Kosemi Graphite Felt

Semixlab Rigid Graphite Felt (RGF) jẹ imọ-ẹrọ bi idabobo iwọn otutu to ṣe pataki ati paati iṣakoso igbona fun idagbasoke Ti ara Vapor Transport (PVT) ti awọn kirisita ẹyọkan SiC. Ti a ṣe apẹrẹ fun lilo ni iran-tẹle 4H- ati 6H-SiC iṣelọpọ wafer, rilara lile yii daapọ iwa ina gbigbona-kekere, iduroṣinṣin igbekalẹ giga, ati mimọ kemikali iyasọtọ, ti o jẹ ki o jẹ ohun elo okuta igun ni awọn ileru SiC sublimation giga. Ohun elo rẹ ṣe idaniloju iṣakoso kongẹ ti awọn gradients igbona, awọn ipo idagbasoke iduroṣinṣin, ati imudara didara gara kọja awọn akoko iṣelọpọ igba pipẹ.

Ninu ilana SiC PVT, mimu iduro deede ati aaye igbona aṣọ jẹ pataki julọ si iyọrisi awọn kirisita ẹyọkan ti ko ni abawọn. Felt Graphite Rigid n ṣiṣẹ bi idabobo ileru akọkọ, ti o yika agbeka sublimation ati awọn ẹya aaye igbona. Iwa elegbona kekere rẹ dinku pipadanu ooru ti aifẹ, mimu mimu iwọn otutu ibi-afẹde laarin orisun SiC ati irugbin gara. Nipa ṣiṣakoso radial ati awọn profaili iwọn otutu axial, RGF dinku didasilẹ ti awọn dislocations ọkọ ofurufu basal, awọn abawọn akopọ, ati awọn micropipes, ni ipa taara si iduroṣinṣin igbekalẹ ati iṣẹ itanna ti awọn iyọrisi SiC ti abajade.

Ni ikọja awọn agbara idabobo igbona rẹ, ọna lile ti graphite ti Semixlab n pese iduroṣinṣin ẹrọ ni awọn agbegbe iwọn otutu giga ju 2000°C lọ. Ko dabi awọn irọra ti o rọ tabi rirọ, RGF ṣe itọju apẹrẹ rẹ labẹ gigun kẹkẹ gigun gigun gigun, idilọwọ iṣubu tabi abuku ti o le da aaye igbona ru tabi ba ileru jẹ igbesi aye. Inertness kemikali rẹ ṣe idaniloju itusilẹ patikulu kekere ati yago fun idoti ti boule SiC, eyiti o ṣe pataki fun iṣelọpọ awọn sobusitireti giga-resistivity fun ẹrọ itanna agbara ati awọn ohun elo ẹrọ bandgap jakejado.

Ti a ṣelọpọ nipa lilo erogba ayaworan mimọ-giga ati awọn imuposi densification ilọsiwaju, Semixlab Graphite Rigid Felt ṣe afihan iwuwo aṣọ, iduroṣinṣin iwọn to dara julọ, ati agbara igba pipẹ. Ijọpọ rẹ ti iṣẹ igbona ati rigidity ẹrọ jẹ ki awọn ile-iṣẹ semikondokito lati ṣaṣeyọri awọn oṣuwọn idagbasoke deede, awọn profaili iwọn otutu ti o tun ṣe, ati idinku akoko idinku ninu awọn eto PVT. Nipa jijẹ ṣiṣe ṣiṣe igbona ileru, RGF tun ṣe alabapin si awọn ifowopamọ agbara lakoko imudara isokan wafer ati ikore.

Semixlab's Rigid Graphite Felt nfunni ni iṣẹ ṣiṣe, mimọ, ati iduroṣinṣin igbekalẹ ti o nilo lati ṣe atilẹyin idagbasoke SiC ẹyọkan ti o ni agbara giga, n pese awọn aṣelọpọ pẹlu ojutu ohun elo ti o lagbara fun iṣelọpọ wafer iran ti nbọ, igbesi aye ileru gigun, ati iṣakoso igbona giga ni awọn agbegbe iwọn otutu to gaju.