EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
CVD SiC Idojukọ Oruka
Iwọn Idojukọ Semixlab CVD SiC jẹ paati ilana pilasima ti a ṣe ni pipe ti a ṣe apẹrẹ lati mu ihuwasi wafer-eti pọ si ni etch semikondokito ilọsiwaju ati awọn agbegbe ifisilẹ. Ti a ṣelọpọ lati inu ohun alumọni ohun alumọni CVD mimọ-giga, iwọn naa n pese resistance to dayato si, iduroṣinṣin igbona ti o dara julọ, ati microstructure aṣọ ile giga kan. Awọn anfani ohun elo wọnyi jẹ ki dida apofẹlẹfẹlẹ deede, isokan sisanra ti ilọsiwaju, ati aabo eti igbẹkẹle lakoko awọn iṣẹ pilasima agbara giga. A n reti siwaju si ibeere rẹ.
Apejuwe
Laarin iṣelọpọ semikondokito ti o da lori pilasima ti ilọsiwaju, Semixlab CVD SiC Focus Oruka ṣe ipa to ṣe pataki ni imuduro agbegbe ilana ati aridaju iṣẹ ipele wafer deede. oruka idojukọ kii ṣe ohun elo ti o jẹ lasan ṣugbọn paati imọ-ẹrọ ti nṣiṣe lọwọ ti o ṣe apẹrẹ ihuwasi pilasima taara ni aala wafer. Nipa ilana ti o yika sobusitireti, oruka idojukọ n ṣatunṣe pinpin aaye ina mọnamọna agbegbe ati ṣe akoso iṣelọpọ ti apofẹlẹfẹlẹ pilasima nitosi eti wafer. Iṣatunṣe iṣakoso yii dinku awọn iyapa ilana ti o ni ibatan eti-gẹgẹbi lori-etch, ipalọlọ profaili, ati ifisilẹ aṣọ-eyiti o waye ni igbagbogbo lati iyatọ adayeba ti iwuwo pilasima ati awọn itọpa ion nitosi awọn aala ṣiṣi.
Iwọn idojukọ naa tun ṣe bi idena aabo pataki. Ni awọn agbegbe pilasima ti o ni agbara giga, awọn egbegbe ti o han ni ifaragba si idoti patiku, iboju iparada, ati ogbara ẹrọ. Iwọn Idojukọ Semixlab CVD SiC ṣe ihamọ awọn ẹya ifaseyin si awọn agbegbe ilana ti o yẹ, aabo fun agbegbe wafer lakoko idilọwọ awọn ibaraenisepo kemikali ti aifẹ laarin pilasima ati ohun elo iyẹwu naa. Eyi ṣe alabapin si ilọsiwaju iṣẹ imukuro eti ati idinku iwọnwọn ni abawọn, mejeeji ti o ṣe pataki fun iṣelọpọ ẹrọ ikore giga.
Bakanna pataki ni ipa oruka ni mimu iduroṣinṣin iyẹwu lori iṣẹ irinṣẹ ti o gbooro sii. Laisi oruka idojukọ ti a ṣe atunṣe daradara, awọn odi iyẹwu ati awọn paati elekitiroti elekitiroti ni iriri yiya isare, ti ipilẹṣẹ awọn patikulu ati ṣafihan fiseete ilana. Iwọn Semixlab n gba ati duro awọn ipo pilasima lile, ṣiṣe ni imunadoko bi wiwo irubọ ti iṣakoso. Jiometirika ti imọ-ẹrọ rẹ ati ohun elo CVD SiC mimọ-giga ṣe idaniloju itusilẹ pilasima deede, ihuwasi igbesi aye asọtẹlẹ, ati iduroṣinṣin onisẹpo ti o ga julọ kọja igbona ti atunwi ati awọn iyipo pilasima.
Nipa iṣakojọpọ awọn iṣẹ wọnyi sinu paati pipe-giga kan ṣoṣo, Semixlab CVD SiC Focus Oruka n jẹ ki awọn fabs ṣaṣeyọri iṣakoso ilana ti o muna, imudara isokan wafer, ati atunṣe igba pipẹ ti o ga julọ. Eyi jẹ ki oruka idojukọ jẹ ipin ipilẹ ti etch pilasima igbalode ati awọn iru ẹrọ ifisilẹ kuku ju apakan agbeegbe ti o rọrun, titọ taara pẹlu awọn pataki jakejado ile-iṣẹ ti imudara ikore, iduroṣinṣin ọpa, ati iṣẹ ohun elo alagbero.
Gẹgẹbi olupilẹṣẹ CVD SiC Focus Oruka ati olupese ni Ilu China, a ti pinnu lati pese ile-iṣẹ etching semikondokito pẹlu ijumọsọrọ imọ-ẹrọ ilọsiwaju ati awọn iṣẹ ọja ti adani, pẹlu atilẹyin okeerẹ lẹhin-tita. Semixlab fi tọkàntọkàn nireti lati di alabaṣepọ igba pipẹ rẹ ni Ilu China.
wa Services
Ile itaja Ọja Semixlab
