Àwọn ọ̀pá Grafiti tí a fi sínú omi

Ní Semixlab, a ṣe àgbékalẹ̀ Impregnated Graphite Rod pàtó fún àwọn ohun èlò ooru, kẹ́míkà, àti mímọ́ tónítóní ti iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor òde òní. Fún ọ̀pọ̀ ọdún, ẹgbẹ́ onímọ̀-ẹ̀rọ wa ti ṣiṣẹ́ pọ̀ pẹ̀lú àwọn olùpèsè wafer tó gbajúmọ̀, àwọn ilé epitaxy, àwọn olùpèsè ẹ̀rọ, àti àwọn ohun èlò IDM láti rí i dájú pé gbogbo ẹ̀yà graphite bá àwọn ìlànà tó lágbára ti ilé-iṣẹ́ náà mu fún ìdúróṣinṣin, ìmọ́tótó, àti àtúnṣe.

Nínú àwọn ìlànà ìdàgbàsókè sílíkọ́nì kan ṣoṣo bíi Czochralski (CZ) àti Float-Zone (FZ), Àwọn ọ̀pá Graphite tí a fi sínú ara wọn ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí àwọn èròjà ìgbóná pàtàkì, àwọn ìtìlẹ́yìn ìṣètò, àwọn èròjà ìdábòbò, tàbí àwọn èròjà tí a lè mú kiri nínú àwọn ohun èlò tí ń fa kírísítà. Àwọn ìlànà wọ̀nyí sábà máa ń kọjá ìwọ̀n otútù tí ó ju 1500°C lọ, wọ́n sì nílò ohun èlò tí ó dúró ṣinṣin ní ooru, tí ó lágbára ní ẹ̀rọ tí kò ní ṣe àfikún sí ìbàjẹ́ irin tàbí ìṣẹ̀dá pàǹtíkì.

Pẹ̀lú ìrísí kékeré wọn tó pọ̀ sí i àti ihò tó dínkù, àwọn ọ̀pá graphite tí a fi sínú Semixlab máa ń pa ìdúróṣinṣin ìrísí mọ́ nígbà tí wọ́n bá ń lo ooru gígùn, wọ́n sì máa ń rí i dájú pé ooru náà dọ́gba, wọ́n sì máa ń dúró dáadáa sí àyíká yíyọ́. Èyí máa ń ṣe àfikún taara sí àwọn èròjà monocrystalline tó pọ̀ sí i, ìṣọ̀kan kristali tó ga jù, àti ìdínkù àbùkù nínú iṣẹ́ ẹ̀rọ tó wà ní ìsàlẹ̀.

Nínú àwọn ìlànà epitaxy (Epi) tó ti ní ìlọsíwájú, a ṣe àwọn ọ̀pá graphite wa tí a fi sínú omi fún lílò nínú àwọn ohun tí ó lè mú kí ara ṣiṣẹ́, àwọn àkójọpọ̀ ohun èlò wafer, àti àwọn modulu ìṣàkóso ooru níbi tí ìṣọ̀kan òtútù àti ìtújáde pàtákì tó kéré jùlọ ṣe pàtàkì jùlọ. Ìlànà iná mànàmáná gíga àti ìṣàkóso ìdènà líle ti ohun èlò náà mú kí àwọn ànímọ́ ìgbóná tí a lè sọ tẹ́lẹ̀ nígbà tí a bá ń gbé epitaxial sókè ní inaro tàbí ní petele.

Bákan náà, nínú àwọn ìlànà ìgbóná gíga níwájú bíi ìtànkálẹ̀, ìgbóná kíákíá, àti ìṣiṣẹ́ ìṣiṣẹ́ lẹ́yìn ìfiranṣẹ́, àwọn ọ̀pá graphite tí a fi sínú omi ń pèsè ìrànlọ́wọ́ oníṣẹ́-ọnà àti ooru tí ó dúró ṣinṣin nínú àwọn ilé ìgbóná quartz àti àwọn ohun èlò ìgbóná gíga. Ìwọ̀n wọn tí ó pọ̀ sí i àti àwọn ohun-ìní ìjákulẹ̀ tí ó kéré ń rí i dájú pé àwọn èròjà tàbí àwọn ohun ìdọ̀tí tí ń yí padà kò pọ̀ tó, ohun pàtàkì kan fún àwọn nodes tí ó ti lọ síwájú. Àwọn ọ̀pá graphite wọ̀nyí ń pa ìdúróṣinṣin oníwọ̀n mọ́ lábẹ́ ìyípo ooru tí a ń tún ṣe, wọ́n ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìṣiṣẹ́ dopant kan náà àti ìṣọ̀kan wafer-to-wafer nínú àwọn yàrá iṣẹ́ tí a ṣàkóso tí ó lágbára.

Jákèjádò gbogbo àwọn àyíká iṣẹ́ wọ̀nyí, ohun tí ó yàtọ̀ sí àwọn ọ̀pá ìtẹ̀wé Semixlab tí a fi sínú ẹ̀rọ ìtẹ̀wé ni àpapọ̀ àwọn ohun èlò mímọ́ tó ga, iṣẹ́ ṣíṣe déédé, àti àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìtẹ̀wé tí a ṣe àtúnṣe. Yálà a fi resini ṣe é fún ìdènà ìgbóná, tàbí a fi pitch ṣe é fún ìdàgbàsókè ìwọ̀n, tàbí a fi silicon-carbide ṣe é fún àìlera kẹ́míkà tó pọ̀ jùlọ, a ṣe àgbékalẹ̀ onírúurú kọ̀ọ̀kan láti bá àìní àwọn iṣẹ́ semiconductor pàtó mu. Ìṣàkóso dídára líle—pẹ̀lú ìṣàyẹ̀wò microstructural, ìdánwò ìwà pàtákì, ìmójútó ìdènà mànàmáná, àti ìfọwọ́sowọ́pọ̀ ìdúróṣinṣin ooru gíga—ó ń rí i dájú pé gbogbo ẹ̀yà tí a ti parí bá àwọn ìlànà ìgbẹ́kẹ̀lé semiconductor kárí ayé mu.

Semixlab ń tẹ̀síwájú láti ṣètìlẹ́yìn fún àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ wafer ìran tó ń bọ̀ nípa pípèsè àwọn èròjà graphite tó ń ṣe àtúnṣe iṣẹ́, pípẹ́, àti ìnáwó. Àwọn ọ̀pá Graphite wa tí a fi impregnated ṣe fún àwọn olùṣe ẹ̀rọ àti àwọn ohun èlò oníwọ̀n gíga ní ọ̀nà tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé sí ìṣọ̀kan iṣẹ́, àkókò iṣẹ́ irinṣẹ́ tó dára, àti ìdínkù ewu ìbàjẹ́. Semixlab ṣì jẹ́ alábàáṣiṣẹpọ̀ tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún àwọn ohun tí ó ní ìwọ̀n otútù gíga àti ìwẹ̀nùmọ́ gíga tó ń ṣàlàyé iṣẹ́ semiconductor tó ti ní ìlọsíwájú.