EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Giga-Mimọ SiC Wafer Boat
Gẹgẹbi olupilẹṣẹ Kannada ti o jẹ oludari ati olutaja ti SiC Wafer Boat giga-Purity, Semixlab's Silicon Carbide wafer ọkọ oju omi ti wa ni lilo pupọ ni awọn ọna asopọ ilana bọtini bii LPCVD, oxidation ati annealing nitori iduroṣinṣin igbona ti o dara julọ, ipata ipata ati agbara ẹrọ. Ti o ba n wa ọkọ oju omi SiC Wafer ti o le dinku idoti patiku, fa igbesi aye iṣẹ fa ati rii daju aabo wafer, ọja yii yoo jẹ yiyan pipe rẹ.
Apejuwe
Ni aaye iṣelọpọ semikondokito, awọn ilana iwọn otutu ti o ga julọ jẹ awọn italaya nla si awọn gbigbe wafer. Nigbati iwọn otutu ba kọja 1600 ℃, ti ngbe kuotisi ibile (wafer ti a lo kuotisi ọkọ oju omi) bẹrẹ lati rọ ati dibajẹ ati tu awọn idoti silẹ, ti o nfa oṣuwọn aloku wafer lati ga.
Ọkọ oju omi SiC Wafer ti o ga julọ, pẹlu awọn anfani ohun elo inherent ti ohun alumọni carbide (SiC), yanju aaye irora ile-iṣẹ yii patapata ati di ohun elo pataki fun iṣelọpọ semikondokito ilọsiwaju, pataki iṣelọpọ ẹrọ agbara SiC.
ni pato
Awọn ohun-ini ti ara pataki ati awọn aye imọ-ẹrọ ti ọja:
| Awọn itọkasi Iṣe | Giga-Mimọ SiC Wafer Boat | Ibile kuotisi ti ngbe | Awọn anfani ilọsiwaju |
| Iwọn iwọn otutu ti o pọju | 1800°C (tesiwaju) / 2000°C (tente) | 1200 ° C | Idaabobo iwọn otutu dara si nipasẹ 50% |
| Itọju ibawọn ailera | 4.9 W/cm · K (iwọn otutu) | 1.5 W/cm·K | Imudara gbigbe ooru pọ si nipasẹ 226% |
| Iṣiropọ ti imugboroosi gbona | 4-5 × 10⁻⁶/K | 0.55 × 10⁻⁶/K | Iduroṣinṣin gbona ni ilọsiwaju nipasẹ awọn akoko 7 |
| líle | Mohs 9.2 (keji nikan si diamond) | Mohs 7 | Yiwọ resistance ni ilọsiwaju nipasẹ awọn akoko 30 |
| Wafer olubasọrọ ojuami wahala | <5 MPa (apẹrẹ egboogi-isokuso) | > 20 MPa | Oṣuwọn isokuso wafer dinku nipasẹ 80% |
| Itusilẹ patiku | 0 patikulu/cm² (Imọtoto Kilasi 100) | > 50 patikulu/cm² | Idoti sunmo odo |
Išẹ ti o dara julọ ti ohun alumọni carbide wafer ti ngbe (SiC Wafer Carrier) jẹ lati inu awọn ohun-ini imọ-jinlẹ ohun elo alailẹgbẹ rẹ. Ni isalẹ ni afiwe alaye ti awọn ipilẹ ti ara bọtini:
Awọn paramita wọnyi tumọ taara si ikore ilọsiwaju ati awọn idiyele idinku ni iṣelọpọ semikondokito, bi o ṣe han ninu atẹle:
Anfani iṣẹ ṣiṣe igbona: Bandgap jakejado SiC (3.26 eV) ṣe idaniloju pe o n ṣetọju igbekalẹ kirisita iduroṣinṣin ni 2000 ° C ati yago fun abuku gbona. Imudara igbona giga (4.9 W / cm · K) gba wafer laaye lati gbona diẹ sii ni deede ati imukuro awọn abawọn lattice ti o ṣẹlẹ nipasẹ aapọn gbona.
Agbara ẹrọ: 9.2 Mohs hardness koju ipa ti ara lakoko ilana naa, ati pe igbesi aye iṣẹ jẹ diẹ sii ju awọn akoko 10 ti awọn gbigbe quartz ibile. Apẹrẹ semicircular alailẹgbẹ ti n ṣakoso wahala olubasọrọ wafer ni isalẹ 5MPa, ni ipilẹ imukuro lasan isokuso otutu otutu.
Kemikali inertness: Ifarada si awọn gaasi ibajẹ ti o ga julọ gẹgẹbi HF ati HCl kọja awọn wakati 10,000, ati pe idoti odo jẹ itọju ni LPCVD, itankale, oxidation ati awọn ilana miiran.
ohun elo
Awọn bọtini ipa ti High Purity SiC Wafer Boat
Ọkọ oju-omi SiC Wafer Di mimọ-giga wa ni lilo pupọ ni awọn ilana iṣelọpọ semikondokito bọtini atẹle:
Imudara Ooru-giga: Ninu laini iṣelọpọ ti olupese sic wafer, annealing iwọn otutu giga jẹ igbesẹ bọtini lati mu awọn dopants ṣiṣẹ ati atunṣe awọn abawọn lattice. Iduroṣinṣin iwọn otutu ti o ga julọ ti ọkọ oju omi wafer SiC ṣe idaniloju iṣọkan ati imunadoko ti ilana imunadoko.
Idagbasoke Epitaxial: Boya o jẹ epitaxy ti o da lori silikoni tabi ohun alumọni carbide wafer epitaxy, iwọn otutu ti o ga julọ ati resistance ipata ti ọkọ oju omi wafer SiC jẹ ki o jẹ agbẹru ti o dara julọ lati rii daju idagbasoke ipele epitaxial ti o ni agbara giga.
Itankale: Ninu ileru itọka iwọn otutu ti o ga, ọkọ oju omi wafer SiC ninu ọkọ oju omi wafer LPCVD le duro fun itọju iwọn otutu igba pipẹ lati rii daju pe kaakiri aṣọ ti awọn ọta doping ati dagba awọn ohun-ini itanna deede.
Ifilọlẹ Fiimu Tinrin: Paapa fun awọn ohun elo ọkọ oju omi wafer Lpcvd, sisọnu patiku kekere ti o kere pupọ ati imudara igbona ti o dara julọ ti awọn ọkọ oju omi wafer SiC ṣe iranlọwọ lati gba didara didara, awọn fiimu isokan.
Ohun elo ibaramu ati ibamu ilana:
✔ Ni ibamu pẹlu awọn ileru LPCVD akọkọ (bii TEL, Kokusai, ASM, SVG, Tystar, ati bẹbẹ lọ)
✔ Awọn pato wafer asefara bi 100mm / 150mm / 200mm
✔ Atilẹyin petele ati inaro ilana fifi sori ẹrọ
Ọkọ oju omi wafer Semixlab's SiC jẹ yiyan pipe lati mu imudara ilana rẹ dara ati ikore ọja, ati pe o jẹ oludari ni awọn ojutu ọkọ oju omi Semiconductor wafer ilọsiwaju.
wa Services
Ile itaja Ọja Semixlab
Awọn ile itaja ọja Semixlab
