Ga-ti nw quartz wafer ti ngbe

Olutọju Quartz Wafer ti o ga julọ (ti a tun mọ si Giga Purity Quartz Wafer Boat) jẹ paati pataki ni awọn ilana iṣelọpọ semikondokito. Ti a ṣe apẹrẹ lati mu ni aabo ati gbe awọn wafer silikoni, o ṣe idaniloju titete wafer deede lakoko itankale, ifoyina, LPCVD, ALD, annealing, ati awọn ilana mimọ.

Itumọ kuotisi mimọ-giga rẹ ṣe idilọwọ ibajẹ ati ṣetọju iduroṣinṣin ti awọn wafers, ṣiṣe ikore deede ati iṣẹ ṣiṣe to dara julọ ni awọn agbegbe mimọ.

Ohun elo & Ti ara Properties

● Ohun elo: 99.99% ga-mimọ sintetiki dapọ quartz

Awọn ohun-ini Ti ara bọtini & Awọn paramita:

● Mimọ: ≥ 4N (99.99%) - dinku ti irin ati ibajẹ patiku

●Atako igbona: Idurosinsin titi de 1,050°C - 1,200°C ni iṣẹ ṣiṣe ti nlọ lọwọ

●Atako mọnamọna Gbona: Olusọdipalẹ kekere ti imugboroosi igbona (0.55×10⁻⁶/°C)

ṣe idaniloju agbara ni awọn iyipada iwọn otutu iyara

● Kemikali Iduroṣinṣin: O tayọ resistance si ekikan ati ipilẹ ilana gaasi

● Yiye Onisẹpo: Ifarada laarin ± 0.05 mm fun aaye wafer aṣọ.

● Ipari Ilẹ: Awọn ipele didan didan Ultra-Dan (Ra ≤ 0.2 μm) lati ṣe idiwọ awọn idọti wafer

● Afihan: UV giga ati gbigbe IR fun ibojuwo ilana opiti

Awọn ohun elo ti Awọn Olukọni Wafer Quartz Purity Giga Kọja Awọn ilana

Iyipo ti awọn gbigbe wafer quartz mimọ-giga gbooro kọja iwoye nla ti awọn igbesẹ iṣelọpọ semikondokito. Apẹrẹ ti o lagbara wọn ati iduroṣinṣin ohun elo ṣe idaniloju iṣẹ ṣiṣe ti o dara julọ ni paapaa awọn agbegbe ti o nija julọ:

●Itan kaakiri & Awọn ileru Oxidation: Ninu awọn ilana igbona to ṣe pataki wọnyi, awọn ọkọ oju-omi kekere quartz wafer pese iduroṣinṣin, atilẹyin ko ni idoti fun awọn wafers. Iduroṣinṣin giga wọn ati imugboroja igbona kekere ṣe idiwọ aapọn lori awọn wafers, aridaju idagbasoke fiimu aṣọ ati awọn profaili doping pataki fun iṣẹ ṣiṣe ẹrọ.

● Ìsọkúlẹ̀ Òru Òru (CVD): Lakoko CVD, awọn fiimu tinrin ti wa ni ipamọ sori awọn wafers. Awọn ọkọ ayọkẹlẹ quartz wa ṣetọju iduroṣinṣin igbekalẹ ati mimọ paapaa niwaju awọn gaasi ifaseyin ati awọn iwọn otutu giga, idilọwọ iran patiku ati aridaju ifisilẹ fiimu didara-giga.

●Ayọ̀: Pipalẹ lẹhin-igbin nilo iṣakoso iwọn otutu to peye. Awọn olutaja Quartz ṣe idaniloju pinpin igbona aṣọ kan kọja wafer, igbega titunṣe lattice gara ati imuṣiṣẹ dopant laisi iṣafihan awọn aimọ.

●Etching & Cleaning: Botilẹjẹpe a maa n lo ni awọn ilana gbigbẹ, awọn ọkọ oju omi quartz tun n ṣiṣẹ ni awọn ibudo tutu kan nibiti ailagbara kemikali wọn si ọpọlọpọ awọn acids (laisi HF) jẹ anfani fun didimu awọn wafers lakoko mimọ kan pato tabi awọn igbesẹ etching.

● Gbigbe ion: Lakoko ti o ko ni ipa taara ninu gbigbin funrararẹ, awọn agbẹru quartz ni a lo fun ikojọpọ ati sisọ awọn wafers sinu afọwọsi, aridaju mimu to ni aabo.

● Aworan: Fun gbigbe ati mimu wafers laarin ọpọlọpọ awọn igbesẹ fọtolithography (fun apẹẹrẹ, ibora, ifihan, idagbasoke), awọn ọkọ ayọkẹlẹ wa pese ipilẹ iduroṣinṣin ati mimọ.

Ohun elo kọọkan lo awọn ohun-ini alailẹgbẹ ti quartz lati ṣetọju awọn iṣedede giga ti mimọ, iṣakoso iwọn otutu, ati iduroṣinṣin ẹrọ ti o nilo fun iṣelọpọ awọn ẹrọ semikondokito ilọsiwaju.

Awọn anfani Iṣẹ Semixlab

Ni Semixlab, a jẹ Olupese Olupese Quartz Wafer ti o ni mimọ ti o ni igbẹkẹle pẹlu imọ-jinlẹ lọpọlọpọ ni awọn paati ilana semikondokito. A pese:

● Apẹrẹ Aṣa & Ṣiṣẹpọ - Awọn iwọn ti a ṣe deede, awọn nọmba iho, ati awọn apẹrẹ ti ngbe lati baamu awọn iwọn wafer kan pato (4”, 6”, 8”) ati awọn iru ileru.

● Ijumọsọrọ Imọ-ẹrọ - Awọn iṣeduro ilana-pato lati mu ikore pọ si ati dinku akoko idinku.

● Afọwọṣe & Iṣẹ Ayẹwo - Afọwọkọ iyara ati igbelewọn ayẹwo fun awọn iṣẹ akanṣe.

● Iṣakoso Didara to muna - ISO-ifọwọsi iṣelọpọ ati 100% ayewo ṣaaju gbigbe.