EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Ohun alumọni Carbide Coating Graphite Atẹ
Semixlab Technology SiC Coated Graphite Tray jẹ paati ilana iṣẹ ṣiṣe giga ti o ṣajọpọ agbara ẹrọ ti graphite isostatic iwuwo giga pẹlu resistance kemikali ti o ga julọ ti ibora ohun alumọni CVD ipon. Apẹrẹ fun lilo ninu SiC ati Si epitaxial reactors, MOCVD awọn ọna šiše, tan kaakiri ileru, oxidation, annealing, ati ki o dekun gbona processing (RTP) irinṣẹ. o jẹ iṣelọpọ fun iṣelọpọ semikondokito ilọsiwaju. Lero free lati kan si wa.
Apejuwe
Semixlab Special Graphite Raw Awọn ohun elo fun Silicon Carbide Coating Graphite Tray
Ni Imọ-ẹrọ Semixlab, Silicon Carbide (SiC) Awọn Trays Graphite Ti a bo ti wa ni iṣẹ-ṣiṣe lati ṣe ni igbẹkẹle ni awọn agbegbe ilana semikondokito ti o nbeere julọ-nibiti awọn iwọn otutu ti o buruju, awọn gaasi ibajẹ, ati awọn ipo mimọ-pupa. Awọn atẹ wọnyi darapọ igbona ati awọn anfani ẹrọ ti lẹẹdi isostatic iwuwo giga-giga pẹlu iduroṣinṣin kemikali iyasọtọ ati iduroṣinṣin dada ti ibora ohun alumọni CVD ipon. Abajade jẹ ohun ti o lagbara, paati mimọ-giga ti o ṣe ipa pataki ni mimu iṣọkan ilana ilana, aitasera ikore, ati akoko ohun elo kọja ọpọlọpọ awọn igbesẹ iṣelọpọ wafer iwaju-opin.
Laarin awọn ọna ṣiṣe idagbasoke epitaxial—pẹlu silikoni (Si) ati silikoni carbide (SiC) epitaxy — SiC ti a bo atẹ lẹẹdi awọn iṣẹ bi agbẹja wafer pipe tabi ipilẹ susceptor. O pese atilẹyin ẹrọ iduroṣinṣin lakoko mimu pinpin iwọn otutu aṣọ ile kọja dada wafer, eyiti o ṣe pataki fun iṣakoso sisanra fiimu, isokan dopant, ati didara gara. Aso SiC n ṣiṣẹ bi idena inert kemika ti o ya sọtọ sobusitireti lẹẹdi lati awọn gaasi ifaseyin bii H₂, HCl, ati SiHCl₃, idilọwọ ibajẹ erogba tabi awọn aati gaasi-ipele. Dada didan digi rẹ dinku iran patiku ati mu iṣẹ ṣiṣe igba pipẹ ṣiṣẹ ni awọn agbegbe iwọn otutu giga si 1650 °C laisi ibajẹ.
Silicon Carbide Coating Graphite Tray Awọn oju iṣẹlẹ
Ni MOCVD ati awọn ilana ifisilẹ semikondokito agbo-ti a lo fun GaN, GaAs, ati iṣelọpọ ẹrọ InP — atẹ naa n ṣiṣẹ bi agbẹru wafer ti o ga ti o gbọdọ koju ifihan leralera si hydrogen ati awọn kemistri orisun amonia. Awọn superior ipata resistance ti awọn SiC bo idilọwọ ogbara ati dada roughening, aridaju dédé film mofoloji ati o gbooro sii paati aye. Iduroṣinṣin yii tumọ taara si awọn ipo idagbasoke asọtẹlẹ diẹ sii ati iṣelọpọ ohun elo ti o ga julọ fun LED, agbara, ati iṣelọpọ ẹrọ RF.
Atẹ lẹẹdi ti a bo SiC tun ṣe ipa pataki ninu itankale, ifoyina, annealing, ati awọn agbegbe sisẹ igbona iyara (RTP). Lakoko awọn igbesẹ iwọn otutu giga wọnyi, atẹ naa n ṣiṣẹ bi pẹpẹ atilẹyin ti o ṣetọju titete wafer, koju ifoyina, ati dinku ipalọlọ gbona. Imudara igbona giga rẹ ngbanilaaye fun iyara ati gbigbe igbona aṣọ, ṣiṣe iṣakoso iwọn otutu deede ati idinku wahala igbona lori awọn wafers. Idena SiC siwaju ṣe aabo lodi si ijadejade ati idoti irin-awọn idi akọkọ meji ti pipadanu ikore ni iṣelọpọ ẹrọ ilọsiwaju.
Kọja gbogbo awọn ohun elo wọnyi, Semixlab SiC Coated Graphite Tray awọn iṣẹ kii ṣe bii imuduro ẹrọ lasan ṣugbọn bi wiwo ilana ilana ti konge ti o ṣalaye igbona, kemikali, ati iduroṣinṣin mimọ ti gbogbo igbesẹ iṣelọpọ. Nipa apapọ imọ-ẹrọ ibora CVD ti ilọsiwaju, yiyan ohun elo mimọ-giga, ati iṣakoso jiometirika wiwọ, Semixlab pese awọn paati ti o pade igbẹkẹle okun ati awọn iṣedede mimọ ti awọn ile-iṣẹ semikondokito ode oni. Atẹwe kọọkan jẹ apẹrẹ fun iṣẹ atunṣe lori awọn ilana ilana pupọ, jiṣẹ aitasera ati agbara ti o nilo nipasẹ awọn aṣelọpọ agbaye ti n lepa ikore ẹrọ ti o ga julọ, iwuwo abawọn kekere, ati akoko ohun elo ti o gbooro sii.
wa Services
Ile itaja Ọja Semixlab
