Òrùka Òkè Quartz

Òrùka Quartz Top Ring 0200-02626 jẹ́ ẹ̀rọ quartz tó péye gan-an tí a ń lò nínú àwọn ohun èlò ìṣelọ́pọ́ semiconductor. A ṣe é láti ṣiṣẹ́ ní àwọn àyíká tí ó le koko bíi ìfọ́ àti yàrá ìdènà afẹ́fẹ́ (PVD), òrùka quartz yìí sì ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ohun tó ṣe pàtàkì láti dáàbò bo àti tó ń mú kí iṣẹ́ dúró ṣinṣin nínú yàrá náà.

Ní Semixlab, a ń pèsè àwọn ohun èlò ìdábòbò semiconductor tó ga jùlọ àti àwọn ohun èlò quartz tó péye tí a ṣe láti bá àwọn ohun èlò ìṣẹ̀dá wafer òde òní mu. A ń lo quartz tó ní ìmọ́tótó gíga láti ṣe 0200-02626 Quartz Top Ring láti rí i dájú pé ó dúró ṣinṣin dáadáa, ó ń dènà àrùn plasma, ó sì ń ṣàkóso ìbàjẹ́.

ọja Akopọ

A sábà máa ń fi Quartz Top Ring 0200-02626 sí agbègbè òkè yàrá ìṣiṣẹ́ semiconductor, tí ó yí i ká tàbí tí ó bá agbègbè ìṣiṣẹ́ wafer mu. A sábà máa ń lò ó gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ààbò àti ìdúróṣinṣin nínú àwọn ètò ìṣiṣẹ́ plasma.

Key ọja Alaye

A ṣelọpọ pẹlu awọn ifarada iwọn ti o muna ati mimọ ohun elo giga, Quartz Top Ring ṣe iranlọwọ lati ṣetọju awọn agbegbe ilana iduroṣinṣin ati iṣelọpọ wafer deede.

Àwọn Ẹ̀yà Ìṣètò Àṣà Àṣà

A ṣe Quartz Top Ring 0200-02626 pẹlu geometry ti a ṣe apẹrẹ fun isọpọ pẹlu awọn yara iṣiṣẹ semiconductor.

Awọn ẹya ara ẹrọ apẹrẹ deede pẹlu:

● Iwọn ila opin inu (ID) ti o peye ti o baamu pẹlu agbegbe sisẹ wafer

● Ìwọ̀n ìta (OD) tí a ṣe fún gbígbé àwọn ààbò tàbí àwọn ohun èlò ìpamọ́ yàrá dúró dáadáa

● Àwọn profaili tí a gbé sókè tàbí tí a fi gúnlẹ̀ fún ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ tí ó dára síi

● Àwọn ihò tàbí ihò tí a lè yàn láti fi ran àwọn ènìyàn lọ́wọ́ láti pínpín plasma àti gaasi

● Àwọn ojú ilẹ̀ quartz dídán láti dín ìṣẹ̀dá pàǹtíkì kù

● Iṣiṣẹ ti o ga julọ fun fifi sori ẹrọ deede ati atunṣe

Àwọn ànímọ́ ìṣètò wọ̀nyí ń ran lọ́wọ́ láti rí i dájú pé iṣẹ́ wọn ṣeé gbẹ́kẹ̀lé ní àyíká onígbàfẹ́ gíga àti onígbàfẹ́ gíga.

Iṣẹ́ Inú Ohun Èlò Semiconductor

Nínú àwọn ètò ìṣiṣẹ́ semikondokito, Quartz Top Ring ń kó ipa pàtàkì púpọ̀ tí ó ní ipa taara lórí iṣẹ́ yàrá àti dídára wafer.

Idaabobo Plasma: Òrùka náà ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ààbò láàárín àyíká plasma àti àwọn ẹ̀yà pàtàkì yàrá, èyí tí ó ń dènà ìfarahàn plasma tààrà sí àwọn ohun èlò irin.

Ààbò Yàrá: Àwọn òrùka orí Quartz ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun èlò ìrúbọ, wọ́n ń gba àwọn ohun èlò ìtọ́jú bí àwọn ohun tí a fi pamọ́ tàbí àwọn ìhùwàsí etch. Èyí ń ran lọ́wọ́ láti dáàbò bo àwọn ohun èlò yàrá tí ó gbowólórí lọ́wọ́ ìbàjẹ́.

Iduroṣinṣin ilana: Nípa ṣíṣe àgbékalẹ̀ agbègbè plasma àti mímú kí àlàfo tó wà ní àyíká etí wafer náà dúró déédéé, òrùka quartz ń ṣe àfikún sí ìwà plasma tó dúró ṣinṣin àti àwọn ipò ìṣiṣẹ́ tó ṣeé tún ṣe.

Iṣakoso Iṣọkan Eti: Àwọn òrùka quartz tí a ṣe ní ọ̀nà tó tọ́ ń ran lọ́wọ́ láti ṣàkóso ìṣàn gaasi àti pínpín plasma, èyí tí ó ń mú kí ìṣọ̀kan etí wafer àti iṣẹ́ gbogbogbòò pọ̀ sí i.

Àwọn Ohun Èlò àti Àwọn Àǹfààní

A ṣe Quartz Top Ring 0200-02626 láti inú quartz fused cleanliness (SiO₂), ohun èlò kan tí a ń lò fún àwọn ẹ̀rọ semiconductor nítorí iṣẹ́ rẹ̀ tó tayọ lábẹ́ plasma àti àwọn ipò iwọ̀n otútù gíga.

Awọn anfani Ohun elo pataki:

1. Idaabobo Plasma to dara julọ

Quartz ti a fi sinu ara ṣe afihan resistance to lagbara si bombardment ion ati ipata plasma, eyi ti o jẹ ki o dara julọ fun awọn agbegbe iṣiṣẹ semiconductor lile.

2. Ìbàjẹ́ Irin Tó Kéré Jùlọ

Quartz ti o ni mimọ giga ni awọn ipele ti o kere pupọ ti awọn idoti irin, eyiti o ṣe iranlọwọ lati dena iran patiku ati idoti lakoko ṣiṣe wafer.

3. Superior Gbona iduroṣinṣin

Quartz n ṣetọju iduroṣinṣin eto ni awọn iwọn otutu ti o ga julọ ti a maa n ri ninu awọn yara plasma.

4. Itanna Idabobo

Gẹ́gẹ́ bí ohun èlò tí kì í ṣe ohun èlò ìdarí, quartz ń ran lọ́wọ́ láti dúró ní ipò iná mànàmáná láàárín àwọn yàrá plasma, èyí tí ó ń ṣe àfikún sí àwọn ipò ìṣiṣẹ́ kan náà.

5. Kemikali Inertness

Quartz fi agbara mu lati koju awon gaasi ilana ti a nlo ninu isejade semikondokito.

Àwọn ànímọ́ wọ̀nyí mú kí quartz tí a yọ́ mọ́ jẹ́ ohun èlò tí a fẹ́ràn jùlọ fún àwọn ẹ̀yà ààbò yàrá àti àwọn ẹ̀yà tí a fi plasma hàn.