Idanwo Agbara Afaramọ CVD TaC ati Awọn Ewu Pípa

Fun awọn aṣọ pataki lori graphite, CVD TaC ati CVd sic ti a bo Àwọn ẹ̀rọ ṣíṣe ërún oníwọ̀n otútù gíga, iṣẹ́ ìsopọ̀ ìbòrí sí apá náà ṣe pàtàkì jùlọ lórí ìgbésí ayé àwọn ẹ̀yà náà. Ìdè tí kò lágbára máa ń fa ìfọ́ kékeré àti ìfọ́ nínú àwọn ilana ooru àti ìtútù, èyí tí ó máa ń fa àwọn ìbàjẹ́ tàbí ààbò tí kò péye àti ìkùnà ilana náà. Ọ̀pọ̀ ẹ̀yà ara máa ń rí dáadáa ní ìbẹ̀rẹ̀ ní ilé iṣẹ́, etí rẹ̀ sì máa ń yọ lẹ́yìn lílo wọn ní ọ̀pọ̀ ìgbà. Nítorí náà, a gbọ́dọ̀ dán agbára ìdè náà wò kí a tó lo àwọn ẹ̀yà tí a lò ní ilé iṣẹ́ láti yẹra fún ìkùnà tí a kò retí nínú àwọn ẹ̀rọ náà.

Àwọn Ìdánwò Ìfọmọ́ra Déédé fún Ìbòmọ́lẹ̀ CVD TaC lórí Àwọn Sẹ́ẹ̀tì Graphite

Láti mọ bí agbára wọn ṣe lágbára tó, a máa ń ṣe àwọn ìdánwò tó péye ní ilé iṣẹ́; àkọ́kọ́ ni ìdánwò ìfọ́. Níbí, a máa ń fa orí dáyámọ́ǹdì sórí ìbòrí náà lábẹ́ agbára tó ń pọ̀ sí i, tí fíìmù náà bá fọ́, tí ó yọ, tàbí tí ó bá yọ kúrò nínú ìpele graphite ní àkókò tí kò tó, ó máa ń fi ìsopọ̀ tó dára hàn. Èyí jẹ́ ìdánwò tó rọrùn ṣùgbọ́n ó máa ń fi àwọn àbájáde tó ṣe kedere hàn kí àwọn ẹ̀yà ara tó bẹ̀rẹ̀ sí í ṣiṣẹ́.

Ìdánwò kíákíá mìíràn ni ìdánwò tẹ́ẹ̀pù níbi tí a ti fi tẹ́ẹ̀pù aláwọ̀ sí fíìmù náà, lẹ́yìn náà a fà á ya; tí àwọn ìfọ́ bá jáde pẹ̀lú tẹ́ẹ̀pù náà, ìdè tí ó wà pẹ̀lú ìpìlẹ̀ graphite lè jẹ́ aláìlera. Èyí jẹ́ ìdánwò àkọ́kọ́ kíákíá tí a ń lò ní àwọn ilé ìwádìí kí a tó ṣe ìdánwò líle koko.

Lílo ooru àti ìtútù lẹ́ẹ̀kọ̀ọ̀kan tún gbajúmọ̀ gan-an, nítorí pé ìlànà náà jọ ti lílo gidi dáadáa. Àwọn ìbòrí líle kò ní ipa búburú kankan, nígbà tí àwọn ìbòrí tí kò lágbára bẹ̀rẹ̀ sí í yọ tàbí kí wọ́n bọ́ ní etí. Nínú ipò ilé iṣẹ́ kan, àwọn ìbòrí náà kùnà lórí àyẹ̀wò kejì lẹ́yìn tí wọ́n ti gbóná leralera (bí wọ́n ṣe ń bọ́ ní etí) bó tilẹ̀ jẹ́ pé èyí jẹ́ nítorí ìbàjẹ́ tí ó wà nínú ohun èlò náà kí a tó lò ó.

Idanwo fifa-jade (nibi ti a ti fi stud kan mọ ideri naa ti a si fa a titi ti substrate naa yoo fi fa kuro ninu rẹ) ni idanwo miiran, eyiti o fun ni iye lori continuum kan, o dara fun afiwe awọn ipele ṣugbọn o le gba akoko pupọ lati ṣe. Idanwo indentation ni a lo bi idanwo wiwo ati ti a le ṣe iṣiro, nibiti a ti fi aaye lile kan sinu ideri naa ati pe a wọn iwọn isọda fifọ. Ti a ba ṣe papọ daradara, awọn idanwo wọnyi rii daju pe ideri naa jẹ iduroṣinṣin to dara.

Àwọn àmì ìkìlọ̀ ní ìbẹ̀rẹ̀ ti ìbòrí TaC tí ó ń yọ nínú àwọn ohun èlò Epitaxy

Àwọn irú ẹ̀rọ wọ̀nyí ní àwọn ìgbà díẹ̀ tí ìfọ́ ìbòrí náà máa ń ṣẹlẹ̀ láìròtẹ́lẹ̀. Lọ́pọ̀ ìgbà, ìyípadà díẹ̀ ló máa ń wáyé ní apá náà, èyí tí a kò kíyè sí. Àwọ̀ ìbòrí náà máa ń fara hàn ní kùtùkùtù. Ìbòrí tuntun yẹ kí ó fara hàn dáadáa kí ó sì mọ́lẹ̀ ṣùgbọ́n lábẹ́ wàhálà, apá kan máa ń fara hàn bí àwọ̀ tí kò dáa, pàápàá jùlọ ní ẹ̀gbẹ́, igun àti àwọn agbègbè tí ooru bá pọ̀.

Nígbà míìrán, gbígbé etí kékeré kan máa ń wà tí ó máa ń dàbí ìpele ìbòrí tí a fi iná bò ní ààlà tí a bá wò ó ní igun tí ó yẹ tàbí ní ìbúgbà tí ó ga jù. Nínú ìlà ilé iṣẹ́ kan, òṣìṣẹ́ ìwẹ̀nùmọ́ kan ṣàkíyèsí àwọn èròjà eruku díẹ̀ lẹ́gbẹ̀ẹ́ etí apá náà, ó sì rí i pé ìfọ́ ti ń bẹ̀rẹ̀ ní etí.

Àwọn ìfọ́ irun tún ń fi ìṣòro hàn. Àwọn ìfọ́ irun àkọ́kọ́ jẹ́ díẹ̀díẹ̀ àti lóde ara, wọ́n sì máa ń hàn ní àwọn agbègbè tí ooru ti ń mú, nígbẹ̀yìn-gbẹ́yín wọ́n máa ń so pọ̀ láti di àwọn agbègbè tí ó tóbi jù tí a kò bá tún ìfọ́ náà ṣe. Àwọn àmì mìíràn tí kò ṣe kedere ni ìwọ̀n ìfọ́ tàbí eruku inú yàrá náà pọ̀ sí i.

Bó tilẹ̀ jẹ́ pé kò sí àbùkù kankan tó hàn gbangba lórí ìbòrí náà, àwọn èròjà lè tú jáde láti inú ìbòrí náà nígbà tí wọ́n bá ń ṣiṣẹ́, a sì lè rí i lórí àwọn monitor kí ó tó di pé ìbàjẹ́ náà ṣẹlẹ̀. Ìrora lè pọ̀ sí i, bí ìbòrí tó mọ́lẹ̀ tẹ́lẹ̀ ṣe ń yọrí sí ìrísí gígún nítorí ìbàjẹ́ ti ìpele òkè ìbòrí náà.

Nítorí pé àbùkù kékeré kan ní etí lè di ìkùnà tó tóbi jù tí ó lè ba dídára jẹ́ tí ó sì ń mú kí ẹ̀rọ náà dẹ́kun, mímọ àwọn àmì ìṣáájú wọ̀nyí ṣe pàtàkì.

Àwọn ipa ìyípo ooru lórí àwọn ẹ̀yà epitaxial tí a bo CVD TaC

Nítorí pé àwọn ohun èlò tí a fi bo ara wọn ni a máa ń gbóná leralera tí a sì máa ń tutù ní ọ̀sán, àwọn ìfúnpá líle máa ń wáyé lórí ìbòrí náà ní àkókò. Nígbà tí a bá gbóná àwọn ohun èlò náà, ìbòrí náà àti graphite náà máa ń gbòòrò sí i, ṣùgbọ́n ní ìwọ̀n ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀. Nítorí náà, ìyípo ooru kọ̀ọ̀kan máa ń ní ìfúnpá láàárín àwọn ohun èlò méjì tí a fi bo ara wọn. Nígbà tí ohun èlò náà bá tutù, ìfúnpá náà máa ń yí padà sí òmíràn. Ìyípo ìgbóná àti ìtútù kan kì yóò fa ìbàjẹ́ kankan, ṣùgbọ́n nígbà ọgọ́rọ̀ọ̀rún ìyípo bẹ́ẹ̀, ìfúnpá inú kékeré máa ń yọjú.

Àwọ̀ náà yóò mọ́lẹ̀ díẹ̀, yóò sì dúró ṣinṣin, ṣùgbọ́n lẹ́yìn tí a bá ń yí ìgbóná padà lẹ́ẹ̀kọ̀ọ̀kan, àwọn agbègbè ìdààmú kékeré yóò yọ síta ní etí tí ó mú gan-an tàbí tí kò bá ìgbóná mu. Àárín èròjà náà yóò wà fún ìgbà pípẹ́, òde èròjà náà yóò sì máa gbó nínú àwọn irinṣẹ́ gidi. Ìfọ́ kékeré ní etí èròjà náà jẹ́ àpẹẹrẹ tí ó wọ́pọ̀, lẹ́yìn lílo rẹ̀ ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìgbà, yóò dàgbà ní etí, yóò sì bẹ̀rẹ̀ sí í dàgbà bí ìdààmú ṣe ń mú kí ó ya pẹ́rẹpẹ̀rẹ lẹ́yìn ìgbà ooru kọ̀ọ̀kan, àwọn ìfọ́ kékeré yóò sì bọ́.

Pẹ̀lú gbígbóná àti ìtútù leralera, matrix inú ti àwọ̀ náà yóò bàjẹ́, débi pé díẹ̀ lára ​​àwọn èròjà náà yóò kọjá ìdánwò àkọ́kọ́, ṣùgbọ́n lẹ́yìn lílo fún ìgbà pípẹ́ (ọ̀pọ̀ oṣù) yóò ṣì lè bàjẹ́. Nínú ọ̀ràn kan, àwọn ẹ̀yà ara ti bẹ̀rẹ̀ sí í bọ́ lẹ́yìn ọgọ́rùn-ún ìgbà nítorí gbígbóná kíákíá tí ó ń fa wahala ńlá ní ìyàtọ̀ sí gbígbóná díẹ̀díẹ̀.

Àwọn Ọ̀nà Ìtọ́jú Dídára láti Mu Agbára Ìdè Àbò Dáradára

Ìmúrasílẹ̀ pàtàkì kan wà tí a gbọ́dọ̀ ṣe lórí àwọn ẹ̀yà graphite kí a tó fi èyíkéyìí irú ìbòrí sí i kí àwọn ìbòrí náà lè so pọ̀. Ìmúrasílẹ̀ tí kò dára lórí ìbòrí tó dára yóò kàn yọrí sí ìbòrí tí kò ní pẹ́. Fífọ apá graphite jinlẹ̀ jẹ́ apá kan nínú ìgbóra yìí. Graphite rọrùn láti di eruku díẹ̀, epo tó kù, tàbí àwọn èròjà ìṣiṣẹ́ sínú ihò rẹ̀. Àwọn nǹkan wọ̀nyí ń dènà ìbòrí náà láti kàn tààrà pẹ̀lú ìpìlẹ̀ rẹ̀.

Àní fífẹ̀ epo kékeré kan pàápàá yóò ṣẹ̀dá àwọn agbègbè tí kò lágbára nínú ìdè náà, èyí tí yóò di ibi tí ìfọ́ náà yóò ti bẹ̀rẹ̀. A sábà máa ń lo àwọn omi ìwẹ̀nùmọ́ pàtó tàbí nígbà míì a máa ń yan apá náà nínú iná mànàmáná láti mú àwọn ìyókù tí ó jìn kúrò.

Lẹ́yìn náà ni láti rí i dájú pé ojú ilẹ̀ náà ti rọ̀ díẹ̀ kí ó lè mú kí ìdènà tí a fi bo ojú náà yóò ní pọ̀ sí i ju bí ojú ilẹ̀ náà bá ti rọ̀ dáadáa lọ. Èyí sábà máa ń wáyé nípa fífi yanrìn tàbí ṣíṣe àtúnṣe àwọn irinṣẹ́ ẹ̀rọ láti dé ojú ilẹ̀ tí ó le koko ṣùgbọ́n tí ó dúró ṣinṣin kí ìbòrí náà lè “so” mọ́ ara rẹ̀ lọ́nà ẹ̀rọ, tàbí nípa lílo àwọn ìtọ́jú plasma tí ó máa ń fi gáàsì bo ojú ilẹ̀ graphite fún ìgbà díẹ̀ láti mú un ṣiṣẹ́, tí ó sì máa ń mú kí ó bá àwọn ohun èlò ìbòrí mu nígbà tí kò ní ipa búburú lórí ìrísí substrate náà.

A máa ń lo ìtọ́jú ooru ti àwọn ẹ̀yà graphite kí a tó fi wọ́n bo ara wọn, nítorí pé yíyan apá kan ní ìwọ̀n otútù gíga lè lé àwọn gáàsì tí ó dì mọ́ ara wọn jáde nínú ohun èlò náà. Àwọn gáàsì wọ̀nyí lè sá lọ nígbà tí a bá ń fi ìbòrí kan sí i, èyí sì lè ṣẹ̀dá ibi tí ó dára jùlọ fún ibi tí kò lágbára tàbí ìbòrí tí ó wà lábẹ́ ìbòrí náà. Àwọn iṣẹ́ wọ̀nyí sábà máa ń para pọ̀.

Ìṣàyẹ̀wò Àìkùnà ti Àwọn Òrùka Tí A Fi TaC Bo Tí A Lò Nínú Àwọn Ẹ̀rọ LPE (ASM)

Àwọn òrùka graphite tí a fi bo ojú rẹ̀ ń ṣiṣẹ́ lábẹ́ àwọn ipò tí ó le koko pẹ̀lú ìwọ̀n otútù gíga, ìṣàn gáàsì gíga, àti àwọn ìyípo ooru. Àwọn ọ̀nà ìkùnà àwọn òrùka graphite tí a fi bo ojú rẹ̀ sábà máa ń ní í ṣe pẹ̀lú wahala ìbòrí, dídára ojú ilẹ̀ àti àárẹ̀ ooru.

Ìyàtọ̀ etí níbi tí ìbòrí ti máa ń yọ́ kúrò láti etí àwọn etí mímú àti àwọn apá tín-ín-rín bí wọ́n ṣe ń gba itutu àti ooru kíákíá ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn apá tí ó pọ̀. Lẹ́yìn tí a bá ti bẹ̀rẹ̀ gbígbé ní etí, ìṣẹ̀lẹ̀ yìí máa ń dàbí síìpù tí ó ṣí ní etí.

Ìfọ́ kékeré lè ṣẹlẹ̀ ní ojú ilẹ̀ inú níbi tí ìṣàn gáàsì ti le koko jù, tí ó sì ń mú kí àwọn ibi gbígbóná jáde ní agbègbè náà. A rí iye eruku dúdú díẹ̀ nínú ètò kan tí a ti so mọ́ àwọn ìfọ́ kékeré lórí ògiri inú òrùka náà. Àìlèṣe ìsopọ̀ ìsopọ̀ jẹ́ ọ̀nà pàtàkì mìíràn; ìsopọ̀ tí kò lágbára ní ìsàlẹ̀ ìpele náà jẹ́ nítorí pé ó ń fa ìyẹ̀fun tó pọ̀ lójijì tí a máa ń yọ kúrò láti ojú ilẹ̀ tí a kò fọ̀ dáadáa tàbí àwọn gáàsì tí a kó sínú ojú tí ó ń gbòòrò sí i.

Ní ọwọ́ kejì ẹ̀wẹ̀, yíyípo ooru kíákíá máa ń fa ìgbóná ooru nínú èyí tí àwọn ìdààmú ooru lè kó jọ ní kíákíá ní ojú ìbòrí/ìpìlẹ̀. Nínú iṣẹ́ ìṣẹ̀dá kan, òrùka kan máa ń pẹ́ fún oṣù díẹ̀. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ó dàbí pé ó jẹ́ déédéé ní àkọ́kọ́, ìwọ̀n àwọn ohun èlò ìpara pọ̀ sí i ní ṣísẹ̀-n-tẹ̀léra, nígbà tí a bá yọ ọ́ kúrò, apá ńlá kan nínú ìbòrí náà ti bàjẹ́ ní àyíká àwọn ibi ìsopọ̀mọ́ra náà.

Àìlera yìí jẹ́ nítorí ìgbóná tí kò bá ara mu àti ìwẹ̀nùmọ́ etí tí kò dára kí a tó fi bo ojú rẹ̀. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé àwọn àbùkù náà sábà máa ń pọ̀ sí i láti inú àwọn àbùkù kékeré pẹ̀lú àkókò, ṣíṣàyẹ̀wò déédéé àti iwọ̀n otútù gbígbóná tí ó dúró ṣinṣin lè jẹ́ àwọn ìgbésẹ̀ ìdènà tí ó dára láti dènà àwọn àbùkù irú èyí.