Àwọn Ọkọ̀ Ojú Omi Gíráfítì PECVD Tó Jẹ́ Mímọ́ Jùlọ

ọja Akopọ

Àwọn ọkọ̀ ojú omi PECVD graphite ni a ń lò fún gbogbogbòò nínú àwọn ọ̀nà ìṣẹ̀dá sẹ́ẹ̀lì oòrùn níbi tí àwọn wafer silicon nílò láti kọjá nípasẹ̀ ìbòrí plasma àti passivation leralera. Nítorí pé ohun èlò graphite náà máa ń kan àwọn wafers tààrà nígbà tí wọ́n bá ń kó ẹrù, tí wọ́n bá ń gbé e, tí wọ́n sì ń kó nǹkan sí i, ìdúróṣinṣin rẹ̀ ní ipa tó lágbára lórí ìṣàkóso ìbàjẹ́ àti ìgbẹ́kẹ̀lé adaṣiṣẹ.

A máa ń ṣe àwọn ọkọ̀ ojú omi Semixlab graphite láti inú àwọn ohun èlò graphite tí a ti sọ di mímọ́ tí kò ní eeru púpọ̀ àti ìpínkiri ìwọ̀n tí ó dúró ṣinṣin. A ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀ yíká àwọn ipò ìṣiṣẹ́ tí a rí nínú àwọn ìlà ìṣiṣẹ́ tí ń bá a lọ, pàápàá jùlọ níbi tí àwọn ìyípadà ooru kíákíá àti ìlò roboti tí ó ń gba ìgbà púpọ̀ ti wọ́pọ̀.

Ní lílò gidi, ọ̀pọ̀ ilé iṣẹ́ kìí ṣe pé wọ́n ń kíyèsí mímọ́ nìkan, wọ́n tún ń kíyèsí ìbàjẹ́ lẹ́yìn ìgbà pípẹ́ tí wọ́n bá ti ń ṣe iṣẹ́ náà. Agbára tí ó bá tẹ̀ tàbí tí ó bá yí ìrísí rẹ̀ padà ní kíákíá lè fa ìṣòro ìgbésẹ̀, ìfọ́ wafer, tàbí ipò ẹrù tí kò dúró ṣinṣin. Láti dín àwọn ewu wọ̀nyí kù, a ṣe àwọn ọkọ̀ ojú omi graphite pẹ̀lú àwọn ànímọ́ ìfàsẹ́yìn ooru tí kò pọ̀ tó àti ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ tí ó dára síi.

A le ṣe atilẹyin fun awọn iwọn wafer oriṣiriṣi ati awọn iṣeto adaṣiṣẹ gẹgẹbi awọn ibeere ẹrọ alabara. A maa n lo ọja naa fun awọn agbegbe iṣelọpọ PECVD TOPCon, HJT, PERC, ati awọn agbegbe iṣelọpọ PECVD ti o jọmọ.

Key Awọn ẹya ara ẹrọ

Ohun èlò graphite tí a ti sọ di mímọ́ pẹ̀lú akoonu eeru tí ó wà lábẹ́ 20ppm.

Eto iduroṣinṣin labẹ awọn iyipo igbona ati itutu agbaiye ti o tun ṣe.

Ìfàsẹ́yìn ooru tó kéré sí i ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ohun èlò ìrù graphite ìbílẹ̀.

O dara fun awọn eto fifuye wafer adaṣe.

Dídínkù ìyípadà nígbà iṣẹ́ ilana plasma ìgbà pípẹ́.

Ni ibamu pẹlu awọn iru ẹrọ iṣelọpọ wafer M10 ati M12.

Ìṣètò Iho ẹrọ n ṣe iranlọwọ lati mu iduroṣinṣin gbigbe dara si.

Ó wà fún àwọn ìwọ̀n tí a ṣe àdáni àti àlàfo ìpele.

Awọn akọsilẹ iṣelọpọ & Ohun elo

A le yan awọn ohun elo graphite ti a lo fun awọn eto gbigbe wọnyi ni ibamu si ipo ilana alabara ati iyipo iṣẹ ti a reti. Ni ibamu si agbegbe ohun elo, awọn ipele graphite ti a gbe wọle tabi awọn ohun elo ti a sọ di mimọ ni ile le ṣe akiyesi mejeeji.

Semixlab tun ṣe atilẹyin fun atunṣe ẹrọ ti o da lori awọn iru ẹrọ adaṣiṣẹ oriṣiriṣi, pẹlu aaye iho, eto itọsọna, itọsọna fifuye, ati iṣeto apejọ. Ṣaaju iṣelọpọ ibi-pupọ, a maa n ṣe idanwo iwọn ati iṣiro ilana ni ibamu si awọn aworan alabara tabi awọn ibeere ayẹwo.

imọ ni pato