Bawo ni Awọn aso CVD Din Kokoro Dinku ninu Awọn ilana Etching Semikondokito

Ninu iṣelọpọ semikondokito, paapaa ibajẹ ti o kere julọ le fa awọn iṣoro nla. Eyi jẹ otitọ pupọ lakoko igbesẹ etching. Ni aaye yii, awọn patikulu kekere tabi awọn aati buburu le ba ẹrọ naa jẹ. Wọn tun le dinku iye awọn ọja to dara ti o jade. Ọna kan lati dinku awọn ọran wọnyi ni nipa liloCVD (iṣipopada oru kẹmika) awọn aṣọ. Awọn ideri wọnyi ṣe aabo awọn ẹya ninu iyẹwu etching. Wọn ṣe iranlọwọ lati jẹ ki awọn nkan di mimọ, ṣe idiwọ wọ, ati dinku awọn abawọn.

Isoro ti Idoti ni Awọn iyẹwu Etching Plasma

Plasma etching jẹ igbesẹ pataki kan ni ṣiṣe awọn eerun igi, ṣugbọn o wa pẹlu ipenija pataki kan: idoti. Etching nlo awọn gaasi ati pilasima lati yọ ohun elo kuro ni pipe. Ṣugbọn awọn ipo lile wọnyi tun le ba awọn apakan iyẹwu naa jẹ. Bi awọn ẹya ti ngbo, awọn patikulu kekere tabi awọn flakes le yọ kuro ki o de si oju wafer. Ni kete ti iyẹn ba ṣẹlẹ, awọn abawọn dagba — ati pe iwọnyi nigbagbogbo ko ṣee ṣe lati ṣatunṣe nigbamii.

Idi ti o wọpọ ti idoti jẹ awọn ogiri iyẹwu tabi awọn apakan ti o kan pilasima taara. Ni akoko pupọ, pilasima naa ṣe pẹlu awọn aaye wọnyi, ti njẹ wọn laiyara. Eyi le fa ki awọn patikulu ṣubu sinu iyẹwu tabi ṣẹda awọn kemikali ti aifẹ. Paapaa awọn ẹya ti o dabi dan le jẹ inira labẹ maikirosikopu kan, jẹ ki awọn patikulu duro tabi kọ soke.

Ọrọ miiran jẹ ibajẹ-agbelebu laarin awọn ṣiṣe ilana. Fun apẹẹrẹ, awọn nkan ti o ṣẹku lati wafer kan le gba lori atẹle ti iyẹwu naa ko ba di mimọ tabi bo daradara. Eyi di iṣoro nla bi awọn ẹya ërún ti dinku ni iwọn. Ohun ti o jẹ abawọn kekere kan le dina tabi kuru ipa ọna pataki ni awọn apa to ti ni ilọsiwaju.

Ọpọlọpọ awọn ile-iṣelọpọ gbiyanju lati ṣatunṣe eyi nipa mimọ iyẹwu nigbagbogbo tabi yiyipada awọn ẹya. Ṣugbọn eyi gba akoko ati owo. O tun ko yanju iṣoro akọkọ — ibajẹ lati pilasima. Ìdí nìyẹn tí wọ́n fi ń lo àwọn aṣọ àbòsí. Awọn ideri wọnyi ṣe iranlọwọ lati da ibajẹ naa duro ṣaaju ki o to bẹrẹ nipasẹ ibora awọn ẹya ti o lu pupọ julọ.

Awọn ideri CVD gẹgẹbi Idena Idaabobo: SiC ati TaC ni Iṣe

Lati da idoti ṣaaju ki o to bẹrẹ, ọpọlọpọ awọn chipmakers yipada siCVD ti a bo. Awọn ipele tinrin ti wa ni afikun si awọn ẹya iyẹwu lati daabobo wọn lati ibajẹ ati awọn kemikali. Meji ninu awọn ohun elo ti o gbẹkẹle julọ fun iṣẹ yii jẹsilikoni carbide (SiC)atitantalum carbide (TaC). Wọn kii ṣe alakikanju nikan-wọn tun duro ni awọn agbegbe pilasima ibinu.

A lo SiC nitori pe o mu ooru mu daradara ati ki o koju ifasilẹ pẹlu awọn gaasi. SiC ti a bo CVD lori awọn ẹya ṣe oju ti o lagbara ti ko wọ ni irọrun. Paapaa lẹhin ọpọlọpọ awọn iyipo etch, o duro dan ati mimọ, nitorinaa awọn patikulu diẹ ṣubu lori awọn wafers.

TaC ti wa ni lilo nigbati awọn etching ilana jẹ ani harsher. O ṣiṣẹ daradara pẹlu awọn pilasima ti o lagbara ati awọn gaasi halogen lile. Eto ipon rẹ ati aaye yo giga jẹ ki o ni sooro paapaa si ipata. Ni diẹ ninu awọn irinṣẹ to ti ni ilọsiwaju,Awọn ideri TaCiranlọwọ ge mọlẹ irin kontaminesonu. Eleyi jẹ pataki fun ṣiṣe sare kannaa ati iranti awọn eerun.

Awọn ideri wọnyi ṣiṣẹ nipa ṣiṣe idena laarin pilasima ati apakan. Eyi ṣe iranlọwọ fun apakan naa to gun ati ki o jẹ ki iyẹwu naa duro. O tun jẹ ki awọn onimọ-ẹrọ ṣiṣẹ gun lai duro lati nu tabi yi awọn ẹya pada.

Ronu nipa rẹ bi fifi aabo iboju sori foonu rẹ. Ko yipada bi foonu naa ṣe n ṣiṣẹ, ṣugbọn o gba to buruju ki iboju rẹ ko ni lati. Aworan:

Imudara Iṣe Etching ati Awọn idiyele Itọju Dinku

CVD ti a bobii SiC ati TaC tọju awọn ẹya lailewu, ṣe iranlọwọ etching lati rọra, ati tumọ si atunṣe kere si nilo. Nigbati awọn ẹya iyẹwu duro ni apẹrẹ ti o dara, etching di diẹ sii ni ibamu. Eyi tumọ si diẹ sii awọn wafers ṣe awọn sọwedowo didara, ati pe diẹ ni a da silẹ nitori awọn abawọn.

Awọn ipo iyẹwu iduroṣinṣin jẹ bọtini fun awọn abajade atunwi. Laisi awọn ideri, awọn ẹya iyẹwu laiyara wọ si isalẹ. Eyi le yi ṣiṣan gaasi pada, itankale ooru, ati ihuwasi pilasima. Awọn ayipada wọnyi le jẹ kekere ni akọkọ ṣugbọn o le ja si awọn abajade oriṣiriṣi lori akoko. Awọn ẹya ti a bo ṣe iranlọwọ lati yago fun eyi nipa titọju iyẹwu diẹ sii ni asọtẹlẹ lati wafer kan si ekeji.

Lori oke ti iyẹn, awọn ẹya ti a bo CVD ṣiṣe ni pipẹ pupọ ṣaaju ki o to nilo lati rọpo. Awọn irinṣẹ ti a ko bo nilo awọn iduro diẹ sii fun mimọ, nfa idaduro. Awọn ẹya ti a bo ni pẹ to gun, gige idinku ati iṣẹ afikun.

Gidi-aye fabs ti ri yi payoff. Fun apẹẹrẹ, ọkan ni ërún alagidi lo SiC-ti a bo oruka dipo ti aluminiomu itele ati ki o ni 40% gun sure akoko. Eleyi ge downtime ati ki o pa wafer ikore diẹ idurosinsin.

O jẹ ọran ti o han gbangba ti “na diẹ diẹ si iwaju, ṣafipamọ pupọ ju akoko lọ.” Awọn ideri CVD jẹ ki awọn apakan jẹ ailewu ati mimọ, nitorinaa awọn onimọ-ẹrọ le dojukọ iṣẹ naa, kii ṣe atunṣe awọn nkan.

Ṣawari Awọn Agbara Ibora Semixlab fun Eto Etch Rẹ

Ti o ba fẹ gba diẹ sii lati inu eto etch rẹ, o ṣe iranlọwọ lati ṣiṣẹ pẹlu ẹnikan ti o mọ awọn ohun elo ati ilana naa. Semixlab ṣe awọn aṣọ ibora CVD bi SiC ati TaC, ti a ṣe fun awọn irinṣẹ etching ati idanwo ni awọn ile-iṣelọpọ gidi.

Ohun ti o jẹ ki Semixlab yatọ ni iṣẹ aṣa wọn. Wọn le wọ ọpọlọpọ awọn nitobi ati awọn ẹya, bii awọn oruka aluminiomu tabi awọn gbigbe graphite. Awọn ideri jẹ dan, lagbara, ati ṣe lati baamu awọn aini rẹ. Gbogbo iṣẹ ti a bo ni a ṣe ni mimọ, awọn yara iṣakoso, nitorinaa ko si idoti tuntun tabi awọn patikulu wọle.

Ọpọlọpọ awọn fabs firanṣẹ ni awọn ẹya ti a lo fun atunṣe dipo ki o rọpo wọn taara. Ọna yii kii ṣe fifipamọ owo nikan ṣugbọn tun ṣe iranlọwọ lati dinku egbin. Semixlab ṣayẹwo apakan kọọkan lati rii daju pe o tun lagbara. Tí ó bá kọjá lọ, wọ́n á fọ̀ ọ́, wọ́n á bò ó, wọ́n á sì rán an padà—tí wọ́n ti múra tán láti lò ó lẹ́ẹ̀kan sí i. Eyi ṣe iranlọwọ fun awọn ẹya ni pipẹ laisi sisọnu iṣẹ.

Awọn onimọ-ẹrọ ti n ṣiṣẹ pẹlu Semixlab gba diẹ sii ju awọn aṣọ ibora lọ. Ko daju ohun elo wo ni ibamu si awọn gaasi rẹ? Ṣe o fẹ lati mọ bi o ṣe pẹ to pẹlu pilasima rẹ? Ẹgbẹ wọn le ṣe idanwo tabi ṣayẹwo data lati ṣe iranlọwọ fun ọ lati yan.

Ti o ba fẹ gbiyanju awọn ẹya ti a bo, ṣayẹwo iye akoko ati awọn wafers ti o padanu ni bayi. Awọn ideri le ṣe iranlọwọ fun ọ lati fipamọ awọn mejeeji.