Lẹẹdi alapapo eroja

Àwọn Ẹ̀rọ Gíráfítì Ìgbóná jẹ́ àwọn èròjà ooru pàtàkì tí a ń lò ní gbogbogbòò nínú iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor tó ti ní ìlọsíwájú, níbi tí ìṣàkóso ìwọ̀n otútù tó péye, ìdúróṣinṣin ooru tó ga, àti àyíká iṣẹ́ mímọ́ tónítóní jẹ́ pàtàkì. Ní Semixlab, a ṣe àwòrán àti ṣe àwọn èròjà ìgbóná graphite tó ga-ìmọ́ tí a ṣe ní pàtó fún àwọn ìlànà semiconductor tó gbajúmọ̀ bíi silicon, SiC, àti GaN epitaxy, àti ìtànkálẹ̀ ooru tó ga-ìmọ́ àti oxidation. Pẹ̀lú ìfọwọ́sowọ́pọ̀ pẹ̀lú àwọn olùṣe ẹ̀rọ àti àwọn ohun èlò, a ṣe àwọn ojutu ìgbóná graphite ti Semixlab láti ṣe àtìlẹ́yìn fún iṣẹ́-ṣíṣe tó dúró ṣinṣin, tó ṣeé tún ṣe, àti tó ga-ìmújáde.

Nínú àwọn ìlànà epitaxy semiconductor, títí bí Si, SiC, àti GaN, àwọn èròjà ìgbóná graphite ń kó ipa pàtàkì nínú dídásílẹ̀ àti ìtọ́jú àwọn ipò ooru tí a nílò fún ìdàgbàsókè kristali tí ó ga jùlọ. Ìfipamọ́ epitaxial nílò ìṣọ̀kan iwọn otutu tí ó le gan-an àti ìdúróṣinṣin lórí ojú wafer, nítorí pé àwọn ìyàtọ̀ ooru kékeré pàápàá lè ní ipa taara lórí sisanra fẹlẹfẹlẹ, ìpínkiri dopant, ìrísí ojú ilẹ̀, àti ìwọ̀n àbùkù. Àwọn èròjà ìgbóná graphite ni a sábà máa ń lò gẹ́gẹ́ bí àwọn ara ìgbóná àkọ́kọ́ tàbí a so wọ́n pọ̀ mọ́ àwọn ohun tí ń mú kí ara gbóná àti àwọn ohun èlò ìgbóná láàrín àwọn reactors epitaxial, tí wọ́n ń ṣiṣẹ́ ní ìgbẹ́kẹ̀lé ní àwọn iwọ̀n otútù tí ó ju 1000°C lọ fún silicon epitaxy tí ó sì dé 1600°C tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ nínú àwọn ohun èlò SiC. Ìfaradà ooru gíga wọn àti ìdènà tí ó tayọ sí ìkọlù ooru ń jẹ́ kí a ṣe àwọn pápá iwọ̀n otútù tí ó dúró ṣinṣin àti tí a lè sọtẹ́lẹ̀, èyí tí ó ṣe pàtàkì fún ìtúnṣe ilana àti ìṣàkóso ìyọrísí nínú iṣẹ́-ṣíṣe iwọn didun gíga.

Fún iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor onípele-ìpele, pàápàá jùlọ SiC àti GaN, àwọn èròjà ìgbóná graphite ni a mọ̀ sí ìmọ̀-ẹ̀rọ tó ń mú kí nǹkan rọrùn. Àwọn ohun èlò wọ̀nyí nílò ìwọ̀n otútù iṣẹ́ tó ga jù àti àwọn ìyípo ooru tó gùn ju silicon àtijọ́ lọ, èyí tó ń gbé àwọn ohun èlò ìgbóná sókè. A ṣe àwọn èròjà ìgbóná graphite onípele-ìpele Semixlab láti inú àwọn ohun èlò tí a yàn dáadáa àti àwọn ohun èlò kékeré tó dára láti rí i dájú pé àwọn ìpele àìmọ́ tó kéré, kí ó má ​​baà gbóná jù, kí ó sì pẹ́ títí lábẹ́ afẹ́fẹ́ hydrogen, vacuum, tàbí inert gaasi. Àwọn ìbòrí tó ti ní ìlọsíwájú bíi SiC tàbí pyrolytic carbon, tún mú kí ìdúróṣinṣin kẹ́míkà pọ̀ sí i, kí ó dín ìṣẹ̀dá pàǹtíkì kù, kí ó sì fa ìgbésí ayé iṣẹ́ gùn sí i, kí ó lè ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ìlànà ìmọ́tótó tó lágbára ti ẹ̀rọ agbára àti iṣẹ́ ẹ̀rọ RF.

Nínú àwọn ìlànà ìtànkálẹ̀ àti ìfọ́mọ́lẹ̀, àwọn èròjà ìgbóná graphite ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí orísun ooru tí ó dúró ṣinṣin àti tí a lè ṣàkóso nínú àwọn ilé ìgbóná ooru gíga tí a lò fún ìtànkálẹ̀ dopant, ìfọ́mọ́lẹ̀ ooru, àti ìfọ́mọ́lẹ̀. Àwọn ìlànà wọ̀nyí nílò ìṣàkóso pípéye lórí àwọn ìwọ̀n ìpele ìgbóná otutu, ìṣọ̀kan, àti ìdúróṣinṣin ìgbà pípẹ́ láti dé ìwọ̀n jíjìn ìsopọ̀ pípéye, àwọn ìkún oxide, àti àwọn ànímọ́ iná mànàmáná. Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn èròjà ìgbóná irin, graphite ní agbára ìgbóná gíga tí ó ga jùlọ àti ìdínkù ewu ìyípadà tàbí ìfàsẹ́yìn nígbà iṣẹ́ pípẹ́, èyí tí ó ń ṣe àfikún sí àkókò iṣẹ́ irinṣẹ́ tí ó dára síi àti ìdínkù owó ìní.

Láti ojú ìwòye àpẹẹrẹ ẹ̀rọ, àwọn èròjà ìgbóná graphite ń fúnni ní ìpele gíga ti ìyípadà nínú àwòrán. Ìṣiṣẹ́ wọn ń jẹ́ kí a lè ṣe àwọn ètò ìgbóná tó díjú, àwọn ètò ìgbóná onípele púpọ̀, àti àwọn ìrísí ìdènà tí a ṣe àtúnṣe sí, èyí tí ó ń jẹ́ kí a ṣe àtúnṣe ooru tó péye tí a ṣe àtúnṣe sí àwọn ètò ìgbóná tàbí ilé ìgbóná pàtó. Semixlab ń ṣiṣẹ́ pẹ̀lú àwọn oníbàárà láti mú kí àwòrán ìgbóná náà dára síi ní ìbámu pẹ̀lú àwọn ohun tí a nílò nínú iṣẹ́, àwòrán yàrá, àti àwọn ìṣesí ooru, èyí tí ó ń rí i dájú pé a ṣe àkópọ̀ rẹ̀ dáadáa sí àwọn irinṣẹ́ semiconductor àtijọ́ àti ìran tí ń bọ̀.

A ṣe ẹ̀rọ ìgbóná graphite ti Semixlab lábẹ́ àwọn ìṣàkóso ìlànà tó lágbára, a sì ń ṣe àyẹ̀wò tó péye láti rí i dájú pé ó mọ́ tónítóní, ìwọ̀n, agbára ìdènà iná mànàmáná, àti ìpéye ìwọ̀n. Ìfaramọ́ yìí sí ìwà rere ohun èlò àti ìdúróṣinṣin iṣẹ́ ń ran àwọn olùṣe semiconductor lọ́wọ́ láti dín ìyàtọ̀ nínú iṣẹ́ náà kù kí wọ́n sì máa ṣe iṣẹ́ ìṣẹ̀dá tó dúró ṣinṣin ní gbogbo ọjọ́ ayé ẹ̀rọ náà. Pẹ̀lú àwọn àwòṣe tó ṣeé ṣe àti àwọn ìbòrí tó ti ní ìlọsíwájú, àwọn ọ̀nà ìgbóná graphite ti Semixlab ń ṣe àtìlẹ́yìn fún iṣẹ́ ìṣiṣẹ́ tó dúró ṣinṣin, ìdàgbàsókè tó dára, àti ìdínkù iye owó tó wà nínú gbogbo ohun ìní fún àwọn olùṣe àti àwọn ẹ̀rọ semiconductor. A ń retí láti gba àwọn ìbéèrè rẹ síwájú sí i.