunsafẹfẹ giga.
Ⅳ. Awọn anfani ati awọn idiwọn
| Imọ-ẹrọ | Anfani | idiwọn |
| CVD | - Ibamu ohun elo jakejado- Dara fun iṣelọpọ idiyele kekere-nla | - Iwọn iwọn otutu ti o ga julọ awọn oju iṣẹlẹ ohun elo - Aini konge fun awọn ẹya eka |
| MOCVD | - Iṣakoso stoichiometric ipele atomiki- Ṣe atilẹyin iṣelọpọ ohun elo optoelectronic iwọn-giga | - Iye owo iṣaju ti o gaju- Idoti idoti eka |
Ⅴ. Bawo ni lati yan CVD ati MOCVD?
Awọn ibeere ohun elo: CVD ti lo fun awọn oxides, nitrides tabi awọn irin; MOCVD ti wa ni lilo fun III-V/II-VI agbo semikondokito.
Awọn ibeere pipe: MOCVD jẹ ayanfẹ fun awọn ohun elo ti o nilo iṣakoso wiwo ipele atomiki, gẹgẹbi awọn kanga kuatomu.
Awọn idiyele idiyele: CVD ni a lo fun awọn ohun elo gbogboogbo bii sic bo ati tac bo; awọn ẹrọ optoelectronic ti o ga julọ le gba idiyele giga ti MOCVD.
Semixlab jẹ olupilẹṣẹ ohun elo ti a bo semikondokito oludari agbaye. A ṣe idojukọ lori iwadii ati idagbasoke ati iṣelọpọ iwọn-nla ti awọn imọ-ẹrọ to ti ni ilọsiwaju ninu ile-iṣẹ semikondokito, gẹgẹ bi ibora silikoni carbide CVD, CVD Tantalum Carbide Coating, Solid SiC, awọn ohun elo aise SiC ti o ga-mimọ, ati awọn ohun elo iṣakojọpọ ilọsiwaju. A n reti tọkàntọkàn lati di alabaṣepọ igba pipẹ rẹ.
Ilé-iṣẹ́ Semixlab Technology Co., Ltd, tí a dá sílẹ̀ ní ọdún 2018, jẹ́ ilé-iṣẹ́ tí ó dá lórí ìmọ̀-ẹ̀rọ tí ó ń dojúkọ ìwádìí àti ìdàgbàsókè, ìṣelọ́pọ́ àti títà àwọn ohun èlò ìdàgbàsókè. Ó jẹ́ ilé-iṣẹ́ olùpèsè ohun èlò semiconductor tí ó gbajúmọ̀ jùlọ ní àgbáyé.
