EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Àwọn ìfọ́fọ́ PZT piezoelectric tinrin-film
Àwọn Wafers PZT Piezoelectric tinrin-film ti Semixlab ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ohun èlò pàtàkì fún àwọn ẹ̀rọ MEMS tó ga jùlọ. Nípa lílo àwọn ilana PVD tó ti ní ìlọsíwájú (Physical Vapor Deposition), a ti ṣàṣeyọrí ìpamọ́ thinne-film PZT polycrystalline lórí àwọn substrates standard 6-inch àti 8-inch, tí a ṣe àfihàn pẹ̀lú àwọn constants piezoelectric gíga àti ìṣọ̀kan tó ga jùlọ. Pẹ̀lú ìdúróṣinṣin atomiki àti ìṣàkóso ìtọ́sọ́nà kristali pàtó, àwọn ọjà wa mú kí ìyípadà electromechanical ṣiṣẹ́ dáadáa nígbàtí wọ́n ń rí i dájú pé ìdúróṣinṣin ìpele iṣẹ́-ṣíṣe àti àwọn èso gíga. Wọ́n bá àwọn ohun èlò MEMS tó ti ní ògbóǹtarìgì mu—pẹ̀lú àwọn transducers acoustic, micropumps onípele, àti ìbánisọ̀rọ̀ RF—tí ó ń fún àwọn oníbàárà wa lágbára láti dí àlàfo láti yàrá ìwádìí àti ìṣẹ̀dá ibi-ńlá láìsí ìṣòro.
Apejuwe
Àkójọpọ̀ Àṣàyàn
A ṣe apẹrẹ fun iṣelọpọ MEMS gbogbogbo, a pese awọn eto akopọ boṣewa, ti a fọwọsi gaan ti o rii daju pe a sopọ mọ laini iṣiṣẹ semikondokito laisi wahala.
| Layer | Core Išė | Awọn ẹya Imọ-ẹrọ |
| Top Electrode | Ifiranṣẹ Ifihan | Agbara giga ati iduroṣinṣin ilana ti o tayọ nipa lilo irin ọlọla. |
| Fẹlẹfẹlẹ Piezoelectric | Agbara Iyipada | Fíìmù PZT tó ní ìwúwo gíga, tó lágbára (100) pẹ̀lú agbára ìwakọ̀ gíga. |
| Ifipamọ Layer | Ìtọ́sọ́nà Kírísítàlì | Agbára ìfọwọ́sowọ́pọ̀ tí a mú dára síi; ó dín ìtànkálẹ̀ àwọn èròjà kù; ó mú kí agbára ìfaradà àárẹ̀ ferroelectric pọ̀ sí i. |
| Isalẹ Electrode | Ipilẹ Igbẹkẹle Giga | Elekitirodu irin ọlọla Ere ti o ṣe idaniloju iduroṣinṣin itanna igba pipẹ. |
| Fẹ́ẹ̀lì ìfọmọ́ra | Ìsopọ̀ àti Ìsopọ̀ | Ó ń mú kí ìsopọ̀ mọ́ná láàárín elekitirodu àti ohun èlò náà sunwọ̀n sí i. |
| Sẹ́ẹ̀tì (Si/SOI) | Atilẹyin igbekale | Ni kikun ibamu pẹlu awọn iru ẹrọ Silicon (Si) tabi SOI boṣewa 8-inch. |
Ṣíṣe Àṣàyàn àti Àwọn Iṣẹ́ Foundry
Awọn Solusan Ti a Ṣe Apẹrẹ fun Awọn Ohun elo Piezoelectric Iṣẹ-giga
wa Services
● Àwọn Fíìmù Tín-ín-rín Àṣà: Àwọn irú fíìmù pàtó àti ìtúnṣe sísanra pípé.
● Ilé-iṣẹ́ Orísun Owó Orísun Owó: Ìdàgbàsókè tó ga lórí àwọn wáfárì tí àwọn oníbàárà ń pèsè.
● Ìṣọ̀kan SOI: Ìfipamọ́ pàtàkì fún RF/MEMS tó ti ní ìlọsíwájú.
ni pato
| paramita | Specification |
| Iwon Wafer | 6-inch / 8-inch |
| Agbara Resistivity Si oke | > 5,000 Ω`cm |
| Dopant & Sisanra | asefara fun oniru |
| Fẹ́ẹ̀lì Àpótí | Atilẹyin fun awọn sisanra oriṣiriṣi |
ohun elo
A ṣe àgbékalẹ̀ àwọn wafer PZT piezoelectric wa tó ní inṣi 8 láti bá àwọn ìbéèrè tó péye mu káàkiri onírúurú ilé iṣẹ́, èyí tó ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí òkúta pàtàkì fún ìyípadà electromechanical tó munadoko:
● Ìṣẹ̀dá Àròpọ̀ & Ìbánisọ̀rọ̀: Ó dára fún Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers (pMUT) àti Acoustic MEMS (fún àpẹẹrẹ, àwọn agbọ́hùnsọ àti makirofóònù tó ní agbára gíga). Pẹ̀lú ìfaradà tó ga jùlọ àti ìṣọ̀kan ipele, àwọn wafers wa ń jẹ́ kí ohùn tó ṣe kedere àti àwòrán ultrasonic tó péye. Ní àfikún, àwọn ànímọ́ Q-factor tó ga bá àwọn àlẹ̀mọ́ RF MEMS mu fún ṣíṣe àmì 5G/6G.
● Pípé Fluidics & Nano-Actuation: Fún àwọn orí Inkjet Printheads àti ìṣàkóso omi ìpele, àwọn ìpín piezoelectric gíga wa ń rí i dájú pé ìdúróṣinṣin ìgbàlódé gíga àti ìdúróṣinṣin ìfúnpọ̀ sísàlẹ̀. Nínú àwọn Micropumps àti Atomization ti Ìlera/Ẹwà, ìdènà àárẹ̀ tó dára ń ṣe ìdánilójú ìṣàkóso ìṣàn tó péye nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́ fún ìgbà pípẹ́.
● Igbẹkẹle Ile-iṣẹ ati Iṣoogun: Lati gbigba išipopada kekere-iwọn si nebulization ultrasonic agbara giga, awọn solusan PZT wa n pese iṣelọpọ agbara iduroṣinṣin, n ṣe iranlọwọ fun awọn alabara lati bori iwọn ati awọn idiwọ ṣiṣe ti awọn awakọ itanna ibile.
ifigagbaga Anfani
Ìyípadà Ìyípadà Electromechanical Tó Dára Jùlọ
Ní ìbámu pẹ̀lú ìmọ̀ ẹ̀rọ ìṣàkóso ìṣàkóṣo ìṣàkóṣo ìṣàkóṣo ìlọsíwájú, fíìmù tín-ín-rín náà ní ìpín piezoelectric tó lágbára gan-an e31,f. Gẹ́gẹ́ bí orísun agbára pàtàkì fún àwọn actuators MEMS, ó ń mú kí ìṣẹ̀dá ìyípadà ìyípadà gíga àti ìyípadà ńlá wáyé ní àwọn folti ìwakọ̀ tí ó kéré gan-an.
Iṣọkan Ilana Ipele Iṣelọpọ Ibi-pupọ
Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìṣàkóso ìṣẹ̀dá fíìmù ìpele atomiki ń rí i dájú pé ìwọ́n fíìmù tín-ín-tín 8-inch dé àwọn ìpele àfiyèsí ilé iṣẹ́. Ìwọ̀n ojú ilẹ̀ sub-nanometer bá àwọn ohun tí a nílò fún ṣíṣe àgbékalẹ̀ acoustic àti optical mu dáadáa.
Didara to lagbara ati igbẹkẹle
Ìwọ̀n àbùkù tó kéré gan-an àti ìdarí àwọn ohun èlò tó ga jùlọ mú kí ìṣẹ̀dá àwòrán pọ̀ sí i ní ìṣẹ̀dá micro-nano tó tẹ̀lé e. Ìṣètò àpapọ̀ onípele púpọ̀ àti àpẹẹrẹ ìpele buffer tó ṣe pàtàkì mú kí àárẹ̀ ferroelectric dínkù dáadáa, èyí tó ń rí i dájú pé àwọn ẹ̀rọ náà dúró ṣinṣin nígbà pípẹ́ lábẹ́ àwọn ipò iṣẹ́ tó díjú.
