0200-36682 Liner Quartz Lower Gas Dist

AMAT 0200-36682 Liner Quartz Lower Gas Dist jẹ́ ẹ̀rọ quartz liner tí a ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀ dáadáa tí a ṣe fún àwọn ètò ìpamọ́ semiconductor Applied Materials (AMAT). Apá yìí sábà máa ń ní í ṣe pẹ̀lú agbègbè ìpínkiri gaasi ìsàlẹ̀ láàárín àwọn yàrá ìpamọ́ tí a mú dara sí plasma, pàápàá jùlọ nínú àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ PECVD àti dielectric thin-film.

A ṣe é láti inú quartz tí a fi sínú ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ gíga, ìlẹ̀kùn náà ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ohun èlò pàtàkì tí a lè lò ní yàrá tí ó ń ṣètìlẹ́yìn fún ìdúróṣinṣin plasma, ìṣọ̀kan ìṣàn gaasi, ìṣàkóso ìbàjẹ́, àti àtúnṣe ilana ní àwọn àyíká iṣẹ́ semiconductor tó ti ní ìlọsíwájú.

Ní Semixlab, a ń pèsè àwọn ohun èlò ìdábòbò semiconductor tó ga jùlọ àti àwọn ohun èlò ìlò yàrá tó bá àwọn ìlànà tó pọndandan mu ti àwọn ohun èlò ṣíṣe wafer, àwọn ohun èlò àtúnṣe ẹ̀rọ, àti àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ ilana semiconductor kárí ayé.

Alaye Ipilẹ Ọja

A sábà máa ń fi AMAT 0200-36682 sí inú àkójọ ìpínkiri gaasi ìsàlẹ̀ ti àwọn yàrá ìpamọ́ níbi tí a gbọ́dọ̀ ṣàkóso àwọn gaasi ilana, ìṣiṣẹ́ plasma, àti ìdúróṣinṣin ooru dáadáa.

Nítorí pé àwọn èròjà quartz ń ṣiṣẹ́ taara nínú àwọn àyíká plasma líle, a pín wọn sí àwọn ẹ̀yà ilana tí ó ní iye gíga tí ó nílò àyẹ̀wò àti ìyípadà ìgbàkúgbà.

Awọn Iṣẹ́ Pàtàkì Nínú Àwọn Ìlànà Ohun Èlò Semiconductor

1. Ìdúróṣinṣin Ààlà Plasma

Ọ̀kan lára ​​àwọn ipa pàtàkì jùlọ ti ààlà AMAT 0200-36682 ni láti ṣe ìrànlọ́wọ́ láti ṣàlàyé àti láti mú kí ààlà plasma tí ó wà nínú yàrá ìfipamọ́ náà dúró ṣinṣin.

Nínú àwọn ètò PECVD àti CVD, ìhùwàsí plasma ní ipa tààrà lórí:

● Irẹpọ sisanra fiimu naa

● Ìbáramu oṣuwọn ifisilẹ

● Iṣakoso profaili eti

● Iṣẹ́ ìṣẹ̀dá Wafer

● Iduroṣinṣin iwọn pataki

Aṣọ ìfọ́wọ́sí quartz ń ran lọ́wọ́ láti máa ṣe àkóso àyíká plasma nípa fífúnni ní ààlà dielectric tó dúró ṣinṣin ní àyíká agbègbè ìpínkiri gáàsì ìsàlẹ̀.

2. Ṣíṣe Àtúnṣe Pínpín Gáàsì Sísan

Aṣọ ìbòrí náà tún ń ṣe àfikún sí ìṣàkóso ìṣàn gaasi tó dára jùlọ nínú yàrá náà.

Pínpín gaasi kan ṣoṣo ṣe pàtàkì fún:

● Àkójọ fíìmù pàápàá

● Ìyàtọ̀ ìlànà tí ó dínkù

● Àtúnṣe wafer-sí-wafer tó dúró ṣinṣin

● Iduroṣinṣin ilana ti o dara si jakejado awọn ipele iṣelọpọ

Nípa ṣíṣe àtìlẹ́yìn fún ètò ìtànkálẹ̀ gaasi ti yàrá náà, ìdènà ìpínkiri gaasi ìsàlẹ̀ ń ran lọ́wọ́ láti rí i dájú pé ìfijiṣẹ́ ṣáájú déédé lórí ojú wafer náà.

3. Ìṣàkóso Àwọn Pátákó àti Ẹ̀gbin

Ìbàjẹ́ patiku jẹ́ ọ̀kan lára ​​àwọn àníyàn pàtàkì jùlọ nínú iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor.

Gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìyẹ̀wù tí ó dojú kọ plasma, ìdènà quartz ń dínkù:

● Ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò ìyẹ̀fun

● Àwọn ewu ìbàjẹ́ irin

● Ìfọ́ ì ...

● Ìṣẹ̀dá àwọn ìdọ̀tí tí a fa nínú ẹ̀jẹ̀

Àwọn ohun èlò quartz tó mọ́ tónítóní ni a ń lò ní gbogbogbòò nítorí wọ́n dín ìyípadà ìbàjẹ́ kù sí wafer nígbà tí a bá ń lo àwọn ìlànà ìfipamọ́ tó ti wà ní ìpele gíga.

4. RF àti Ìyàsọ́tọ̀ Mọ̀nàmọ́ná

Àwọn ìlẹ̀kùn quartz tún ń kó ipa pàtàkì nínú ìṣàkóso pápá RF.

Nítorí pé quartz tí a fi sí ara rẹ̀ ń dènà iná mànàmáná nígbà tí ó sì jẹ́ pé ó jẹ́ àṣírí RF, ó ń mú kí:

● Ìsopọ̀ RF tó dúró ṣinṣin

● Ìwà àpò ìbòrí plasma tí a ṣàkóso

● Àìṣeéṣe ìfàgùn tí ó dínkù

● Iduroṣinṣin resistance yara ti o dara si

Èyí ń ṣe àfikún sí ìbáramu yàrá tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé àti àtúnṣe ilana tí ó dára síi nígbà tí a bá ń ṣe iṣẹ́ ọnà gígùn.

5. Atilẹyin fun Iṣelọpọ Semiconductor To ti ni ilọsiwaju

Àwọn èròjà bíi AMAT 0200-36682 ṣe pàtàkì fún mímú ìdúróṣinṣin ilana gíga ní àwọn àyíká ìṣe semiconductor tó ti ní ìlọsíwájú, pẹ̀lú:

● Ṣíṣe ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ ẹ̀rọ onímọ̀-ẹ̀rọ

● Ṣíṣe ìrántí

● Ifisilẹ dielectric ti ilọsiwaju

● Ṣíṣe iṣẹ́ fíìmù tinrin

● Iṣẹ́jade wafer oníwọ̀n gíga

Bí àwọn ihò iṣẹ́ ṣe ń dínkù, àwọn ohun èlò yàrá bíi quartz liners ń di ohun pàtàkì síi fún mímú kí iṣẹ́ náà péye síi àti bí a ṣe ń ṣe é.

Kí nìdí tí o fi yan Semixlab?

Semixlab fojusi lori ipese awọn ẹya ara ẹrọ semiconductor ti o gbẹkẹle ati awọn ohun elo iyẹwu fun awọn iṣẹ iṣelọpọ semiconductor agbaye.

Awọn anfani wa pẹlu:

● Isopo awọn ohun elo semikondokito ọjọgbọn

● Awọn ilana ayẹwo didara to muna

● Atilẹyin fun awọn ẹya ti a tunṣe ati rirọpo

● Awọn agbara ipese agbaye yarayara

● Oye imọ-ẹrọ ti ohun elo ilana semikondokito

● Ìrírí láti ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ẹ̀yà ìpìlẹ̀ AMAT

A lóye àwọn ohun tí àwọn ilé iṣẹ́ semiconductor fab, àwọn olùpèsè iṣẹ́ OEM, àti àwọn ilé iṣẹ́ àtúnṣe ẹ̀rọ nílò, a sì ti pinnu láti pèsè àwọn ohun èlò iṣẹ́ tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé tí ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún iṣẹ́ ìṣẹ̀dá tí ó dúró ṣinṣin.