EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Igbona lẹẹdi ti SiC ti a bo fun MOCVD
Semixlab SiC Coated Graphite MOCVD Heater jẹ arugbo igbona iṣẹ ṣiṣe giga ti a ṣe apẹrẹ fun awọn ilana iṣelọpọ semikondokito ti o nlo ifisilẹ oru kẹmika (CVD) lati ṣe aṣọ aṣọ kan, ohun alumọni ohun alumọni ipon (SiC) ti a bo lori dada ti sobusitireti graphite mimọ ultra-giga.
Apejuwe
awọn ọja alaye
SiC Coated Graphite MOCVD Heater daapọ adaṣe igbona ti o dara julọ ti graphite pẹlu iwọn otutu giga ati resistance ipata ti awọn aṣọ SiC, ati pe a lo ni lilo pupọ ni ohun elo eleto kemikali irin-Organic (MOCVD) lati rii daju iduroṣinṣin ati mimọ giga ni awọn ilana idagbasoke wafer epitaxy.
SiC Ti a bo Lẹẹdi MOCVD ti ngbona Awọn ẹya ara ẹrọ
1. Ultra-giga ti nw ati kemikali iduroṣinṣin
Iwa mimọ ≥99.99995%: Olugbona Graphite wa ti pese sile labẹ chlorination otutu otutu nipasẹ ilana CVD, eyiti o yago fun idoti irira ni imunadoko ati pade ibeere fun awọn agbegbe mimọ olekenka ni iṣelọpọ semikondokito.
Anti-kemikali ipata: Awọn ipon ati ki o ga líle ti SiC bo (Vickers líle ti 2500-2800) le koju awọn ogbara ti acids, alkalis, iyọ ati Organic olomi, eyi ti o pẹ awọn iṣẹ aye ti awọn ẹrọ ni awọn corrosive gaasi ayika.
2. O tayọ ga otutu resistance
Iduroṣinṣin iwọn otutu ti o ga: o le duro titi di 3000 ° C ni oju-aye inert, iṣiṣẹ iduroṣinṣin titi di 2200 ° C ni agbegbe igbale, ati 1600-1700 ° C ni agbegbe oxidizing, eyiti o dara fun awọn ipo to gaju ti iyẹwu ifura MOCVD.
Olusọdipalẹ Kekere ti Imugboroosi Gbona (4.5 x 10-⁶K-¹): Ẹya yii ti MOCVD Graphite Heater ni imunadoko ni idinku didan ti ibora tabi peeli nitori awọn iyipada iwọn otutu, ni idaniloju iduroṣinṣin igbekalẹ labẹ gigun kẹkẹ gigun gigun gigun.
3. Iṣẹ iṣakoso igbona ti o dara julọ
Imudara Gbona giga (200-300 W / mK): Imudara igbona giga ti Graphite MOCVD ti ngbona pinnu pe ọja le yarayara ati ni iṣọkan gbe ooru lati ṣaṣeyọri pinpin iwọn otutu iwọn otutu ti o ni ibamu (± 1 ° C), nitorinaa imunadoko imunadoko isokan Layer epitaxial.
Apẹrẹ aaye Flow Gas Laminar: Lẹhin isọdọtun imọ-ẹrọ ti nlọ lọwọ ati imudara, smoothness dada ti Igbona MOCVD wa (Ra ≤ 0.8μm) ati iṣapeye jiometirika ṣe idaniloju pinpin iṣọkan ti awọn gaasi ifaseyin ati dinku isọsọ ti kii ṣe isokan ti o ṣẹlẹ nipasẹ rudurudu.
ni pato
Imọ paramita lafiwe ati anfani
| abuda | Awọn igbona ti a bo Semixlab SiC | Awọn igbona lẹẹdi ti aṣa |
| Iwọn otutu iṣẹ ti o pọju (inert) | 3000 ° C | 2500 ° C |
| Kemikali Ti nw | ≥99.99995% | ≤99.99 |
| Itọju ibawọn ailera | 300W/mK | 120-150 W / mK |
| Ti nmu adhesion | 415 MPa (fidi-ojuami mẹrin) | 100-200 MPa |
| Igbesi aye aṣoju (awọn iyipo) | > Awọn iyipo 500 | Awọn iyipo 100-200 |
ifigagbaga Anfani
Kini idi ti Semixlab?
Isọdi: Semixlab ṣe ifaramo lati pese awọn ọja ti a ṣe adani ati awọn iṣẹ imọ-ẹrọ si awọn alabara wa. A ṣe atilẹyin isọdi ti awọn iwọn ti kii ṣe deede (to iwọn ila opin 360mm) ati awọn sisanra ti a bo (20-500μm) lati gba ọpọlọpọ awọn ohun elo ohun elo.
Ijẹrisi Agbaye: Ile-iyẹfun ti a bo SiC wa jẹ ibamu SEMI, ISO 9001 jẹ ifọwọsi, ati pe awọn ọja wa ni okeere ni pataki si Yuroopu ati Amẹrika, ati Japan ati South Korea, pẹlu idiyele pataki / anfani iṣẹ.
Amuṣiṣẹpọ imọ-ẹrọ: Semixlab ti ṣetọju ifowosowopo isunmọ pipẹ pẹlu awọn ile-iṣẹ iwadii oke ni Ilu China, ni lilo awọn imọ-ẹrọ ti o ni itọsi (gẹgẹbi ilana CGT Carbon's SiC³) lati jẹ ki awọn iwuwo bora ati resistance mọnamọna gbona.
