Quartz wafer ti ngbe ọkọ oju omi

Atilẹyin ọkọ oju omi Semixlab quartz jẹ ohun elo gbigbe iṣẹ giga ti a ṣe apẹrẹ fun semikondokito, fọtovoltaic, LED ati awọn ile-iṣẹ itanna deede. O jẹ ohun elo quartz sintetiki mimọ-giga. Gẹgẹbi awọn ohun elo mojuto ni awọn ilana iwọn otutu giga, awọn atilẹyin ọkọ oju omi quartz ti di awọn ọkọ oju omi ti o dara julọ fun awọn wafers, awọn ohun alumọni siliki, awọn sobusitireti gilasi ati awọn paati konge miiran ni itankale, annealing, oxidation, CVD (isọdi eefin kemikali) ati awọn ilana miiran nitori iduroṣinṣin igbona wọn ti o dara julọ, inertness kemikali ati awọn alabara iṣẹ ṣiṣe iduroṣinṣin to munadoko.

Awọn oju iṣẹlẹ tabi ohun elo: 

Itankale Semikondokito, annealing, oxidation, ati CVD (Kẹmika Vapor Deposition) ilana.

Agbara Ile-iṣẹ

Semixlab Technology Co., Ltd ni awọn ile-iṣẹ R&D 2, awọn ipilẹ iṣelọpọ 2, awọn laini iṣelọpọ 12, awọn oṣiṣẹ 150+, ati awọn iroyin idoko-owo R&D fun diẹ sii ju 30%. Ifilelẹ ọja wa ni lilo akọkọ ni LED, Circuit Integrated IC, semikondokito iran kẹta, fọtovoltaic ati awọn ile-iṣẹ miiran. Semixlab ni R&D to lagbara, iṣelọpọ ati idanwo iṣọpọ ati awọn agbara ijẹrisi. Ni akoko kanna, a n ṣe ilọsiwaju imọ-ẹrọ ati ẹrọ wa nigbagbogbo pẹlu idoko-owo ti awọn mewa ti miliọnu fun ọdun kan.

Awọn iṣẹ ti adani

Lati pade awọn iwulo oriṣiriṣi, a pese awọn iṣẹ isọdi ti o rọ ati ṣe atilẹyin awọn atunṣe paramita wọnyi:

Awọn pato iwọn: Mura si oriṣiriṣi awọn sobusitireti bii 8 inches ati 12 inches, tabi ṣe akanṣe awọn ẹya apẹrẹ pataki ni ibamu si awọn iyaworan alabara.

Itọju oju: Iyanrin iyan yiyan, ibora (gẹgẹbi ibora silikoni carbide) ati awọn ilana miiran lati jẹki lilo ni awọn oju iṣẹlẹ kan pato.

Isopọpọ ẹya ẹrọ: Le ṣe deede pẹlu awọn ọwọn quartz, awọn baffles ati awọn paati miiran lati ṣe eto gbigbe ni pipe.

Eto idaniloju didara

Idanwo ohun elo aise: Iyanrin kuotisi mimọ-giga ti ko wọle, ṣe atupale nipasẹ ICP-MS (ayẹwo pilasima pilasima pilasima inductively).

Iṣakoso ilana: CNC machining konge + adaṣe adaṣe, ifarada iwọn bọtini ≤ ± 0.05mm.

Apoti mimọ: Kilasi 100 iṣakojọpọ ayika ti o mọ pupọ lati yago fun ibajẹ gbigbe.

Aṣoju ohun elo awọn oju iṣẹlẹ

iṣelọpọ Semikondokito: ti a lo fun annealing otutu-giga, ifoyina ati awọn ilana ifisilẹ fiimu tinrin ti awọn wafers ni awọn ileru itankale ati awọn ileru inaro.

Ile-iṣẹ fọtovoltaic: Gbigbe ati gbigbe ti PERC ati awọn sẹẹli TOPcon ni PECVD, itọka irawọ owurọ ati awọn ilana miiran.

Epitaxy LED: Ipo kongẹ ati idagba iwọn otutu giga ti awọn sobusitireti oniyebiye ninu ohun elo MOCVD.

Aaye iwadi: Isọpọ ohun elo ati idanwo ni awọn ileru otutu giga yàrá ati awọn agbegbe igbale.

1. O tayọ ga otutu resistance

Atilẹyin ọkọ oju omi kuotisi le duro awọn agbegbe iwọn otutu ti o ga ju 1200 ℃ fun igba pipẹ, pẹlu olusọdipúpọ igbona ti o kere pupọ (nipa 5.5 × 10⁻⁷ / ℃). O tun le ṣetọju iduroṣinṣin igbekalẹ labẹ itutu agbaiye iyara ati awọn ipo alapapo, yago fun fifọ tabi abuku ti o ṣẹlẹ nipasẹ aapọn gbona, ati aridaju atunṣe ilana.

2. Ultra-giga ti nw ati kemikali inertness

Ti a ṣe ti 99.99% tabi diẹ ẹ sii iyanrin quartz mimọ-giga, ko si ojoriro, ko si idoti, ni imunadoko ṣe idiwọ awọn ions irin tabi awọn idoti eleti lati jẹ idoti dada wafer ni iwọn otutu giga, ni pataki fun awọn ilana ilọsiwaju pẹlu awọn ibeere mimọ to muna (gẹgẹbi iṣelọpọ chirún ni isalẹ 7nm).

3. Konge igbekale oniru

Ilẹ ti atilẹyin ọkọ oju-omi jẹ didan pẹlu pipe to gaju (roughness Ra≤0.2μm), ti o ni ipese pẹlu ẹya iho itọsi, eyiti o le gbe awọn sobusitireti ti awọn titobi lọpọlọpọ (gẹgẹbi 8/12-inch wafers), aridaju alapapo aṣọ ati kaakiri gaasi, ati imudara iṣọkan ilana.

4. Ultra-gun iṣẹ aye

Ti a ṣe afiwe pẹlu graphite ibile tabi awọn gbigbe seramiki, awọn ohun elo quartz ni resistance ipata to lagbara, oṣuwọn isonu kekere ni awọn agbegbe ekikan/alkaline, ati iwọn lilo lemọlemọ le de awọn oṣu 12-24, ni pataki idinku awọn idiyele okeerẹ alabara.