Ojo iwaju ti SiC Crystal Growth: Kini idi ti CVD SiC Awọn bulọọki Ṣe Asiwaju Ọna naa

Silikoni carbide (SiC) ti de a gun ona ni semikondokito. Ibeere fun awọn ọkọ ayọkẹlẹ ina, 5G, ati awọn ẹrọ agbara n tẹsiwaju lati dagba. Nitorinaa, SiC n ni pataki diẹ sii. Ni aarin ti idagba yii ni bi a ṣe ṣe awọn kirisita SiC funrararẹ. Awọn ọna atijọ bii PVT ni a lo pupọ. Bayi, CVD SiC ohun amorindun ti wa ni si sunmọ gbajumo. Wọn jẹ mimọ, diẹ sii paapaa, ati ṣiṣe ni pipẹ. Ti o ba ṣiṣẹ pẹlu awọn ẹrọ ti o lagbara tabi iyara, mimọ nipa CVD SiC ṣe iranlọwọ fun ọ lati yan dara julọ.

Itankalẹ ti SiC Crystal Growth ni Ile-iṣẹ Semikondokito

Bii a ṣe dagba awọn kirisita SiC ti yipada pupọ. Awọn ayipada wọnyi ṣe iranlọwọ fun gbogbo ile-iṣẹ ërún. Ni akọkọ, awọn eniyan lo ilana Acheson lati ṣe SiC fun awọn irinṣẹ inira, kii ṣe fun ẹrọ itanna. Bi iwulo ni SiC fun awọn ẹrọ agbara dagba, idagbasoke gara ni lati ni ilọsiwaju. Gbigbe eefin ti ara (PVT) di ọna lilọ-si, ati pe o tun lo pupọ loni. O ṣiṣẹ nipa alapapo SiC lulú titi ti o fi di vaporizes ati lẹhinna tun-condensing o sinu kan gara. Ilana naa ṣe awọn kirisita nla, ṣugbọn o ni awọn iṣoro. Iwọnyi pẹlu awọn abawọn, doping aiṣedeede, ati idoti lati awọn apoti graphite.

Ni akoko pupọ, awọn ọran wọnyi di lile lati foju. Awọn ẹrọ SiC ni a lo ni awọn ẹya pataki bi awọn oluyipada EV ati awọn ṣaja yara. Ṣugbọn awọn abawọn jẹ ki wọn ṣiṣẹ buru si ati dinku nọmba awọn ẹya ti o dara. Iyẹn ni nigbati awọn oniwadi ati awọn aṣelọpọ bẹrẹ lati ṣawari awọn aṣayan to dara julọ. CVD, tabi ifisilẹ oru kẹmika, wa bi mimọ ati ọna ti o rọrun lati ṣakoso. Ko dabi PVT, CVD ko gbẹkẹle awọn orisun SiC to lagbara. Dipo, o nlo awọn kemikali-alakoso gaasi lati dagba awọn kirisita Layer nipasẹ Layer lori kan irugbin gara. Eyi ngbanilaaye fun iṣakoso to dara julọ lori mimọ, eto, ati sisanra.

Ologbele-idabobo SiC ti lo ni awọn ẹrọ RF fun awọn ibudo ipilẹ. Awọn ọna PVT nigbagbogbo ko le gba resistivity giga ti o nilo. Ṣugbọn CVD dagba awọn ohun elo mimọ pẹlu awọn idoti diẹ. Awọn ile-iṣẹ bii Wolfspeed ati II-VI n ṣe idoko-owo ni CVD lati pade ibeere. Iyipada lati PVT si CVD n ṣẹlẹ. Ile-iṣẹ naa bẹrẹ lati lo awọn bulọọki CVD SiC to dara julọ. Awọn bulọọki wọnyi le di boṣewa tuntun. Wọn ṣe iranlọwọ lati jẹ ki ẹrọ itanna dara julọ.

Lati Iwa mimọ si Ikore: Kini idi Didara Ohun elo Ṣe pataki

Didara idagbasoke kirisita SiC jẹ pataki pupọ. O ni ipa lori bi awọn ẹrọ ṣe n ṣiṣẹ daradara ati iye melo ni a le ṣe. Ni agbara giga tabi awọn ẹrọ ti o yara, awọn abawọn kekere le fa awọn iṣoro. Iwọnyi le jẹ ki awọn ẹrọ kuna ni kutukutu, gbona ju, tabi ṣiṣẹ ni ibi. Ti o ni idi ti mimo, kirisita be, ati uniformity wa ni ko kan dara lati ni-ti won ba awọn ibaraẹnisọrọ.

Awọn ọna idagbasoke ti aṣa bii PVT ṣiṣẹ dara, ṣugbọn wọn tun fa awọn ọran. Awọn kirisita ti a ṣe ni ọna yii nigbagbogbo ni awọn ihò kekere, awọn dojuijako, ati idoti lati awọn ẹya graphite ti a lo. Awọn abawọn kekere wọnyi le fa fifalẹ iyipada ati da ooru duro lati gbigbe daradara. Ni akoko pupọ, awọn iṣoro wọnyi jẹ diẹ sii nitori pe diẹ sii wafers ni a da silẹ tabi nilo itọju pataki.

CVD-dagba SiC awọn bulọọki n yi iyẹn pada. CVD ko lo lẹẹdi gbona ati ṣakoso awọn aati dara julọ. Eyi jẹ ki ohun elo mimọ pẹlu awọn abawọn diẹ ati paapaa didara diẹ sii. O ṣe agbejade awọn eerun to dara diẹ sii, pataki fun awọn lilo lile bi awọn ẹya agbara EV.

Ọkan ilowo apẹẹrẹ ni 200mm wafer gbóògì. Awọn wafers ti o tobi julọ ṣe iyara iṣelọpọ nikan ti didara ba duro. CVD ṣe iranlọwọ nipasẹ ṣiṣe awọn wafers pẹlu awọn abawọn diẹ ati awọn ohun-ini deede. Eyi tumọ si awọn eerun igi diẹ sii, idinku egbin, ati igbẹkẹle to dara julọ.

Ibaṣepọ pẹlu Semixlab fun Awọn Ilọsiwaju Idagba SiC Crystal

Ti o ba fẹ awọn ohun elo SiC ti o dara, yiyan alabaṣepọ ti o tọ jẹ bọtini. Semixlab n ṣiṣẹ takuntakun lati pese dara julọ CVD SiC kirisita. Awọn ọja wọn ṣiṣẹ daradara fun awọn ẹrọ agbara, awọn eto RF, ati awọn ẹrọ itanna iwọn otutu giga.

Ohun ti o ṣeto Semixlab yato si ni ọna ọwọ-lori wọn si idagbasoke ohun elo. Wọn kii ta ọja nikan. Wọn ṣiṣẹ pẹlu awọn oluṣe lati baamu awọn ohun elo si awọn aini ẹrọ. Eyi ṣe idagbasoke idagbasoke ati iranlọwọ de awọn ibi-afẹde yiyara.

Awọn itan aṣeyọri gidi-aye fihan bi ọna yii ṣe n ṣiṣẹ. Olupese EV kan darapọ pẹlu Semixlab lati ṣatunṣe awọn fifọ ẹrọ lati awọn aimọ. Lilo awọn bulọọki CVD aṣa, wọn ge awọn ikuna nipasẹ 30% ati ilọsiwaju iṣelọpọ. Iyẹn jẹ iṣẹgun nla, mejeeji iṣẹ ati idiyele.

Yiyan olupese SiC ti o tọ tumọ si diẹ sii ju ohun elo mimọ lọ. O tumọ si nini alabaṣepọ kan ti o mọ iṣelọpọ igbalode ati dagba pẹlu rẹ. Semixlab bikita nipa didara to dara, ni rọ, ati iranlọwọ awọn alabara. Eyi jẹ ki wọn jẹ yiyan ọlọgbọn fun ẹrọ itanna agbara iwaju.