EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC seramiki Robotic Arm
Gẹgẹbi olupilẹṣẹ SiC Ceramic Robotic Arm ati olutaja ni Ilu China, SiC Ceramic Robotic Arm nipasẹ Semixlab Semiconductor jẹ ojutu iṣẹ-ṣiṣe ti konge fun mimu wafer mimọ ultra-clean ni iṣelọpọ semikondokito ilọsiwaju. Ti a ṣe lati Silicon Carbide mimọ-giga (SiC), o jẹ Apẹrẹ fun CVD, Etch, Ion Implantation, Oxidation, ati SiC/GaN Agbara ẹrọ iṣelọpọ, apa roboti yii dinku ibajẹ, mu ikore pọ si, ati gbooro igbesi aye ohun elo ati pese pipe ti ko ni ibamu, mimọ, ati igbẹkẹle fun awọn ilana iṣelọpọ ti atẹle. A ṣe itẹwọgba awọn ibeere rẹ.
ohun elo
Awọn ohun elo Bọtini
SiC Ceramic Robotic Arm lati Semixlab Semikondokito jẹ apẹrẹ lati fi igbẹkẹle ti ko baramu ati mimọ kọja awọn ipele pupọ ti sisẹ wafer semikondokito. Ohun elo rẹ jẹ lati opin-iwaju si awọn ilana ipari-ipari, nibiti deede, iṣakoso idoti, ati iduroṣinṣin ohun elo jẹ pataki-pataki.
Ni mimu wafer ati awọn ọna gbigbe, SiC roboti apa ṣe idaniloju iṣipopada iduroṣinṣin ati patiku-ọfẹ ti awọn wafers laarin awọn iyẹwu igbale, awọn ibudo fifuye, ati awọn FOUPs. Dandan ultra, dada didan digi ṣe idilọwọ awọn idọti-kekere ati yọkuro idoti patikulu lakoko išipopada roboti iyara to gaju. Iduroṣinṣin onisẹpo rẹ labẹ igbale ati aapọn gbona ngbanilaaye lati ṣetọju deede ipo ipo-millimita, eyiti o ṣe pataki fun titete wafer adaṣe ati igbaradi lithography ilọsiwaju.
Lakoko CVD ati awọn ilana PECVD, apa ṣe afihan atako alailẹgbẹ si awọn agbegbe pilasima ati awọn gaasi ifaseyin bii Cl₂ ati HF, ngbanilaaye lilo taara ni awọn eto ifisilẹ mimu ohun alumọni, SiC, tabi GaN wafers. Paapaa labẹ ifihan gigun si awọn iwọn otutu ti o ga ju 1000 ° C, eto seramiki SiC ṣe itọju agbara ẹrọ rẹ ati geometry, pese gbigbe gbigbe wafer sinu ati jade ti awọn iyẹwu ilana iwọn otutu giga pẹlu akoko itọju kekere.
Ninu etching ati awọn modulu ikanni ion, apa SiC n ṣiṣẹ lainidi ni awọn oju-ọrun pilasima halogen ibinu nibiti awọn ohun elo ti fadaka tabi ti o da lori polima yoo maa bajẹ. Inertness kemikali rẹ ṣe idiwọ ipata ati sisọ patiku, aridaju iduroṣinṣin igba pipẹ ati ilọsiwaju akoko ọpa. Bakanna, lakoko ifoyina, annealing, ati awọn ilana itankale, iwọn imugboroja igbona kekere ti apa ṣe idilọwọ abuku ati ṣetọju deede titete wafer laibikita gigun kẹkẹ otutu otutu.
Apa roboti seramiki SiC tun jẹ itẹwọgba jakejado ni CMP, mimọ, ati awọn ohun elo ilana lẹhin, nibiti ibaramu kemikali mejeeji ati awọn ohun-ini dada mimọ-pupọ jẹ pataki. O koju ekikan ati awọn aṣoju mimọ ipilẹ, ṣe idilọwọ ionic leaching, ati imukuro idoti ti fadaka-ti o ṣe idasi si ilọsiwaju didara oju ilẹ wafer ati idinku abawọn.
Lakotan, ni iṣelọpọ agbara semikondokito SiC ati GaN, apa roboti yii di oluṣe pataki fun awọn ẹrọ bandgap jakejado iran atẹle. Ibamu ohun elo rẹ pẹlu SiC epitaxial wafers ati awọn olutọpa iwọn otutu ti o dinku ibajẹ-agbelebu, mu imudara ilana pọ si, ati ṣe atilẹyin iyipada ile-iṣẹ si iṣẹ-giga, awọn ohun elo agbara-daradara. Boya ni gbigbe igbale, epitaxy, tabi awọn eto anneal iwọn otutu giga, Semixlab SiC Ceramic Robotic Arm ṣe idaniloju pipe, mimọ, ati igbesi aye gigun labẹ awọn ipo ilana semikondokito ti o nbeere julọ.
Awọn ohun elo Kọja Awọn Laini Semikondokito
● 200mm / 300mm wafer processing awọn iru ẹrọ
● Ṣiṣẹda ẹrọ agbara SiC / GaN
● Awọn ọna gbigbe igbale otutu otutu
● LPCVD, PECVD, Epi, ati ohun elo RTP
ifigagbaga Anfani
Mojuto elo Anfani
Ti a ṣe lati awọn ohun elo amọ SiC ti o ni iwuwo giga, apa roboti n pese:
● Iduroṣinṣin ti o gbona titi di 1200 ° C fun ileru ati awọn ilana epitaxial.
● Idaabobo kemikali ti o ga julọ si HF, Cl₂, O₃, ati awọn gaasi ibinu miiran.
● Iṣiṣẹ ti o mọ julọ pẹlu iran ti o kere ju, apẹrẹ fun awọn agbegbe 1 Kilasi.
● Imugboroosi igbona kekere ti n ṣe idaniloju deede titete iwọn-milimita.
● Iyan conductive SiC ibora fun ESD Idaabobo ati electrostatic Iṣakoso itujade.
Ile itaja Ọja Semixlab
