Ga-mimọ onirin graphite

Graphite oníhò gíga jẹ́ ohun èlò pàtàkì fún iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor tó ti pẹ́, níbi tí ìdúróṣinṣin ooru rẹ̀ tó ga, ìpele ìbàjẹ́ tó kéré gan-an, àti ìṣọ̀kan iṣẹ́ náà ṣe pàtàkì jùlọ. Àwọn ojutu graphite oníhò gíga ti Semixlab ni a ṣe ní pàtó fún àwọn ilana semiconductor tó ní ìwọ̀n otútù gíga àti ìbàjẹ́ tó ní í ṣe pẹ̀lú ìbàjẹ́.

Nínú àwọn ìlànà epitaxy, a máa ń lo graphite onípele gíga nínú àwọn èròjà pàtàkì bíi àwọn ohun tí a fi sobsitireti, àwọn ohun èlò wafer, àwọn ètò ìpínkiri gaasi, àti àwọn èròjà pápá ooru. Nígbà ìdàgbàsókè epitaxial Si, SiC, àti GaN, ìṣọ̀kan òtútù àti ìṣàn gaasi tí ó dúró ṣinṣin jẹ́ àwọn ohun pàtàkì fún ìṣàkóso ìwọ̀n fíìmù, ìṣọ̀kan doping, àti ìdènà àbùkù. Ìṣẹ̀dá kékeré onípele Semixlab graphite ń jẹ́ kí ìpínkiri ooru tí ó dọ́gba àti ìtànkálẹ̀ gaasi tí a ṣàkóso kọjá ojú wafer, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń dín àìdúróṣinṣin ààlà Layer àti àwọn ipa etí kù.

Nígbà tí a bá ń tan kaakiri àti ìfọ́mọ́lẹ̀ tí ó nílò iṣẹ́ tí ó wà ní ìpele tí ó ga ju 1000 °C lọ, graphite oníhò tí ó ní ìhò tí ó ga ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìṣètò àti àtìlẹ́yìn fún àwọn ọkọ̀ ojú omi wafer, àwọn ohun èlò ìbòrí, àti àwọn èròjà ìdábòbò ooru. Ní ìfiwéra pẹ̀lú graphite oníhò tí ó ní ìhò, ìṣètò oníhò rẹ̀ ń dín wahala ooru àti ìyípadà kù nígbà tí a bá ń yípo ooru lẹ́ẹ̀kan sí i, ó ń mú kí ìdúróṣinṣin oníwọ̀n pọ̀ sí i àti fífún iye àkókò ẹ̀yà náà pọ̀ sí i. Àìlera kẹ́míkà tí ó wà nínú rẹ̀ àti ìwọ̀n àìmọ́ tí ó kéré ń ran lọ́wọ́ láti pa àyíká iṣẹ́ mímọ́ mọ́, ó ń ṣe àtìlẹ́yìn ìṣàkóso tí ó muna lórí àwọn profaili ìfọ́mọ́lẹ̀ dopant àti dídára fíìmù oxide nígbàtí ó ń dín ewu ìṣẹ̀dá pàǹtíkì àti ìbàjẹ́ kọjá.

Fún àwọn ìlànà CVD, LPCVD, àti PECVD, graphite oníhò gíga ń kó ipa pàtàkì nínú àwọn ohun èlò ìgbóná, àwọn ohun èlò ìgbóná, àti àwọn èròjà inú yàrá tí a fi hàn sí àwọn gáàsì oníṣẹ́-agbára àti àwọn iwọ̀n otútù gíga. Ìgbékalẹ̀ ooru tó dára jùlọ ti ohun èlò náà ń mú kí ooru yára, tí ó sì dọ́gba, nígbà tí ètò rẹ̀ tó ní ihò ń jẹ́ kí àwọn ọjà ìfipamọ́ tí a ṣàkóso pàkúté, dín ìfọ́ àti ìtújáde pàkúté kù nígbà tí ẹ̀rọ bá ń ṣiṣẹ́ fún ìgbà pípẹ́. Èyí ń ṣe àfikún tààrà sí ìdúróṣinṣin ilana tí ó pọ̀ sí i, àkókò ìtọ́jú gígùn, àti àkókò iṣẹ́ ẹ̀rọ tí ó pọ̀ sí i.

A ṣe graphite oníhò gíga ti Semixlab lábẹ́ ètò ìṣàkóso dídára tó lágbára, pẹ̀lú ìṣàkóso tó péye ti yíyan àwọn ohun èlò aise, ìwẹ̀nùmọ́, àti ìmọ̀ ẹ̀rọ microstructure. Nígbà tí a bá nílò iṣẹ́ gígùn tàbí ìṣiṣẹ́ ní àwọn àyíká kẹ́míkà tó le koko jù, ọjà yìí bá àwọn àwọ̀ ààbò tó ti ní ìlọsíwájú mu bíi SiC tàbí TaC. Nípa lílo ìyípadà tó tayọ nínú àwòrán, agbára ìṣiṣẹ́, àti ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí semiconductor tó ti ní ìlọsíwájú, a lè ṣe àwọn ojútùú wa ní ìbámu pẹ̀lú àwọn ohun tí a nílò fún pẹpẹ ohun èlò semiconductor àti ibi iṣẹ́ rẹ. A ń retí láti di alábàáṣiṣẹpọ̀ ìgbà pípẹ́ rẹ ní China.