Báwo ni Àwọn Apá Rọ́bọ́ọ̀tì SiC seramiki ṣe ń mú kí ìṣàkóṣo àti ìdènà ìbàjẹ́ pọ̀ sí i nínú Àwọn Ohun Èlò Ìdáná Semiconductor

Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor, àwọn èròjà kéékèèké tàbí àṣìṣe ìtòlẹ́sẹẹsẹ lè fa àwọn ìṣòro ńlá bíi ìyọrísí tó dínkù àti àkókò ìdádúró tó gbówó lórí. Nítorí èyí, àwọn ohun èlò tí a lò láti gbé àwọn wafers gbọ́dọ̀ jẹ́ èyí tó péye àti mímọ́. Rọ́bọ́ọ̀tì seramiki SiC Àwọn apá ń gbajúmọ̀ nítorí pé wọ́n lágbára, wọ́n sì dúró ṣinṣin sí ooru àti àwọn kẹ́míkà nígbà tí wọ́n ń mú àwọn èròjà díẹ̀ jáde. Láìdàbí àwọn apá irin tàbí ike, wọ́n lè ṣe àwọn iṣẹ́ ìgbóná gíga tí a ń ṣe lẹ́ẹ̀kọ̀ọ̀kan láìtẹ̀ tàbí tú àwọn èròjà tí ó lè kó èérí jáde. Fún àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ àti àwọn olùṣiṣẹ́ aṣọ, èyí túmọ̀ sí wípé a ń ṣe àwọn wafers láìléwu, àwọn iṣẹ́ náà sì dúró ṣinṣin, iṣẹ́ náà sì ń lọ ní ìrọ̀rùn ní gbogbogbòò.

Kí nìdí tí àwọn ohun èlò ìṣẹ́ amọ̀ SiC fi dára fún mímú wafer tó péye

Lílo àwọn wáfárì nínú ohun èlò ìfọṣọ semiconductor jẹ́ ìlànà tó rọrùn gan-an nítorí pé gbogbo wáfárì náà jẹ́ èyí tó tinrin tí a sì fi àwọn ìpele tí ó lè bàjẹ́ bò ó. Àṣìṣe kékeré kan nínú ìṣípo tàbí ipò lè fa àbùkù tí yóò dín ìṣẹ̀dá kù. Ibí ni ibi tí Rọ́bọ́ọ̀tì seramiki SiC Àwọn apá wọ̀nyí yàtọ̀ pátápátá. A ṣe wọ́n láti inú ohun èlò irin tí a fi silicon carbide ṣe, wọ́n le gan-an, wọ́n sì dúró ṣinṣin, kódà lábẹ́ ooru gíga, nítorí náà wọn kì í yí tàbí fẹ̀ sí i bí àwọn apá irin ṣe lè tàn. Ìdúróṣinṣin yìí ń jẹ́ kí a di àwọn wafer mú, kí a sì gbé wọn pẹ̀lú ìṣedéédéé tó péye nígbà tí a bá ń lo àwọn iṣẹ́ bíi epitaxy tàbí etching. SiC tún ní agbára láti kojú àwọn kẹ́míkà, èyí tó ṣe pàtàkì nítorí pé àwọn wafer sábà máa ń kọjá láàárín àwọn yàrá pẹ̀lú àwọn gáàsì tàbí plasma tó ń ṣiṣẹ́. Láìdàbí àwọn irin ìbílẹ̀ tí ó lè ba àwọn patikulu jẹ́ tàbí tú àwọn patikulu jáde, SiC dúró láìsí ìṣòro, ó sì ń ran àyíká lọ́wọ́ láti mọ́ tónítóní, ó ń dín ewu ìbàjẹ́ tí ó lè ba àwọn chips tó ti pẹ́ jẹ́. Ìwúwo fẹ́ẹ́rẹ́fẹ́ tí ohun èlò náà ní tún ń jẹ́ kí àwọn mọ́tò àti àwọn actuator ṣiṣẹ́ dáadáa, ó ń mú kí àkókò ìdáhùn sunwọ̀n sí i, ó sì ń dín ìgbọ̀nsẹ̀ kù, èyí tó ń jẹ́ kí ibi tí a gbé kalẹ̀ rọrùn, ó sì tún ṣeé gbẹ́kẹ̀lé lórí ẹgbẹẹgbẹ̀rún àwọn ìṣípo wafer. Àbájáde gidi ni èyí: nínú ohun èlò 200mm kan, yíyípadà láti ibi irin sí SiC, ìfọ́ wafer tí a gé ní ìdajì, ó sì dín àwọn àbùkù tí ó ní í ṣe pẹ̀lú patiku kù, nígbà tí ìtọ́jú náà kò pọ̀ sí i nítorí agbára ohun èlò náà lábẹ́ àwọn ìyípo ooru gíga tí a ń tún ṣe. Fún àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ àti àwọn oníṣẹ́ abẹ́ tí wọ́n fi ìmọ́tótó àti ìgbẹ́kẹ̀lé tó péye sí ipò àkọ́kọ́, àwọn apá seramiki SiC ń pèsè ojútùú kan tí ó so iṣẹ́ àti agbára pọ̀, tí ó ń jẹ́ kí àwọn wafers wà ní ààbò àti pé àwọn ìlànà náà kò ní bàjẹ́.

Báwo ni SiC ṣe ń mú kí ìṣẹ̀dá patiku kúrò ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ohun èlò ìbílẹ̀

Ìbàjẹ́ patiku jẹ́ ìpèníjà pàtàkì nínú àwọn ohun èlò semiconductor nítorí pé kódà eruku kékeré, irin, tàbí ìdọ̀tí lè lẹ̀ mọ́ àwọn wafers kí wọ́n sì fa àbùkù, pàápàá bí àwọn ẹ̀yà ërún náà ṣe ń dínkù sí ìwọ̀n nanometer. Àwọn apá roboti ìbílẹ̀ tí a fi irin tàbí ike ṣe lè mú kí ìṣòro náà burú sí i. Àwọn apá irin lè bàjẹ́ nígbà tí àkókò bá ń lọ, èyí tí yóò mú kí àwọn flakes kékeré jáde, nígbà tí àwọn ike ṣiṣu lè bàjẹ́ lábẹ́ ooru gíga tàbí ìfarahàn sí àwọn gáàsì aṣekára, èyí tí yóò sì tú àwọn pàǹtíkì sínú yàrá ìwẹ̀nùmọ́. SiC seramiki Àwọn apá máa ń yanjú ọ̀rọ̀ yìí lọ́nà ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀. Ohun èlò irin silicon carbide le gan-an, ó sì dúró ṣinṣin ní ti kẹ́míkà, nítorí náà kò ní rọra rọ̀, kò sì ní tú àwọn èròjà jáde lábẹ́ ooru gíga, plasma, tàbí àwọn kẹ́míkà líle. Ojú rẹ̀ tó mọ́ tónítóní, tí kò ní ìfaradà ń jẹ́ kí àwọn èròjà wafer lè yọ̀ láìsí ìbàjẹ́, èyí tó ṣe pàtàkì fún àwọn ìlànà tó ti wà ní ìlọsíwájú láti máa mú kí èso wọn pọ̀ sí i kí ó sì yẹra fún àtúnṣe owó. Ṣíṣe àwọn apá SiC náà tún ṣe pàtàkì. Ṣíṣe àtúnṣe àti ṣíṣe ẹ̀rọ ní ọ̀nà tó péye máa ń mú kí ìrísí wọn wọ́pọ̀, pẹ̀lú àwọn àbùkù ojú ilẹ̀ tó kéré, èyí sì máa ń mú kí apá náà rọrùn láti mọ́, kí ó sì má baà lè dì eruku mú. Àwọn ohun èlò tí wọ́n ń yípadà sí apá SiC sábà máa ń rí i pé iye èròjà wafer ń dínkù, àwọn àbùkù wafer ń dínkù, àti pé àwọn ìyípo ìwẹ̀nùmọ́ máa ń gùn láìsí ewu. Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ gíga, èyí túmọ̀ sí pé ìdíwọ́ díẹ̀, àkókò ìsinmi díẹ̀, àti dídára wafer tó dúró ṣinṣin. Fún àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ tí wọ́n ń fojúsùn sí mímú kí àwọn èròjà wafer wà ní mímọ́, àwọn èròjà seramiki SiC ń fúnni ní ọ̀nà tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé láti gbé àwọn ohun èlò láìléwu, nígbàtí wọ́n bá ń dín ewu ìbàjẹ́ tí a kò lè rí kù.