Awọn ẹya ara Grẹafiti Oko Gbona

Àwọn ẹ̀yà Graphite Field Thermal Field jẹ́ ìpìlẹ̀ ìpìlẹ̀ àyíká ooru nínú àwọn reactors epitaxial, níbi tí ìdúróṣinṣin ìwọ̀n otutu ṣe àfihàn dídára kristali, ìṣedéédé doping, àti ìwọ̀n àbùkù. Nínú epitaxy Si àti SiC—níbi tí ìwọ̀n otútù iṣiṣẹ́ le ju 1600°C lọ—àwọn ohun èlò ìgbóná graphite isostatic wa, àwọn susceptors, àwọn reflectors, àti àwọn ààbò ìdábòbò ṣe ìdásílẹ̀ pápá ooru tí ó dúró ṣinṣin àti tí ó dọ́gba tí ó ṣe pàtàkì fún ìdàgbàsókè fíìmù kan náà.

A ṣe àwọn èròjà wọ̀nyí nípa lílo àwọn ìwọ̀n graphite oníwà mímọ́ tó ga jùlọ pẹ̀lú ìbàjẹ́ irin tó kéré gan-an láti rí i dájú pé ó kéré sí ìṣẹ̀dá patiku àti pé ó dára jùlọ láti wà ní etí àti láti dọ́gba àárín sí etí. Pẹ̀lú àwọn ìbòrí SiC tó ti ní ìlọsíwájú tí a ṣe fún ìdènà sí àwọn ohun tí ń ṣáájú H₂, Cl₂, NH₃, àti hydrocarbon, àwọn ẹ̀yà graphite Semixlab ń pa ìdúróṣinṣin ìṣètò àti ìṣiṣẹ́ ooru mọ́ nípasẹ̀ àwọn àkókò gígùn àti ìgbóná gíga, tí ó ń fa àkókò àárín láàrín ìtọ́jú nínú àwọn ètò epitaxy petele àti inaro.

Yàtọ̀ sí epitaxy, àwọn èròjà graphite pápá ooru ń kó ipa pàtàkì nínú ìfọwọ́sowọ́pọ̀ ooru gíga fún àwọn ẹ̀rọ ìpele-bandgap, pàápàá jùlọ SiC MOSFETs. Àwọn ohun èlò wọ̀nyí nílò ìdúróṣinṣin ní àwọn iwọ̀n otútù tó ń súnmọ́ 1700–1800°C lábẹ́ afẹ́fẹ́ aláìlágbára tàbí afẹ́fẹ́ aláìléwu. Àwọn ohun èlò ìgbóná graphite ti Semixlab, àwọn àwo ìfàmọ́ra, àti àwọn sílíńdà ìdábòbò ń rí i dájú pé wọ́n fi ooru kan náà hàn sí wafer nígbà tí wọ́n bá ń mú dopant ṣiṣẹ́, ìṣẹ̀dá ìfọwọ́sowọ́pọ̀ ohmic, àti àtúnṣe àbùkù. Àwọn èròjà wa ń dín àwọn ìyípadà ooru kù tí ó lè fa ìbọn wafer, àwọn ìlà ìfàmọ́ra, tàbí wahala kristali—gbogbo wọn ni ó ń ba iṣẹ́ ẹ̀rọ jẹ́ àti ìyọrísí rẹ̀. Ibùdó ooru tí a ṣe àtúnṣe tí àwọn ojutu Semixlab ṣe ń mú kí ìṣiṣẹ́ dopant ṣiṣẹ́ sunwọ̀n sí i, ó sì ń dín ìkọlù ooru kù, ó sì ń jẹ́ kí àwọn ilana iwọ̀n otútù gíga tí a lè tún ṣe àti tí a lè ṣàkóso dáadáa.

Oko ooru ileru Czochralski kan ṣoṣo

Nínú àwọn ètò RTP àti RTA, níbi tí àwọn wafer semiconductor gbọ́dọ̀ máa lo ìyípo ìgbóná àti ìtútù kíákíá ní ìpele ọgọ́rùn-ún ìwọ̀n fún ìṣẹ́jú-àáyá kan, àwọn èròjà pápá ooru tí ó péye jẹ́ pàtàkì bákan náà. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé RTP máa ń lo ìgbóná tí a fi iná ṣe ní pàtàkì, ètò ooru inú—tí a sábà máa ń ní àwọn àtúnṣe graphite pyrolytic, àwọn ìtìlẹ́yìn graphite tí kò ní gaasi púpọ̀, àti àwọn èròjà ààbò tí a ṣe àgbékalẹ̀—ṣàlàyé bí agbára ìtànṣán ṣe dé wafer náà.

A ṣe àwọn ẹ̀yà graphite Semixlab láti mú kí ìpínkiri ooru ìtànṣán dúró ṣinṣin, láti dín àwọn ipa ibi tí ó wà ní etí kù, àti láti ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ìyípadà ooru tí ó yára gidigidi láìsí yíyí tàbí kí ó gbóná. Èyí ń rí i dájú pé ìlànà náà báramu fún àwọn ìgbésẹ̀ pàtàkì bíi ṣíṣiṣẹ́ dopant, ìṣẹ̀dá silicide, fífún àwọn ìsopọ̀ ultra-shallow, ìṣàtúnṣe ìpele ẹnu ọ̀nà, àti àwọn ìtọ́jú ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ ní àwọn nodes CMOS tí ó ti ní ìlọsíwájú.

Jákèjádò gbogbo àwọn ìlànà ìgbóná-òtútù gíga wọ̀nyí, a ṣe àgbékalẹ̀ Semixlab's Each Thermal Field Graphite Part láti mú kí ìṣàn ooru sunwọ̀n síi, dín àwọn ìyípadà ìgbóná-òtútù kù, kí ó sì ṣiṣẹ́ dáadáa lábẹ́ ìkọlù ooru tí ó ń yípadà, àwọn kẹ́míkà oníbàjẹ́, àti àwọn àyíká afẹ́fẹ́ tí ó mọ́ tónítóní. Ètò dídára wa tí a ṣepọ ń rí i dájú pé ó péye, mímọ́ ojú ilẹ̀, àti ìṣọ̀kan ìsopọ̀mọ́ra tí ó bá àwọn ohun tí àwọn olùṣe ẹ̀rọ semiconductor olórí nílò mu tàbí kí ó ju àwọn ohun tí wọ́n nílò lọ. Semixlab ní ìrètí láti di alábàáṣiṣẹpọ̀ rẹ fún ìgbà pípẹ́ ní China.