Ohun elo Pupọ CVD SiC ti o ga julọ

Ohun èlò ìpapọ̀ gíga CVD Solid SiC Bulk jẹ́ ohun èlò ìpapọ̀ gíga gíga, polycrystalline silicon carbide tí a ṣe nípasẹ̀ ìlànà Chemical Vapor Deposition (CVD). A ṣe é ní pàtó fún ìdàgbàsókè àwọn kirisita silicon carbide kan nípa lílo ọ̀nà Physical Vapor Transport (PVT) ó sì ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ohun èlò orísun ìran tí ń bọ̀ láti rọ́pò lulú SiC ìbílẹ̀.

A ṣe ọjà yìí nípa ṣíṣe àtúnlo àti lílo àwọn èròjà semiconductor CVD-SiC tí a ti sọ nù tí ó ní ìwẹ̀nùmọ́ gíga. Nípasẹ̀ àwọn ìlànà bíi fífọ́, yíyàsọ́tọ̀, àti ìwẹ̀nùmọ́, a yípadà sí ohun èlò aise tí ó ní ìrísí búlúù pẹ̀lú àwọn ìwọ̀n tí a ṣàkóso. Ó ní àwọn àǹfààní pàtàkì pẹ̀lú ìwẹ̀nùmọ́ gíga, àìsí ìbàjẹ́ eruku erogba, àti ìwọ̀n ìdàgbàsókè kíákíá.

Kí ló dé tí o fi yan Ohun èlò CVD-SiC gẹ́gẹ́ bí Ohun èlò orísun PVT?

1. Ìṣẹ̀lẹ̀ Ìmọ̀-ẹ̀rọ

Àwọn ìwádìí tuntun ti fihàn pé lílo ohun èlò CVD-SiC tí a fọ́ gẹ́gẹ́ bí ohun èlò orísun PVT mú kí àwọn kirisita SiC kan ṣoṣo dàgbàsókè kíákíá lábẹ́ àwọn ìpele ìgbóná gíga (~3.8 °C/mm), ní ṣíṣe àṣeyọrí ìwọ̀n ìdàgbàsókè ti 1.46 mm/h nígbàtí ó ń pa dídára kirisita tó dára mọ́——pẹ̀lú ìbú pípé ní ìdajì gíga (FWHM) ti òkè (0004) nínú àpẹẹrẹ ìyípadà X-ray ti 18.9 arcsec nìkan.

2. Ṣíṣe àtúnṣe sí àwọn ìṣòro àdánidá pẹ̀lú àwọn orísun lulú ìbílẹ̀

Lulú SiC ìbílẹ̀ ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn pàtákì kéékèèké tí ó máa ń yọ ní ojú ọjọ́ tí ó ga, tí ó máa ń tú àwọn èérí jáde tí ó sì máa ń mú “C-eruku” (àwọn pàtákì káàbọ̀n líle) jáde. Ní ìwọ̀n ìdàgbàsókè gíga, a lè gbé àwọn pàtákì wọ̀nyí lọ sí ojú ilẹ̀ kírísítàlì, èyí tí yóò fa àbùkù ìfàmọ́ra. Ohun èlò CVD-SiC Bulk Material kò ní àwọn pàtákì kéékèèké kéékèèké, èyí tí ó ń yanjú ìṣòro yìí ní pàtàkì.

3. Àtúnlo Àwọn Ohun Èlò

Ohun èlò CVD-SiC Bulk Material ni a rí láti inú àwọn èròjà CVD-SiC tó mọ́ tónítóní (bíi àwọn ọkọ̀ ojú omi graphite àti àwọn ohun èlò ìgbóná) tí a lò nínú àwọn iṣẹ́ semiconductor. Lẹ́yìn tí a bá ti rí wọn tí a sì fọ́ wọn, a tún lo àwọn ohun èlò wọ̀nyí, èyí tí ó ń jẹ́ kí wọ́n mọ́ tónítóní, tí ó sì ń jẹ́ kí wọ́n lè lo àwọn ohun èlò náà dáadáa.

Awọn iṣẹ ti a ṣe akanṣe

A le pese awọn iṣẹ wọnyi da lori awọn aini pato ti awọn ilana idagbasoke PVT ti awọn alabara wa:

imọ sile

Àkóónú Ẹ̀gbin Tó Wọ́pọ̀ (Àtúpalẹ̀ GDMS)

Awọn iwoye Ohun elo

Ohun elo Pataki: Ohun elo orisun fun awọn kirisita SiC ti a gbin nipasẹ PVT

A ṣe àgbékalẹ̀ ọjà yìí ní pàtó fún ọ̀nà ìrìnnà físíìmù (PVT) láti gbin àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ kirisita 4H-SiC àti 6H-SiC kan ṣoṣo, èyí tí ó ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìrọ́pò fún àwọn orísun silikoni àti erogba tí ó mọ́ tónítóní.

Ilana Ilana:

1. Ní igbóná gíga (2100–2500°C) àti ìfúnpá kékeré (~4 kPa), ohun èlò CVD-SiC máa ń yọ́ láti mú àwọn ẹ̀yà gaseous jáde bíi Si, SiC₂, àti Si₂C.

2. Nítorí ìyípadà ooru, àwọn irú gaseous wọ̀nyí ni a ń gbé lọ sí ojú ilẹ̀ crystal onírúgbìn.

3. Àtúntò lórí kírísítà irúgbìn náà ń ṣe àwọn kírísítà SiC kan ṣoṣo tó ga.