SiC Awo fun ICP Etching

Awọn ibeere Ẹya: Iṣapeye fun Awọn Ayika Plasma Ibeere

Lati pade awọn ibeere lile ti awọn agbegbe ICP etching, awo SiC gbọdọ ni awọn abuda pataki wọnyi:

● O tayọ Gbona Conductivity

SiC ni adaṣe igbona giga ti o ga pupọ, ti o ga ju ti awọn ohun elo ibile bii quartz tabi alumina. Eyi tumọ si pe o le ṣe deede ooru ti ipilẹṣẹ lakoko ilana etching kuro lati wafer, ni idilọwọ imunadoko igbona agbegbe.

anfani: Rii daju iwọn otutu aṣọ ile kọja dada wafer, ti o yọrisi ijinle etch dédé gíga ati iṣakoso iwọn to ṣe pataki (CD), ni ilọsiwaju ikore ni pataki ati idinku aloku wafer.

● Superior Plasma Shock Resistance

Ni agbegbe pilasima ti ICP etching, ohun elo naa yoo koju bombardment ion agbara-giga ati ipata kemikali ti awọn ipilẹṣẹ ọfẹ ti nṣiṣe lọwọ. SiC ni resistance pilasima ti o dara julọ, pataki ni fluorine- tabi chlorine ti o ni awọn gaasi etching.

anfani: Gidigidi fa igbesi aye iṣẹ ti olupese wafer pọ si, dinku igbohunsafẹfẹ rirọpo ati akoko idinku, nitorinaa idinku awọn idiyele iṣẹ ati ilọsiwaju iṣamulo ohun elo. Ni akoko kanna, awọn ohun elo iduroṣinṣin tun dinku eewu ti ibajẹ patiku.

● Isokan otutu ti o tayọ

Ni idapọ pẹlu iṣiṣẹ igbona giga giga ati alasọdipúpọ kekere ti imugboroosi igbona, awọn gbigbe SiC ni anfani lati ṣetọju iṣọkan iwọn otutu ti o dara julọ kọja gbogbo dada wafer. Eyi ṣe pataki fun etching kongẹ, pataki fun awọn ohun elo ifura gẹgẹbi GaN.

anfani: Rii daju etching deede fun ẹrọ kọọkan, gbe awọn iyatọ iṣẹ ṣiṣe ẹrọ silẹ, ati pese didara to gaju ati igbẹkẹle fun awọn ọja LED rẹ.

Awọn ẹya iṣẹ ṣiṣe wọnyi jẹ pataki fun iyọrisi atunwi ati etching kongẹ ni iṣelọpọ wafer LED.

Kini idi ti Yan Semixlab: Awọn Solusan Ti Aṣepe. Didara ti o gbẹkẹle

Yiyan Semixlab tumọ si pe o yan iṣẹ ṣiṣe, igbẹkẹle ati awọn iṣẹ adani:

1. Orisirisi awọn pato wa, ati awọn iṣẹ adani ti pese:

A mọ daradara pe oriṣiriṣi awọn ohun elo etching ICP ati awọn ilana ni awọn ibeere alailẹgbẹ fun iwọn gbigbe wafer, ipo iho, ati ọna didi. Semixlab n pese ọpọlọpọ awọn pato boṣewa ti awọn gbigbe SiC wafer lati pade awọn iwulo ọja akọkọ.

Ni pataki julọ, a pese awọn iṣẹ isọdi alamọdaju. Boya o nilo awọn iwọn pataki, awọn aṣa igbekalẹ eka, tabi iṣapeye fun awọn ilana kan pato, ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa le ṣiṣẹ ni pẹkipẹki pẹlu rẹ lati pese awọn solusan ti a ṣe. Eyi tumọ si pe o le gba ti ngbe ti o baamu awọn ohun elo ati ilana rẹ ni pipe, ti o pọ si ṣiṣe iṣelọpọ ati ikore.

2. Didara Idurosinsin & Ifijiṣẹ iyara

Eto iṣakoso didara lile wa ṣe idaniloju aitasera kọja awọn ipele, lakoko ti iṣelọpọ wa ti o munadoko ati eekaderi ṣe iṣeduro awọn akoko idari iyara, ṣe iranlọwọ fun ọ lati pade awọn iṣeto iṣelọpọ to muna.

Gbekele Semixlab – Alabaṣepọ Ohun elo SiC rẹ ni Etching Plasma To ti ni ilọsiwaju

Pẹlu awọn ọdun ti iriri ti n ṣiṣẹ ile-iṣẹ ti a bo semikondokito, Semixlab daapọ imọ-jinlẹ ohun elo ti o jinlẹ, sisẹ-ti-aworan, ati iṣẹ idojukọ alabara lati fi awọn paati ti o mu iduroṣinṣin ilana jẹ ati didara ọja.

Ohun elo: Imọ-ẹrọ fun ICP Etching ni Ile-iṣẹ LED

Ninu ilana iṣelọpọ LED to ti ni ilọsiwaju, ICP (Plasma Isopọpọ Inductively) etching jẹ igbesẹ to ṣe pataki fun iyọrisi micro-pattering deede lori awọn wafers semikondokito. Awọn iṣẹ awo SiC ti Semixlab bi agbẹru wafer ti o ni igbẹkẹle gaan tabi dimu lakoko ilana etching ICP. Awọn ohun-ini ohun elo ti o lagbara ni idaniloju iduroṣinṣin ilana paapaa labẹ awọn ipo pilasima ti o ga julọ, ti o jẹ ki o jẹ ẹya pataki fun ikore giga, awọn laini iṣelọpọ LED isokan.