EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Wafer Gbigbe Ipari Effector
Semixlab Alumina Seramiki Wafer Gbigbe Ipari Effector n pese iduroṣinṣin ẹrọ ti ko baramu, mimọ, ati idena ipata fun adaṣe wafer semikondokito ode oni. Nipa apapọ iṣelọpọ alumina mimọ-giga, ẹrọ konge, ati iperegede ipari dada, Semixlab ṣe atilẹyin awọn ile-iṣẹ wafer agbaye ni iyọrisi ikore ti o ga julọ, awọn oṣuwọn abawọn kekere, ati akoko ohun elo to gun. Nduro siwaju si ijumọsọrọ rẹ nigbakugba.
Apejuwe
Ⅰ. Ohun elo ati Ti ara anfani
Semixlab Wafer Transfer End Effector jẹ iṣelọpọ lati alumina mimọ-giga (Al₂O₃) seramiki, ti a ṣe lati pese ẹrọ iyasọtọ ati iduroṣinṣin gbona ni awọn agbegbe iṣelọpọ semikondokito ilọsiwaju.
Ẹya ara ẹrọ pipe yii jẹ apẹrẹ fun mimọ giga, rigidity igbekale, ati resistance igba pipẹ si pilasima ati awọn gaasi ipata — ṣiṣe ni yiyan ti o fẹ fun mimu wafer ni CVD, PECVD, etching, oxidation, ati ohun elo epitaxy.
Awọn anfani Ohun elo pataki:
● Mimọ ≥ 99.5%: Ṣe idaniloju idoti ion irin odo, mimu iduroṣinṣin dada wafer.
● Lile Giga (Mohs ~ 9): Iyatọ abrasion Iyatọ fun olubasọrọ wafer tun.
● Iduroṣinṣin Ooru titi de 1000 ° C: Apẹrẹ fun awọn iṣẹ gbigbe wafer gbona.
● Idabobo Itanna Ti o dara julọ: Atako iwọn didun>10¹⁴ Ω·cm ṣe idilọwọ ibajẹ ESD.
● Ultra-Smooth Surface Pari (Ra ≤ 0.02 μm): Dindinku wafer scratches ati iran patiku.
● Kemikali ti o lagbara ati Resistance Plasma: Daduro HF, Cl₂, CF₄, ati ifihan pilasima O₂.
Ti a fiwera pẹlu kuotisi tabi awọn omiiran eroja erogba, awọn ohun elo alumina nfunni ni rigidity ti o ga julọ, mimọ, ati igbesi aye gigun labẹ awọn ipo igbona ti atunwi ati igbale gigun kẹkẹ.
Ⅱ. Awọn italaya Ilana ti o wọpọ ati Awọn solusan Imọ-ẹrọ
| ipenija | Ṣe | Awọn solusan Imọ-ẹrọ Semixlab |
| Patiku generation | urface roughness tabi bulọọgi-dojuijako lati atunwi mimu | Digi didan (Ra ≤ 0.02 μm) ati chamfering deede; deede ultrasonic ninu |
| Wafer yiyọ | Aivenven dada edekoyede tabi ko dara igbale pinpin | Iṣapeye groove geometry ati bulọọgi-sojurigindin bo fun imudara wafer dimu |
| Aimi idiyele Kọ-Up | Ailopin idiyele idiyele labẹ igbale | Lilo semiconductive Al₂O₃-TiO₂ akojọpọ lati mu itusilẹ idiyele dara si |
| Plasma ogbara tabi Kemikali Attack | Ifarabalẹ tẹsiwaju si awọn gaasi ipata | Lilo Al₂O₃ (> 99.8%) ti o ni ipon pẹlu awọn ibora SiC tabi Y₂O₃ fun aabo dada |
| Gbona mọnamọna bibajẹ | Awọn iyipada iwọn otutu iyara laarin awọn agbegbe ilana | Apẹrẹ alumina ti o dara-ọkà pẹlu CTE kekere ati awọn ilana iṣaju lati dinku aapọn |
ohun elo
Awọn ipa ati Awọn ohun elo ni Awọn ilana Semikondokito
Semixlab Wafer Gbigbe Ipari Effector ṣiṣẹ bi wiwo pataki laarin awọn eto mimu roboti ati awọn wafers ohun alumọni elege, ni idaniloju kongẹ, iduroṣinṣin, ati gbigbe gbigbe laisi idoti laarin awọn iyẹwu ilana.
Awọn oju iṣẹlẹ Ohun elo akọkọ:
1. Wafer Loading ati Unloading
Ti a lo ninu LPCVD, PECVD, ati awọn ileru oxidation, awọn alumina opin awọn ipa ti n ṣetọju isọdi wafer ati imukuro micro-gbigbọn lakoko fifi sii ati yiyọ kuro ninu awọn iyẹwu ilana.
2. Robotic mimu Systems
Ijọpọ sinu awọn modulu gbigbe wafer adaṣe adaṣe, awọn ipa wọnyi n pese iṣedede ipo atunwi, pataki fun ṣiṣe-giga ati awọn fabs wafer pipe.
3. Imudani Ilana Iwọn otutu giga
Ṣeun si iduroṣinṣin igbona ti o dara julọ, olupilẹṣẹ alumina ṣe atilẹyin gbigbe gbigbe wafer lẹhin-deposition lẹhin awọn ilana iwọn otutu ti o ga bii idagbasoke epitaxial ati annealing.
4. Plasma ati Etch Chamber Integration
Sooro si awọn gaasi ifaseyin ati ogbara pilasima, ipa alumina ṣe idaniloju iṣẹ ṣiṣe ti o tọ ni awọn etchers pilasima ati awọn eto mimọ.
5. Kontaminesonu-Iṣakoso Ayika
Ilẹ ti o mọ pupọju ati ailagbara kemikali jẹ ki o dara fun awọn apa ilana to ṣe pataki (<10 nm), nibiti paapaa itọpa idoti ni ipa lori ikore ẹrọ.
ifigagbaga Anfani
Awọn Anfani Ipa Ipari Seramiki Semixlab
● konge: ISO-ipele iṣakoso onisẹpo ati iha-micron flatness fun idurosinsin wafer olubasọrọ.
● Iwa-mimọ: 100% awọn ohun elo ti o ni ibamu pẹlu yara mimọ pẹlu ijadejade lile ati idanwo idoti.
● Isọdi-ara: Wa ni awọn geometries pupọ (dimu eti, iru igbale, oriṣi orita) lati baamu awọn ọna ṣiṣe roboti oriṣiriṣi.
● Igbẹkẹle: Iṣeduro igbesi aye ti a fihan ni awọn ile-iṣẹ semikondokito giga-giga ni agbaye.
Awọn onimọ-ẹrọ Semixlab nigbagbogbo n ṣatunṣe sisẹ seramiki ati awọn imọ-ẹrọ ti a bo lati rii daju pe iwọn iwọn, iran patiku kekere, ati igbesi aye iṣẹ ṣiṣe ti o gbooro ti ipa kọọkan. A nireti tọkàntọkàn lati pese fun ọ pẹlu awọn ọja alamọdaju ati adani ati awọn solusan imọ-ẹrọ.
wa Services
Ile itaja Ọja Semixlab
