Ga ti nw sintered sic ileru Falopiani
Gẹgẹbi olupilẹṣẹ asiwaju ati olutaja ti Awọn tubes SiC Furnace High Purity Sintered ni China, Semixlab's Sintered SiC Furnace Tubes jẹ apẹrẹ fun awọn ilana semikondokito to ti ni ilọsiwaju, pẹlu idagba epitaxial, oxidation thermal, and diffusion doping. Wa ni awọn iwọn aṣa ati awọn ipele mimọ, awọn tubes Semixlab ṣe ayewo ti o muna ati awọn idanwo gigun kẹkẹ gbona, jiṣẹ iṣẹ ti o gbẹkẹle fun iṣelọpọ semikondokito iwọn-giga.
Apejuwe
Awọn tubes ileru ohun alumọni sintered giga ti o ga julọ jẹ awọn paati pataki ni iṣelọpọ semikondokito ilọsiwaju. Ti a mọ fun iduroṣinṣin igbona ti o yatọ, inertness kemikali, ati akoonu aimọ kekere, awọn tubes wọnyi pese agbegbe ti ko ni idoti fun awọn ilana iwọn otutu bii idagba epitaxial, oxidation thermal, and diffusion doping.By dindinku iran patiku ati kontaminesonu ion irin, awọn tubes ileru SiC sintered rii daju pe iṣelọpọ ẹrọ, iṣelọpọ agbara, ati iṣelọpọ agbara.
ni pato
| Awọn ohun-ini ti ara ti Sintered Silicon Carbide | |
| ohun ini | Aṣoju Iye |
| kemikali Tiwqn | SiC>95%, Si <5% |
| Iwuwo Pupọ | >3.07 g/cm³ |
| Irisi porosity ti o han gbangba | |
| Modulu ti rupture ni 20 ℃ | 270 MPa |
| Modulu ti rupture ni 1200 ℃ | 290 MPa |
| Lile ni 20 ℃ | 2400 Kg/mm² |
| Lile fifọ ni 20% | 3.3 MPa · m1/2 |
| Imudara gbona ni 1200 ℃ | 45 w/m · K |
| Imugboroosi gbona ni 20-1200 ℃ | 4.51 × 10-6/℃ |
| Max.ṣiṣẹ otutu | 1400 ℃ |
| Itoju mọnamọna gbona ni 1200 ℃ | O dara |
ohun elo
Awọn ohun elo ni Awọn ilana Semikondokito
1. Epitaxial Growth
Ipa: Awọn tubes ileru Sintered SiC pese agbegbe agbegbe ti o gbona iduroṣinṣin fun apọju ohun alumọni ati awọn ilana apọju SiC ti a yan.
Awọn italaya ni Epitaxy:
●Iwọn otutu ti kii ṣe isokan ti o yori si sisanra Layer uneven.
● Idoti nkan ti o mu ki iwuwo abawọn pọ si ni awọn fiimu epitaxial.
● Ipata lati awọn gaasi ilana chlorinated tabi halogenated.
Awọn ojutu pẹlu Semixlab SiC Tubes:
● Imudani ti o ga julọ ṣe idaniloju pinpin ooru ti iṣọkan.
●Ipo sintered be gbe satunkọ patiku Tu.
● O tayọ ipata resistance pan aye iṣẹ labẹ ibinu kemistri.
2. Ilana Oxidation Gbona
Ipa: Ninu awọn ileru ifoyina, awọn tubes SiC ti a fi sisẹ ṣiṣẹ bi iyẹwu ifasẹyin nibiti awọn wafers silikoni ti farahan si atẹgun tabi nya si lati dagba aṣọ awọn fẹlẹfẹlẹ SiO2.
Awọn italaya ni Oxidation:
● Awọn tubes Quartz le ṣe atunṣe tabi ṣafihan awọn idoti ti fadaka lori awọn akoko gigun.
●Uneven gbona gradients ni ipa ohun elo afẹfẹ sisanra uniformity.
● Ọrinrin ti o ni iwọn otutu le mu ki ibajẹ ohun elo pọ si.
Awọn ojutu pẹlu Semixlab SiC Tubes:
● Superior gbona mọnamọna resistance idilọwọ awọn tube wo inu nigba tun alapapo ati itutu.
● Iwa mimọ SiC ti o ga julọ dinku ibajẹ ati ṣetọju didara ohun elo afẹfẹ.
● Igbesi aye iṣẹ pipẹ dinku akoko idinku ati iye owo rirọpo.
3. Itankale Doping
Ipa: Awọn tubes SiC Sintered ṣiṣẹ bi awọn iyẹwu ileru tan kaakiri fun iṣafihan awọn dopants (B, P, As) sinu awọn wafers silikoni.
Awọn italaya ni Itankale:
● Ibaraṣepọ laarin awọn gaasi dopant (POCls, BBr3, PHs) ati awọn ogiri tube ti nfa idoti.
● Ikojọpọ patiku ti o yori si jijo ipade ati ipadanu ikore.
● Idibajẹ igbekale lakoko lilo iwọn otutu ti o gbooro sii.
Awọn ojutu pẹlu Semixlab SiC Tubes:
● Kemikali inert dada koju iṣesi pẹlu awọn gaasi dopant.
● Ipon microstructure din patiku iran.
● Iduroṣinṣin iṣẹ labẹ 800-1,200 °C awọn iyipo sisẹ n ṣe idaniloju awọn profaili dopant deede.

ifigagbaga Anfani
Ni Semixlab, a funni ni ojutu pipe ti a ṣe lori awọn ọwọn pataki mẹta:
●Isọdi-ara ati Imọ-ẹrọ Ipese: A ye wa pe gbogbo ilana jẹ alailẹgbẹ. Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa n ṣiṣẹ taara pẹlu rẹ lati ṣe apẹrẹ ati iṣelọpọ aṣa awọn tubes ileru SiC ti o baamu deede awọn ibeere ilana ati awọn pato ohun elo. A le mu iwọn iwọn pọ si, sisanra ogiri, ati awọn ipari dada lati mu iṣẹ ṣiṣe pọ si ati fa igbesi aye tube.
●Igbimọran Imọ-ẹrọ: Ẹgbẹ wa ti awọn onimọ-jinlẹ awọn ohun elo semikondokito akoko wa lati pese atilẹyin imọ-jinlẹ jinlẹ. Boya o n ṣe laasigbotitusita ọrọ ikore tabi dagbasoke ilana iwọn otutu giga tuntun, a le funni ni imọran amoye lori bii o ṣe le ṣepọ awọn paati SiC wa fun awọn abajade to dara julọ.
●Idaniloju Didara Gbigbe Gbigbe ti o nira: A rii daju pe deede onisẹpo tube gbogbo, ipari dada, ati mimọ nipa lilo metrology ilọsiwaju ati awọn ilana itupalẹ ipilẹ. Ilana QA lile yii ṣe iṣeduro pe gbogbo ọja Semixlab ti o gba ti ṣetan fun iṣelọpọ iwọn-giga taara lati inu apoti.
Igbegasoke awọn ilana semikondokito rẹ pẹlu mimọ giga ti Semixlab sintered SiC ileru tubes — ti a ṣe adaṣe lati ṣafipamọ iduroṣinṣin igbona ti o yatọ, ailagbara kemikali, ati iṣẹ ṣiṣe ti ko ni idoti fun epitaxy, oxidation, ati awọn ohun elo itankale. Boya o nilo awọn iwọn aṣa, awọn alaye mimọ-giga, tabi ijumọsọrọ ilana iwé, Semixlab ṣe idaniloju awọn wafers rẹ ṣaṣeyọri ikore to dara julọ ati igbẹkẹle ẹrọ. Kan si ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa lati pade awọn iwulo iṣelọpọ semikondokito rẹ.
wa Services

Ile itaja Ọja Semixlab


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ




