Fèrèsé Ohun Èlò Ìgbóná Kúátísì 0200-09074

1. Akopọ Ọja

Window AMAT 0200-09074 Quartz Heater Window jẹ́ ẹ̀rọ quartz tí a fi ìwẹ̀nùmọ́ ṣe tí a ṣe fún àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ semiconductor, tí a sábà máa ń lò nínú CVD (Chemical Vapor Deposition) àti àwọn ẹ̀rọ etch tí ó nílò ìṣàkóso ooru tí ó péye.

Gẹ́gẹ́ bí ìsopọ̀ pàtàkì láàárín ètò ìgbóná àti yàrá ìṣiṣẹ́, fèrèsé ìgbóná yìí ń jẹ́ kí agbára ìgbóná gbéṣẹ́ dáadáa nígbàtí ó ń ṣe àkóso ìyàsọ́tọ̀ láàrín àwọn gáàsì ìṣiṣẹ́ àti àwọn èròjà ìgbóná òde.

Ní Semixlab Technology, a ń lo àwọn ohun èlò quartz tó ní ìmọ́tótó tó ga jùlọ láti ṣe àwọn fèrèsé ìgbóná quartz wa, pẹ̀lú ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ tó péye àti ìparí ojú ilẹ̀ tó ń ṣàkóso láti rí i dájú pé kò ní ìbàjẹ́, ìdúróṣinṣin ooru tó ga, àti ìgbà pípẹ́ tí a ń ṣiṣẹ́ ní àyíká semiconductor tó ń béèrè fún iṣẹ́.

2. Ipò nínú Ẹ̀rọ

A sábà máa ń fi fèrèsé ìgbóná Quartz sí àárín orísun ìgbóná òde (bíi àwọn fìtílà IR tàbí àwọn ohun èlò ìgbóná resistive) àti yàrá ìṣiṣẹ́ inú.

Iṣeto ni deede:

● Ti o wa loke tabi ni isalẹ agbegbe sisẹ wafer

● A gbé e sí ojú ọ̀nà ìtànṣán ooru tààrà

● Ó ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ìdènà tí a fi ìdí múlẹ̀ láàárín:

Módù ìgbóná (níta)

Yàrá ìtọ́jú (nínú)

Ipa eto:

● Ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ìsopọ̀ ìgbóná tí ó hàn gbangba

● Ṣe ìtọ́jú ìdúróṣinṣin yàrá lábẹ́ afẹ́fẹ́ tàbí àyíká afẹ́fẹ́ tí a ṣàkóso

Ipo yii jẹ ki o jẹ apakan pataki ti o ni ipa lori ifijiṣẹ ooru ati iṣakoso idoti.

3. Awọn Iṣẹ́ Àkọ́kọ́ & Ipa Ìlànà

Fèrèsé AMAT 0200-09074 Quartz Heater Window ń ṣe ọ̀pọ̀lọpọ̀ ipa pàtàkì tí ó ní ipa taara lórí ìdúróṣinṣin ilana, dídára fíìmù, àti iṣẹ́ àṣeyọrí.

✔ Gbigbe Agbara Ooru

● Ó ń mú kí ìtànṣán infrared (IR) láti inú ẹ̀rọ ìgbóná sí wafer ṣiṣẹ́ dáadáa

● Ṣe atilẹyin fun iṣakoso iwọn otutu wafer deede lakoko gbigbe tabi fifi nkan sita

✔ Gbigbe giga IR ti kuotisi ṣe idaniloju pipadanu agbara ti o kere ju ati iṣẹ alapapo iduroṣinṣin

✔ Iṣakoso Iṣọkan Ooru

Ó ń ṣe alabapin sí pípín ooru kan náà káàkiri ojú wafer náà

O dinku awọn iyipada iwọn otutu ti o le ja si:

● Ìyàtọ̀ sí fífẹ́ fíìmù

● Ìlànà àìbáramu

✔ Ìyàsọ́tọ̀ fún Ìlànà Ìlànà

Ní ti ara, ó ya ètò ìgbóná kúrò nínú àwọn gáàsì ìṣiṣẹ́ tí ń ṣiṣẹ́

Idilọwọ:

● Ìṣàn gáàsì oníbàjẹ́ padà

● Àìmọ́tótó àwọn èròjà ìgbóná

✔ Ìdínkù Ẹ̀gbin

● Quartz tó mọ́ tónítóní máa ń dín ìtújáde àìmọ́ kù ní ìwọ̀n otútù gíga

● Ilẹ̀ dídán máa ń dín ìdìpọ̀ àti ìkójọpọ̀ àwọn pàǹtíkù kù

✔ Imudarasi Iduroṣinṣin Ilana

● Ṣetọju awọn ipo ooru ti o wa ni ibamu jakejado awọn iyipo ilana pupọ

● Ṣe atilẹyin fun awọn oṣuwọn ifisilẹ ti a le tun ṣe ati awọn ohun-ini fiimu

4. Àwọn Ọ̀nà Ìkùnà Àṣà àti Ìtọ́jú Tó Wà Púpọ̀

Nítorí ìfarahàn sí iwọ̀n otútù gíga, àwọn gáàsì tí ń ṣiṣẹ́ dáadáa, àti ìyípo ooru, àwọn fèrèsé ìgbóná quartz lè bàjẹ́ díẹ̀díẹ̀. Lílóye àwọn ọ̀nà ìkùnà ṣe pàtàkì fún ṣíṣe àtúnṣe àwọn ọgbọ́n ìtọ́jú àti dín àdánù èso kù.

① Ìkọlù Ìgbóná

Ti o fa nipasẹ awọn iyipada iwọn otutu iyara lakoko gigun kẹkẹ ilana

Ó ń yọrí sí:

● Àwọn ìfọ́ kékeré

● Rírẹ̀ tàbí ìfọ́ tí ó lè bàjẹ́ nínú ilé

② Ìyàsọ́tọ̀ (Ìyàsọ́tọ̀ Kuotisi)

Ifihan si awọn iwọn otutu giga fun igba pipẹ fa ki quartz padanu eto amorphous rẹ

Awọn abajade ninu:

● Ìmọ́lẹ̀ ojú tí ó dínkù

● Lilo gbigbe IR ti o dinku

③ Ìkópa Ifipamọ́

Ìkójọ àwọn ọjà tí a fi ń ṣe iṣẹ́ (fún àpẹẹrẹ, àwọn fíìmù, àwọn pólímà) lórí ojú ilẹ̀

Àwọn àtúnṣe:

● Àwọn ohun ìní ojú

● Lilo gbigbe ooru daradara

④ Ìbàjẹ́ Kẹ́míkà àti Plasma

Ìfarahàn sí àwọn gáàsì tí ń ṣe àtúnṣe (fún àpẹẹrẹ, àwọn kẹ́míkà tí ó dá lórí fluorine, NH₃)

Ó máa ń fa ìfọ́ ojú ilẹ̀ àti ìbàjẹ́ ohun èlò

⑤ Ìran patiku

Àbájáde láti inú:

●Ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀

● Ìfọ́ kékeré

● Fíìmù fífọ́

Ipa Ikuna

● Àìbáramu iwọn otutu

● Ìyàtọ̀ sí fífẹ́ fíìmù

● Àbùkù àwọn pàǹtítí tó pọ̀ sí i

● Dínkù sí àtúnṣe iṣẹ́

● Igbagbogbo itọju ati akoko isinmi ti o ga julọ

Semixlab Technology n pese awọn solusan window itutu quartz ti o dara julọ pẹlu:

● Àwọn ohun èlò quartz tó ní ìwẹ̀nùmọ́ tó ga jùlọ fún ìbàjẹ́ tó kéré

● Iṣiṣẹ deede ati awọn ifarada ti o muna fun ibamu eto pipe

● Dídára ojú ilẹ̀ tí a mú sunwọ̀n síi láti dín ìdìbò àti ìsopọ̀ pàtákì kù

● Awọn solusan iṣapeye igbesi aye aṣayan ti o da lori awọn ipo ilana

Semixlab Technology n pese awọn ojutu ferese itutu kuotisi ti o gbẹkẹle, ti o ni iṣẹ giga ti a ṣe deede si awọn aini ohun elo rẹ pato. Kan si wa loni lati mu iṣẹ ṣiṣe ilana rẹ dara si.