EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
La kọja seramiki Vacuum Chuck
Awọn alaye apejuwe:
1. Awọn orukọ miiran: Porous seramiki Vacuum Chuck, Porous SiC Chuck, la kọja chuck.
2. Ohun elo: Ẹrọ adsorption igbale ti o ga julọ ti a ṣe apẹrẹ fun adsorption ti o tọ ati imuduro ti awọn wafers ati awọn ingots, ti o dara fun iṣelọpọ semikondokito, gige wafer, machining pipe, epitaxy otutu giga, etching, ion implantation ati awọn oju iṣẹlẹ miiran.
3. Awọn paramita koko:
adijositabulu porosity (10-200μm).
Ultra-giga otutu (≤1600°C), o tayọ gbona mọnamọna resistance.
Igbale adsorption: boṣewa -90kPa (le ṣe adani si 100kPa).
Iwọn ife mimu: Atilẹyin 4/6/8/12 inch wafers, iwọn ingot le jẹ adani.
Apejuwe
Seramiki igbale Chuck jẹ ohun elo adsorption igbale ti o ga julọ ti a ṣe apẹrẹ fun ipolowo deede ati imuduro ti awọn wafers ati awọn ingots. O gba eto akojọpọ kan ti seramiki la kọja + irin, iwọn ita, ni idapo pẹlu apẹrẹ adani ti awọn ikanni afẹfẹ ati awọn pores lati ṣaṣeyọri pinpin ipa adsorption aṣọ ati iduroṣinṣin giga. Dara fun iṣelọpọ semikondokito, gige wafer, machining pipe ati awọn oju iṣẹlẹ miiran, atilẹyin iwọn otutu giga, agbegbe iṣipopada iyara giga, le pade awọn ibeere ibamu ti awọn titobi pupọ ti wafers / ingot.
Iṣẹ ti a ṣe akanṣe
Iwọn ati isọdi fifuye
Stomata ati iṣapeye ọna atẹgun
Pataki ayika aṣamubadọgba
Apẹrẹ apẹẹrẹ
ohun elo
Semikondokito iṣelọpọ
Idagba Epitaxial: Iduroṣinṣin adsorption ti awọn wafers SiC ni awọn iwọn otutu giga lati yago fun ijagun ati idoti.
Lithography ati etching: Ipo deede ni pẹpẹ gbigbe iyara giga (isare ≤10G) lati rii daju pe deede tito iwọn ayaworan.
Ingot processing
Gige ati lilọ: Adsorption ti ingot gara wuwo (gẹgẹbi oniyebiye, silikoni carbide ingot) lati dinku sisan eti ti o ṣẹlẹ nipasẹ gbigbọn.
Iwadi ijinle sayensi ati imọ-ẹrọ pataki
Annealing otutu ti o ga: awọn ago afamora ohun alumọni carbide la kọja ṣiṣẹ fun igba pipẹ ni 1600 ° C, laisi ibajẹ ati idoti eefin.
Ibora igbale: Apẹrẹ wiwọ afẹfẹ giga, ibaramu pẹlu agbegbe iho PVD/CVD.
ifigagbaga Anfani
Ilana mojuto ati awọn anfani ohun elo
1.Multiyer composite design
Layer dada: seramiki la kọja (aṣayan silikoni carbide tabi lẹẹdi la kọja), adijositabulu iho (10-200μm) lati rii daju gbigbe aṣọ ti agbara adsorption si dada wafer lati yago fun ifọkansi aapọn agbegbe.
Matrix: Firẹemu irin ti o ga julọ (irin alagbara tabi alloy aluminiomu) lati pese atilẹyin igbekalẹ ati wiwọ afẹfẹ.
Oju-ofurufu ati awọn pores: Nẹtiwọọki inu ti awọn ọna atẹgun ti o ni deede ati awọn micropores ti o pin kaakiri ṣe atilẹyin isediwon igbale iyara (agbara adsorption to -90kPa) ati itusilẹ lẹsẹkẹsẹ.
2. Ifiwera awọn ohun-ini ohun elo
| awọn ohun elo ti | Ohun alumọni carbide la kọja | Lẹẹdi onija |
| Iṣoro resistance | Ultra-giga otutu (≤1600°C), o tayọ gbona mọnamọna resistance | Iwọn otutu ti o ga julọ (≤800°C), iṣiṣẹ igbona to dara julọ |
| Kemikali agbara | Acid ati alkali resistance resistance, pilasima ipata resistance | Sooro si awọn gaasi ti kii ṣe oxidizing, idiyele kekere |
| Aye ti o wulo | Epitaxy otutu ti o ga, etching, ion gbin | Wafer gige, lilọ, apoti |
3. Iṣẹ bọtini ati awọn iṣiro imọ-ẹrọ
| Apejuwe | ifesi |
| Chuck iwọn | Atilẹyin 4/6/8/12 inch wafers, iwọn ingot le jẹ adani |
| Loading | Awo ti o pọju fifuye 50kg (giga ≤300mm) |
| ṣiṣẹ otutu | Ohun alumọni carbide la kọja: -50°C ~ 1600°C; Lẹẹdi onija: -50°C ~ 800°C |
| Adsorption igbale | Standard -90kPa (ṣe asefara si -100kPa) |
FAQ
Q: Bawo ni lati yan ohun alumọni carbide la kọja ati la kọja lẹẹdi Chuck? Kini awọn iyatọ akọkọ laarin ohun alumọni ohun alumọni la kọja ati pipọ lẹẹdi la kọja ni awọn ilana iwọn otutu giga? Bii o ṣe le yan ohun elo to tọ fun oju iṣẹlẹ ohun elo naa?
A: Silikoni carbide Chuck olofofo:
Idaabobo iwọn otutu: le ṣiṣẹ ni iduroṣinṣin ni awọn iwọn otutu giga giga ≤1600 ° C (gẹgẹbi SiC epitaxy, annealing otutu otutu), resistance mọnamọna gbona ti o dara julọ, o dara fun aaye ti awọn iwọn otutu to buruju.
Idaabobo ipata: koju acid to lagbara, alkali ati ogbara pilasima, o dara fun etching, gbin ion ati ilana gaasi ibajẹ miiran.
Chuck lẹẹdi onilọra:
Imudani ti o gbona: Imudaniloju igbona ti o ga julọ (200-400 W / m · K), o dara fun awọn oju iṣẹlẹ ti o nilo gbigbe gbigbe ooru ni kiakia (gẹgẹbi gige gige gbigbona).
Aje: Iye owo kekere, o dara fun ≤800°C agbegbe iwọn otutu alabọde (gẹgẹbi apoti, lilọ).
Awọn imọran yiyan:
Ti iwọn otutu ilana ba jẹ> 800 ° C tabi a nilo resistance ipata, ohun alumọni ohun alumọni ti o fẹẹrẹ fẹfẹ; Ti ilepa ti iye owo-doko ati iwọn otutu ilana kekere, le yan lẹẹdi la kọja.
