Agbára Ìfàmọ́ra Pẹ́lẹ́ẹ̀tì tí a fi SiC bo

A ṣe àgbékalẹ̀ SiC Coated Planetary Susceptor ti Semixlab fún ìtọ́jú ooru epitaxy semiconductor tuntun àti CVD, níbi tí ìṣọ̀kan ooru, ìdàgbàsókè tí kò ní àbùkù, àti ìdúróṣinṣin yàrá ìgbà pípẹ́ ṣe pàtàkì sí ìbísí ẹ̀rọ. A ṣe àgbékalẹ̀ ohun èlò yìí ní pàtó fún àwọn àyíká tí ó ní iwọ̀n otútù gíga tí ó ju 1500°C lọ àti kẹ́míkà gáàsì dídíjú tí a sábà máa ń rí nínú àwọn ètò epitaxial silicon, SiC, àti GaN. Ìbòrí SiC tí ó ní agbára náà pèsè ìpele ààbò tí ó ní ìwúwo gíga tí ó ń dènà ìbàjẹ́ àti pé ó ń rí i dájú pé ó dúró ṣinṣin, ó sì ń ṣiṣẹ́ fún ìgbà pípẹ́ nínú àwọn ohun èlò ìṣẹ̀dá tí ó ń béèrè fún ìwúwo.

Nínú àwọn ìlànà epitaxial semiconductor bíi Si, SiC, àti GaN, àwọn ohun èlò wafer planetary ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí mojuto ẹ̀rọ àti ìgbóná fún gbígbé àwọn wafers sínú agbègbè ìṣesí. Ìmúdàgba ooru wọn tí a ṣe àtúnṣe mú kí ìpínkiri otutu péye, nígbàtí ètò yíyípo pílánẹ́ẹ̀tì ń rí i dájú pé ìṣọ̀kan wà nínú àwọn ìwọ̀n ìdàgbàsókè, ìdàpọ̀ dopant, àti dídára kristali kọjá ọ̀pọ̀lọpọ̀ wafers. Nínú iṣẹ́ ẹ̀rọ agbára SiC, àní ìyípadà otutu substrate ±1-2% ní ipa lórí ìwọ̀n ìtúpalẹ̀ basal plane àti iṣẹ́ ẹ̀rọ. Ìṣọ̀kan ooru tí a mú pọ̀ sí i tí àwọn ohun èlò wafer planetary tí a bo SiC ń pèsè ń ran àwọn fabs lọ́wọ́ láti dín ìwọ̀n àbùkù kù, mú kí ìṣọ̀kan sisanra sunwọ̀n sí i, àti láti mú kí ìṣẹ̀dá batch-to-batch pọ̀ sí i.

Yàtọ̀ sí àwọn ìlànà epitaxial, afẹ́fẹ́ yìí tún ṣe pàtàkì nínú ìtànkálẹ̀ ìtújáde ìtújáde èéfín kẹ́míkà àti àwọn ìlànà ìtújáde ooru, ó ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ìsopọ̀ ooru tó dúró ṣinṣin láàárín orísun ooru àti ojú wafer. Àwọn ànímọ́ ojú ilẹ̀ tí kò ní àjẹkù, tí kò ní patiku kékeré dín ewu ìbàjẹ́ kù nígbà tí a bá ń yípo ooru gígùn, ó ń dáàbò bo àwọn wafers kúrò nínú ihò, ìṣẹ̀dá patiku, tàbí ìbàjẹ́ ẹ̀yìn. Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn àkójọpọ̀ ìtìlẹ́yìn tí a gbé ka orí graphite, apẹ̀rẹ̀ ìbòrí Semixlab SiC mú kí iṣẹ́ pẹ́ sí i, ó dín àkókò ìparẹ́ fún mímọ́ àti àtúnṣe kù, ó sì ń fúnni ní owó díẹ̀ fún àwọn ìlà iṣẹ́-ṣíṣe oníwọ̀n gíga.

A ṣe àgbékalẹ̀ ìfàmọ́ra Planetary Semixlab SiC kọ̀ọ̀kan nípa lílo àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ graphite gíga àti ìmọ̀-ẹ̀rọ ìfipamọ́ ìbòrí CVD SiC tó ti ní ìlọsíwájú láti rí i dájú pé agbára ìdènà ìbòrí, ìbáramu nínípọn, àti ìdènà ìgbóná. Ọjà náà ní àwọn ìwọ̀n àti ìṣètò tí a lè ṣe àtúnṣe láti bá àwọn ìpìlẹ̀ epitaxial tó gbajúmọ̀ mu tí a lò nínú iṣẹ́-ọnà ohun èlò semiconductor. Àwọn iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ Semixlab ní ìṣàyẹ̀wò iṣẹ́ ìbòrí, ìgbìmọ̀ ìbáramu yàrá, àti ìṣàkóso ìyípo ìgbésí ayé, tí a ṣe láti ran àwọn ẹ̀rọ lọ́wọ́ láti mú agbára pọ̀ sí i, láti tọ́jú èso, àti láti mú kí àwọn ìyípo iṣẹ́-ẹ̀rọ sunwọ̀n síi. A ń retí àwọn ìbéèrè rẹ síwájú síi.