gbogbo awọn Isori
SiC Awọn ohun elo amọ
Silikoni carbide ileru tube
Silikoni carbide ileru tube

Ga ti nw sintered sic ileru Falopiani


Gẹgẹbi olupilẹṣẹ asiwaju ati olutaja ti Awọn tubes SiC Furnace High Purity Sintered ni China, Semixlab's Sintered SiC Furnace Tubes jẹ apẹrẹ fun awọn ilana semikondokito to ti ni ilọsiwaju, pẹlu idagba epitaxial, oxidation thermal, and diffusion doping. Wa ni awọn iwọn aṣa ati awọn ipele mimọ, awọn tubes Semixlab ṣe ayewo ti o muna ati awọn idanwo gigun kẹkẹ gbona, jiṣẹ iṣẹ ti o gbẹkẹle fun iṣelọpọ semikondokito iwọn-giga.

Apejuwe

Awọn tubes ileru ohun alumọni sintered giga ti o ga julọ jẹ awọn paati pataki ni iṣelọpọ semikondokito ilọsiwaju. Ti a mọ fun iduroṣinṣin igbona ti o yatọ, inertness kemikali, ati akoonu aimọ kekere, awọn tubes wọnyi pese agbegbe ti ko ni idoti fun awọn ilana iwọn otutu bii idagba epitaxial, oxidation thermal, and diffusion doping.By dindinku iran patiku ati kontaminesonu ion irin, awọn tubes ileru SiC sintered rii daju pe iṣelọpọ ẹrọ, iṣelọpọ agbara, ati iṣelọpọ agbara.

ni pato
Awọn ohun-ini ti ara ti Sintered Silicon Carbide
ohun ini Aṣoju Iye
kemikali Tiwqn SiC>95%, Si <5%
Iwuwo Pupọ >3.07 g/cm³
Irisi porosity ti o han gbangba
Modulu ti rupture ni 20 ℃ 270 MPa
Modulu ti rupture ni 1200 ℃ 290 MPa
Lile ni 20 ℃ 2400 Kg/mm²
Lile fifọ ni 20% 3.3 MPa · m1/2
Imudara gbona ni 1200 ℃ 45 w/m · K
Imugboroosi gbona ni 20-1200 ℃ 4.51 × 10-6/℃
Max.ṣiṣẹ otutu 1400 ℃
Itoju mọnamọna gbona ni 1200 ℃ O dara
ohun elo

Awọn ohun elo ni Awọn ilana Semikondokito

1. Epitaxial Growth

Ipa: Awọn tubes ileru Sintered SiC pese agbegbe agbegbe ti o gbona iduroṣinṣin fun apọju ohun alumọni ati awọn ilana apọju SiC ti a yan.

Awọn italaya ni Epitaxy:

●Iwọn otutu ti kii ṣe isokan ti o yori si sisanra Layer uneven.

● Idoti nkan ti o mu ki iwuwo abawọn pọ si ni awọn fiimu epitaxial.

● Ipata lati awọn gaasi ilana chlorinated tabi halogenated.

Awọn ojutu pẹlu Semixlab SiC Tubes:

● Imudani ti o ga julọ ṣe idaniloju pinpin ooru ti iṣọkan.

●Ipo sintered be gbe satunkọ patiku Tu.

● O tayọ ipata resistance pan aye iṣẹ labẹ ibinu kemistri.

2. Ilana Oxidation Gbona

Ipa: Ninu awọn ileru ifoyina, awọn tubes SiC ti a fi sisẹ ṣiṣẹ bi iyẹwu ifasẹyin nibiti awọn wafers silikoni ti farahan si atẹgun tabi nya si lati dagba aṣọ awọn fẹlẹfẹlẹ SiO2.

Awọn italaya ni Oxidation:

● Awọn tubes Quartz le ṣe atunṣe tabi ṣafihan awọn idoti ti fadaka lori awọn akoko gigun.

●Uneven gbona gradients ni ipa ohun elo afẹfẹ sisanra uniformity.

● Ọrinrin ti o ni iwọn otutu le mu ki ibajẹ ohun elo pọ si.

Awọn ojutu pẹlu Semixlab SiC Tubes:

● Superior gbona mọnamọna resistance idilọwọ awọn tube wo inu nigba tun alapapo ati itutu.

● Iwa mimọ SiC ti o ga julọ dinku ibajẹ ati ṣetọju didara ohun elo afẹfẹ.

● Igbesi aye iṣẹ pipẹ dinku akoko idinku ati iye owo rirọpo.

3. Itankale Doping

Ipa: Awọn tubes SiC Sintered ṣiṣẹ bi awọn iyẹwu ileru tan kaakiri fun iṣafihan awọn dopants (B, P, As) sinu awọn wafers silikoni.

Awọn italaya ni Itankale:

● Ibaraṣepọ laarin awọn gaasi dopant (POCls, BBr3, PHs) ati awọn ogiri tube ti nfa idoti.

● Ikojọpọ patiku ti o yori si jijo ipade ati ipadanu ikore.

● Idibajẹ igbekale lakoko lilo iwọn otutu ti o gbooro sii.

Awọn ojutu pẹlu Semixlab SiC Tubes:

● Kemikali inert dada koju iṣesi pẹlu awọn gaasi dopant.

● Ipon microstructure din patiku iran.

● Iduroṣinṣin iṣẹ labẹ 800-1,200 °C awọn iyipo sisẹ n ṣe idaniloju awọn profaili dopant deede.

Silikoni carbide ileru Falopiani

ifigagbaga Anfani

Ni Semixlab, a funni ni ojutu pipe ti a ṣe lori awọn ọwọn pataki mẹta:

●Isọdi-ara ati Imọ-ẹrọ Ipese: A ye wa pe gbogbo ilana jẹ alailẹgbẹ. Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa n ṣiṣẹ taara pẹlu rẹ lati ṣe apẹrẹ ati iṣelọpọ aṣa awọn tubes ileru SiC ti o baamu deede awọn ibeere ilana ati awọn pato ohun elo. A le mu iwọn iwọn pọ si, sisanra ogiri, ati awọn ipari dada lati mu iṣẹ ṣiṣe pọ si ati fa igbesi aye tube.

●Igbimọran Imọ-ẹrọ: Ẹgbẹ wa ti awọn onimọ-jinlẹ awọn ohun elo semikondokito akoko wa lati pese atilẹyin imọ-jinlẹ jinlẹ. Boya o n ṣe laasigbotitusita ọrọ ikore tabi dagbasoke ilana iwọn otutu giga tuntun, a le funni ni imọran amoye lori bii o ṣe le ṣepọ awọn paati SiC wa fun awọn abajade to dara julọ.

●Idaniloju Didara Gbigbe Gbigbe ti o nira: A rii daju pe deede onisẹpo tube gbogbo, ipari dada, ati mimọ nipa lilo metrology ilọsiwaju ati awọn ilana itupalẹ ipilẹ. Ilana QA lile yii ṣe iṣeduro pe gbogbo ọja Semixlab ti o gba ti ṣetan fun iṣelọpọ iwọn-giga taara lati inu apoti.

Igbegasoke awọn ilana semikondokito rẹ pẹlu mimọ giga ti Semixlab sintered SiC ileru tubes — ti a ṣe adaṣe lati ṣafipamọ iduroṣinṣin igbona ti o yatọ, ailagbara kemikali, ati iṣẹ ṣiṣe ti ko ni idoti fun epitaxy, oxidation, ati awọn ohun elo itankale. Boya o nilo awọn iwọn aṣa, awọn alaye mimọ-giga, tabi ijumọsọrọ ilana iwé, Semixlab ṣe idaniloju awọn wafers rẹ ṣaṣeyọri ikore to dara julọ ati igbẹkẹle ẹrọ. Kan si ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa lati pade awọn iwulo iṣelọpọ semikondokito rẹ.

wa Services

Ile itaja Ọja Semixlab

aisọye

lorun

Gbona isori