gbogbo awọn Isori
SiC Awọn ohun elo amọ
SiC Cantilever Paddles
SiC Cantilever Paddles

SiC Cantilever Paddles


Semixlab's SiC Cantilever Paddles jẹ awọn ohun elo ti a ṣe deede ti a ṣe apẹrẹ fun mimu wafer ni awọn ilana alamọdaju iwọn otutu giga gẹgẹbi epitaxy, oxidation, ati CVD. Ti a ṣe lati recrystallized mimọ-giga tabi ohun alumọni ohun alumọni CVD, awọn paddles wọnyi nfunni ni adaṣe igbona ti o dara julọ, imugboroja igbona kekere, ati resistance kemikali alailẹgbẹ. Iwọn iwuwo wọn, apẹrẹ agbara-giga ṣe idaniloju iduroṣinṣin iwọn ati aabo wafer lakoko gigun kẹkẹ igbona iyara. Ni igbẹkẹle nipasẹ awọn oludari semikondokito agbaye, Semixlab n pese awọn solusan ti a ṣe adani ni kikun, ifijiṣẹ yarayara, ati igbesi aye ọja gigun — ṣiṣe ni alabaṣepọ pipe fun awọn iwulo iṣelọpọ semikondokito to ti ni ilọsiwaju.

Apejuwe

Ⅰ. Awọn paadi SiC Cantilever Di mimọ-giga fun Mimu Imudani Wafer Konge

SiC Cantilever Paddles jẹ awọn paati to ṣe pataki ti a lo ninu awọn ohun elo iṣelọpọ gbona fun mimu wafers lakoko apọju, itankale, ati awọn igbesẹ oxidation ni iṣelọpọ semikondokito. Iyatọ gbona wọn ati awọn ohun-ini ẹrọ jẹ ki wọn jẹ apẹrẹ fun iwọn otutu giga ati awọn agbegbe ibajẹ ni awọn iṣẹ mimọ.

Ⅱ. Akopọ ọja & Awọn anfani iṣẹ

1. Awọn ohun-ini Ohun elo Iyatọ fun Awọn ohun elo Iṣe-giga

Semixlab's SiC Cantilever Paddles ti wa ni iṣelọpọ lati mimọ-giga, silikoni carbide recrystallized (R-SiC) tabi awọn aṣọ ibora CVD SiC, ti n pese imudara igbona ti o dara julọ (to 120 W / m · K), imugboroja igbona kekere (~ 4.0 x 10⁻⁶/K), ati ipataja ti o tayọ si ipata. Awọn ohun-ini wọnyi ṣe idaniloju atilẹyin wafer iduroṣinṣin lakoko awọn ilana iwọn otutu giga, idinku abuku wafer tabi awọn eewu ibajẹ.

2. Superior Dimensional Iduroṣinṣin ati Flatness

Pẹlu oju-iwe ogun ti o kere ju paapaa ni awọn iwọn otutu ti o kọja 1400°C, apẹrẹ cantilever ṣe idaniloju gbigbe wafer aṣọ ati gbigbe, eyiti o ṣe pataki fun isokan Layer epitaxial. Ibi-kekere ati lile giga ti SiC ṣe ilọsiwaju igbejade eto ati idahun iwọn otutu lakoko iṣelọpọ igbona iyara.

3. Cleanroom-Ite Dada ti nw

Ṣeun si ipari oju ilẹ SiC ti iwuwo ati didan, awọn paddles Semixlab dinku iran patiku ati jijade. Eyi ṣe pataki ni pataki ni awọn agbegbe ti o nilo Kilasi 1 tabi ISO 14644-1 Awọn ipele mimọ Kilasi 2.

4. Ti a ṣe fun Epitaxial, Diffusion, ati CVD Furnaces

Awọn paddles SiC Cantilever wa ni lilo pupọ ni MOCVD, LPCVD, ati awọn iru ẹrọ ileru oxidation, ibaramu pẹlu awọn ami iyasọtọ ohun elo bii ASM, TEL, ati Veeco. Wọn jẹ iṣẹ-ṣiṣe fun isokan gbona ti o dara julọ ati iṣedede ẹrọ, ṣe iranlọwọ rii daju pe ikore ti o ga julọ ati iyatọ ilana kekere.

Ⅲ. Kini idi ti o yan Semixlab?

A pese awọn iṣẹ imọ-ẹrọ ti a ṣe ti ara, pẹlu:

● Isọdi ọja fun iwọn, eto, ati ipele ohun elo

● Iṣapejuwe ti o wa fun igbona ati kemikali

● Yara prototyping ati kekere-pupo gbóògì agbara

● Imọran imọran ati idaniloju apẹrẹ

Gẹgẹbi olupilẹṣẹ Kannada ti o jẹ oludari ati ile-iṣẹ ti awọn ọja SiC Cantilever Paddles, Semixlab tẹnumọ lori ipese imọ-ẹrọ ti adani ati awọn solusan ọja. Boya o fẹ lati mu ilana itọju ooru ti o wa tẹlẹ, ra awọn ẹya rirọpo iṣẹ ṣiṣe giga, tabi ni apapọ dagbasoke awọn solusan SiC ti adani, Semixlab yoo fun ọ ni imọ-ẹrọ ati atilẹyin ifijiṣẹ.

ohun elo

● MOCVD epitaxy wafer awọn gbigbe

● Oxidation ati tan kaakiri ileru paddle apa

● Awọn ọna ṣiṣe ikojọpọ Wafer ni awọn irinṣẹ LPCVD / CVD

● Awọn apa atilẹyin susceptor ti adani fun idagbasoke semikondokito agbo

wa Services

Ile itaja Ọja Semixlab

aisọye

lorun

Gbona isori