Aṣa kuotisi wafer ọkọ

Ọkọ oju omi Quartz Wafer kan—ti a tun mọ ni onigbese wafer quartz, ọkọ oju omi annealing quartz, tabi akọmọ ọkọ oju-omi wafer — jẹ paati ti a ṣe ni pipe ti a lo lati mu ati gbe awọn wafer silikoni lakoko ọpọlọpọ awọn ilana iṣelọpọ semikondokito. Iwọnyi pẹlu ifoyina, itankale, LPCVD, ati annealing. Nipa aridaju awọn wafers wa ni ibamu ati iduroṣinṣin labẹ awọn ipo iwọn otutu, awọn ọkọ oju omi quartz fun sisẹ wafer semikondokito jẹ pataki fun iyọrisi ikore giga ati iṣelọpọ ẹrọ ti ko ni abawọn.

Awọn ohun-ini ohun elo ti Awọn ọkọ oju omi Wafer Quartz

Ni Semixlab, awọn ọkọ oju omi wafer quartz aṣa wa ti ṣelọpọ lati quartz dapo mimọ-giga, eyiti o funni ni iduroṣinṣin ẹrọ ti o dara julọ, imugboroja igbona kekere, ati resistance giga si ipata kemikali.

Awọn ohun-ini Ti ara bọtini ti Quartz Fused:

● Mimọ: > 99.99% SiO₂

●Imugboroosi Gbona: ~0.55 × 10⁻⁶ /°C (20–1000°C)

● Oju Irọra: ~ 1665°C

● Idojukọ mọnamọna gbona: O tayọ, ti o lagbara lati duro awọn iyipada iwọn otutu iyara

● Imọlẹ opiti: Itọkasi giga ni UV, han, ati awọn sakani IR

● Kemikali Resistance: Inert si julọ acids ati ategun lo ninu wafer processing

Awọn ohun-ini wọnyi ṣe idaniloju pe awọn gbigbe wafer mimọ-giga lati Semixlab ṣetọju iduroṣinṣin igbekalẹ lakoko awọn iyipo iwọn otutu ti o ga leralera ni awọn ile-iṣẹ semikondokito.

Kini idi ti Awọn ọkọ oju omi Wafer Semixlab Quartz?

Semixlab jẹ olupese ti o ni igbẹkẹle ati olupese ti o ni amọja ni awọn ọkọ oju omi quartz fun sisẹ wafer semikondokito. Ifaramo wa si isọdọtun ati igbẹkẹle fun awọn ọja wa ni eti ifigagbaga:

● Isọdi ni kikun: A ṣe apẹrẹ awọn ọkọ oju omi wafer quartz aṣa ti a ṣe deede si awọn iwọn wafer kan pato (4”, 6”, 8”, 12”) ati awọn ibeere ilana.

● Awọn Ilana Mimọ-giga: Lilo kuotisi ti o mọ ultra-clean, awọn ọkọ oju omi wa dinku ibajẹ ati eewu patiku.

● Ijumọsọrọ Imọ-ẹrọ: Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa n pese itọnisọna alamọdaju fun yiyan akọmọ ọkọ oju omi wafer ti o tọ tabi apẹrẹ ti ngbe aṣa.

● Idanwo Ipò Gidigidi: Olukọni wafer quartz kọọkan n gba idanwo lile labẹ awọn ipo ileru idalẹnu ṣaaju gbigbe.

Ti o ba n wa awọn ọkọ ayọkẹlẹ wafer ti o ga-giga tabi ọkọ oju omi wafer quartz aṣa ti a ṣe apẹrẹ lati pade awọn alaye ilana gangan rẹ, Semixlab jẹ alabaṣepọ rẹ ti o gbẹkẹle. Kan si awọn tita wa ati ẹgbẹ atilẹyin imọ-ẹrọ lati beere agbasọ kan tabi jiroro awọn aṣa aṣa.

Awọn ohun elo ti Quartz Wafer Boats ni Semikondokito Wafer Processing

Awọn ọkọ oju omi wafer Quartz jẹ pataki si ọpọlọpọ awọn igbesẹ pataki ni iṣelọpọ semikondokito:

● Itankale ati Oxidation: Lakoko awọn ilana wọnyi, awọn wafers ti han si awọn iwọn otutu giga ati awọn gaasi kan pato lati ṣẹda awọn ohun-ini itanna ti o fẹ tabi awọn fẹlẹfẹlẹ idabobo. Awọn ọkọ oju omi Quartz n pese agbegbe iduroṣinṣin ati ko ni idoti fun awọn wafers ni awọn ileru otutu giga.

●Ayọ̀: Gẹgẹbi Quartz Annealing Boat, wọn lo lati ṣe igbona awọn wafers si awọn iwọn otutu ti o ga lati ṣe atunṣe ibajẹ lattice gara ti o ṣẹlẹ nipasẹ gbin ion, mu awọn dopants ṣiṣẹ, tabi yọkuro wahala. Iwa mimọ giga ati iduroṣinṣin gbona ti quartz ṣe idaniloju alapapo aṣọ ati ṣe idiwọ ibajẹ.

● Ìsọkúlẹ̀ Òru Òru (CVD): Ni CVD, awọn fiimu tinrin ti wa ni ipamọ lori awọn aaye wafer lati ipele gaasi kan. Awọn gbigbe wafer Quartz ṣetọju ipo wafer deede, pataki fun sisanra fiimu aṣọ ati didara.

● Ninu ati Ibi ipamọ: Lakoko ti kii ṣe iṣẹ akọkọ wọn, awọn ọkọ oju omi quartz tun le ṣee lo fun awọn ilana mimọ pato ati pese ailewu, ibi ipamọ mimọ fun awọn wafers laarin awọn igbesẹ ilana. Diẹ ninu awọn aṣa le tun ṣafikun Bracket Boat Wafer fun mimu irọrun ati iṣọpọ sinu awọn eto adaṣe.