CVD SiC bo wafer susceptor

Semixlab fojusi lori idagbasoke ati iṣelọpọ ti awọn ohun elo ohun alumọni ohun alumọni giga-mimọ (SiC), ati pe o ti pinnu lati pese awọn solusan iṣẹ ṣiṣe giga fun ile-iṣẹ semikondokito. Nipasẹ imọ-ẹrọ iyọdafẹ kẹmika to ti ni ilọsiwaju (CVD), a pese awọn iṣẹ ibora aṣa fun awọn alamọja wafer lati rii daju pe iṣẹ wọn ga julọ ni awọn agbegbe ilana to gaju.

A ṣe idawọle β-SiC mimọ-giga (iṣalaye kirisita (111)) lori dada ti sobusitireti lẹẹdi mimọ-giga nipasẹ imọ-ẹrọ CVD, ni akoko kanna, o ni resistance otutu-giga giga, resistance ipata ati agbara pinpin ooru aṣọ. Awọn ọja ti o yẹ fun Aixtron, Veeco ati awọn ohun elo idagbasoke epitaxial akọkọ miiran, ti a lo ni lilo pupọ ni GaN/GaAs ati idagbasoke epitaxial miiran.

Sobusitireti ti CVD SiC ti a bo wafer jẹ ti graphite SGL mimọ giga, ati ibora ohun alumọni ohun alumọni ipon ti dagba ni iṣọkan lori oju rẹ nipasẹ ilana isọdi ikemika (CVD). Ilana yii ni a ṣe ni iyẹwu ifa otutu ti o ga ati pe o ni idaniloju iṣotitọ kirisita nanoscale ti ibora nipa ṣiṣakoso ni deede ipin orisun ohun alumọni (fun apẹẹrẹ, methyltrichlorosilane) si gaasi orisun erogba, iwọn otutu (ni deede laarin 1000 ° C ati 1400 ℃) ati oṣuwọn ifisilẹ. Awọn sisanra ti ibora le ṣe adani ni ibamu si awọn ibeere ohun elo, ti o wa lati awọn microns diẹ si awọn mewa ti microns, lati pade awọn ibeere agbara ẹrọ ni awọn iwọn otutu ti o pọ ju, lakoko ti o yago fun eewu ti wahala wahala nitori sisanra pupọ.

Ni LED epitaxial idagba, awọn wafer atẹ nilo lati withstand instantaneous ga awọn iwọn otutu loke 1600 ℃ ati ki o nyara gbona gigun kẹkẹ. Pẹlu aaye yo ti o ga julọ (isunmọ 2700 ℃), olùsọdipúpọ kekere ti imugboroosi gbona (4.5 × 10^-6/ K) ati adaṣe igbona ti o dara julọ (~ 120 W / m · K), ibora CVD SiC le ṣetọju iduroṣinṣin jiometirika labẹ awọn iyipada otutu otutu ati yago fun warping wafer tabi awọn dojuijako-kekere ti o ṣẹlẹ nipasẹ aapọn gbona. Ni afikun, ailagbara kemikali ti SiC jẹ ki o ṣe afihan agbara ipata ti o lagbara ninu awọn gaasi ipata (bii HCl, H).₂) ayika, ni pataki idinku idoti aimọ ti a ṣafihan nipasẹ iyipada tabi awọn aati ẹgbẹ lakoko ilana naa, nitorinaa imudarasi iṣọkan ti Layer epitaxial lori oju wafer ati ikore ẹrọ.

Ọja naa ni lilo pupọ ni iṣelọpọ semikondokito iran kẹta, iṣelọpọ chirún LED agbara-giga. Fun apẹẹrẹ, ninu ilana itusilẹ eefin kemikali irin-Organic (MOCVD) fun awọn ẹrọ GaN-on-SiC RF, CVD SiC atẹ ṣe aṣeyọri isokan iwọn otutu laarin ± 1℃ ti dada wafer nipasẹ apẹrẹ pinpin aaye gbona gangan, ni idaniloju pe iyapa sisanra Layer epitaxial jẹ kere ju 1%. Ni akoko kanna, awọn abuda itusilẹ patiku kekere rẹ (iwuwo patiku <0.1/cm²bi iwọn nipasẹ SEM-EDS) jẹ ki o dara julọ ni awọn agbegbe yara ti o mọ ultra-mimọ, paapaa dara fun awọn apa ilana ilọsiwaju ti o ni ifura si awọn abawọn (gẹgẹbi awọn ilana iranlọwọ fun awọn eerun oye ni isalẹ 5 nm).

Ti a ṣe afiwe pẹlu awọn atẹ wafer ibile, igbesi aye iṣẹ ti CVD SiC ti a bo wafer hy pnotic tor le faagun nipasẹ awọn akoko 3-5. Awọn ẹya ara ẹni ti ara ẹni dada dinku igbohunsafẹfẹ itọju ati, ni idapo pẹlu imọ-ẹrọ atunkọ ibora ti agbegbe, dinku ipadabọ lori iwọn idoko-owo nipasẹ diẹ sii ju 40%. Gẹgẹbi data wiwọn ile-iṣẹ, laini iṣelọpọ 6-inch SiC epitaxial nipa lilo ọja yii le dinku awọn iyipada ilana laarin awọn ipele nipasẹ 15%, mu agbara iṣelọpọ lododun nipasẹ 20%, ati dinku oṣuwọn alokuirin nitori idoti si kere ju 0.03%.

Lati iwadii yàrá ati idagbasoke si iṣelọpọ iwọn-nla, Semixlab's CVD SiC ti a bo wafer hy pnotic tor nigbagbogbo ti ni ifọkansi si oludari ile-iṣẹ naa. Kii ṣe ilana agbara nikan, ṣugbọn tun okuta igun-ọna imọ-ẹrọ ni aaye ti iṣelọpọ iwọn otutu to gaju. Yoo tẹsiwaju lati pese iṣeduro igbẹkẹle fun iṣelọpọ ẹrọ giga-giga ni awọn aaye gige-eti gẹgẹbi ibaraẹnisọrọ 5G, ẹrọ itanna agbara agbara tuntun, ati iṣiro kuatomu.

Atilẹyin Wafer ati Gbigbe Ooru ni awọn ilana MOCVD, pẹlu bulu ati alawọ ewe LED, UV LED ati jin-UV LED ati bẹbẹ lọ, eyiti o jẹ ibamu si ohun elo lati LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI ati bẹbẹ lọ.

Imọ-ẹrọ asiwaju: Ilana CVD lati ṣaṣeyọri (111) iṣalaye β-SiC, iwọn ọkà 2-10μm, eto ipon.

Imudara ayika to gaju: resistance ifoyina iwọn otutu giga, resistance ogbara pilasima, eeru <5ppm.

Itọju igbona ti o dara julọ: Imudaniloju igbona ti 300W / m · K, CTE ni pipe ni ibamu pẹlu graphite lati yago fun fifọ wahala gbona.

Iṣẹ ilana ni kikun: Ṣiṣe atilẹyin sobusitireti, ifisilẹ ibora, idanwo ifijiṣẹ ọkan-idaduro.