Kí nìdí tí Graphite Gíga-Gíga fi ṣe pàtàkì fún Ìṣàkóso Àbùkù Epitaxy SiC

Dídára wafer silicon carbide (SiC) tí a ń ṣe ni a ń ní ipa lórí àwọn ìyípadà díẹ̀díẹ̀ nínú àyíká ìdàgbàsókè. Agbègbè kan tí ọ̀pọ̀ ènìyàn kò kà sí ni graphite tí ó wà lára ​​reactor náà. Ó dúró ṣinṣin ìdánwò ooru líle tí a rí nínú reactor náà nígbà tí ó ń gbé wafer náà ró tí ó sì ń gbé e kalẹ̀ nígbà epitaxy. Tí graphite náà bá jẹ́ aláìmọ́ tàbí tí a ṣètò déédé, àwọn ègé kékeré ti ohun èlò tàbí ìṣesí tí a kò fẹ́ lè wà ní gbogbo ìlànà ìdàgbàsókè náà. Àwọn ìṣòro kékeré lórí ojú graphite lè hù jáde di àbùkù wafer ńlá, èyí tí yóò yọrí sí iṣẹ́ púpọ̀ sí i àti ìṣẹ́jade tí ó dínkù fún àwọn olùṣe chip. Nítorí náà, ipò àti ìmọ́tótó ti Olutayo ayaworan jẹ́ ọ̀ràn pàtàkì ju bí ọ̀pọ̀lọpọ̀ ènìyàn ṣe rò lọ.

Báwo ni Ìmọ́tótó Graphite ṣe ní ipa lórí àwọn ọ̀ràn patiku nínú àwọn yàrá Epitaxy?

Àwọn pátákó jẹ́ àbùkù wafer tó wọ́pọ̀ nínú àwọn yàrá epitaxy SiC, wọ́n sì sábà máa ń ní graphite nínú iṣẹ́ náà. Àwọn ẹ̀yà graphite náà wà ní agbègbè gbígbóná ti reactor SiC, wọ́n ń gbé wafer náà, wọ́n sì ń nípa lórí àwọn ìlà ooru náà. Pẹ̀lú lílo graphite tí kò mọ́, àwọn ohun ìdọ̀tí, bí àwọn ohun ìdọ̀tí irin, eérú, tàbí àwọn ohun ìdọ̀tí tí ó kù nínú iṣẹ́ náà, lè jáde kúrò nínú graphite díẹ̀díẹ̀ nígbà tí ó bá ń dàgbà ní iwọ̀n otútù gíga. Àwọn ohun ìdọ̀tí tí a yọ kúrò nínú gas sábà máa ń jẹ́ èyí tí a kò lè rí nínú yàrá náà, ṣùgbọ́n wọ́n máa ń balẹ̀ lórí ilẹ̀ wafer náà nígbẹ̀yìn gbẹ́yín, tàbí kí wọ́n di apá kan nínú ìpele gaasi náà. Fún àpẹẹrẹ, nínú ohun èlò kan, a yan graphite onípele kékeré fún ìfowópamọ́. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé kò sí ìṣòro kankan tí ó hàn gbangba nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́ fún ìgbà díẹ̀ ní àkọ́kọ́, lẹ́yìn ọ̀pọ̀ ìgbà ti Sic epitaxy , àwọn ihò pinni laileto àti àwọn àmì tí kò nípọn ni a rí lórí ojú wafer. Orísun irú àbùkù bẹ́ẹ̀ ni a tọ́ka sí láti inú àwọn èròjà kéékèèké tí a tú jáde láti inú ohun tí ó ní graphite tàbí susceptor. Àwọn èròjà náà yóò wọ inú yàrá ìdàgbàsókè wọn yóò sì ṣiṣẹ́ bí irúgbìn ní ọ̀nà tí kò dára. Ìwọ̀n tí kò báramu ti apá graphite náà yóò tún ṣe àfikún sí ìfọ́ kékeré lórí ojú apá náà nígbà tí a bá ń gbóná, èyí tí yóò yọrí sí títú àwọn èròjà kéékèèké sínú yàrá náà nígbà tí ó bá yá, bó tilẹ̀ jẹ́ pé apá náà lè dàbí ẹni tí ó mọ́. Nítorí náà, ṣíṣàkíyèsí orísun graphite àti ìtàn rẹ̀ jẹ́ iṣẹ́ déédéé nínú àwọn aṣọ láti yẹra fún àbùkù tí ó ní í ṣe pẹ̀lú èròjà kéékèèké. Graphite mímọ́ gíga pẹ̀lú iye eérú tí a ṣàkóso jẹ́ ohun tí a fẹ́, pàápàá jùlọ fún àwọn ìṣelọ́pọ́ ìgbà pípẹ́. A tún ń ṣe àkíyèsí iye àwọn ìyípo ooru ti àwọn ẹ̀yà nítorí pé àwọn ohun èlò yóò tú àwọn èròjà jáde lẹ́yìn ìṣiṣẹ́ àkọ́kọ́ tí ó dára. Bákan náà, ọ̀nà ìtọ́jú fún àwọn ẹ̀yà graphite ní ipa lórí àbùkù. Fún àpẹẹrẹ, àwọn ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ oníjàgídíjàgan yóò ba ojú graphite jẹ́, yóò sì yọrí sí àwọn ìfọ́ kékeré. Ọ̀nà tí a fẹ́ràn jùlọ ni ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ onírẹ̀lẹ̀, tí a ṣàkóso pẹ̀lú ìbáṣepọ̀ ara tí ó kéré pẹ̀lú àwọn ẹ̀yà graphite. Fún àwọn ìdí ọrọ̀ ajé, fífi àwọn ẹ̀yà ara rọ́pò ní kíákíá ju bí a ṣe rò lọ lè sàn ju kíkojú àdánù ìyọrísí ní àwọn ìpele tó ń bọ̀. Ní kúkúrú, ìṣàkóso ìṣẹ̀dá pàtákì nínú ìlànà SiC epitaxy tó wọ́pọ̀ yíká àwọn kúlẹ̀kúlẹ̀ kéékèèké lórí dídára ohun èlò àti àwọn ìṣe ìtọ́jú. Ọ̀ràn dídára graphite ló wà ní góńgó ọ̀rọ̀ náà.

Awọn Ohun elo ti a beere fun Awọn ẹya Epitaxial SiC ti o ga julọ ati awọn oluso-ara

Fún SiC epitaxy, àwọn ẹ̀yà inú reactor náà ju láti “di” wafer náà mú lọ. Àwọn susceptors, graphite carriers àti àwọn èròjà hotzone nínú reactor náà ní ipa lórí ìdàgbàsókè kristali náà ní tààrà. Ìdí nìyí tí àwọn ohun èlò náà fi ń béèrè gan-an àti pé àbùkù kékeré kan yóò fara hàn gẹ́gẹ́ bí àbùkù lórí wafer náà nígbẹ̀yìn gbẹ́yín. Ìdúróṣinṣin ooru gíga jẹ́ ohun pàtàkì. A máa ń gbóná àwọn ẹ̀yà náà sí iwọ̀n otútù gíga fún ìgbà pípẹ́ (nígbà míìrán, àwọn ìyípo ìgbóná/ìtutù tí ń tún ara wọn ṣe). Ohun èlò tí kò lè pa ìdúróṣinṣin mọ́ ní àwọn iwọ̀n otútù wọ̀nyí yóò yí padà, ó sì lè fọ́ nígbẹ̀yìn gbẹ́yín. Àwọn ìyípadà díẹ̀ nínú geometry lè yí ìṣàn gaasi àti ìpínkiri ooru padà ní pàtàkì, èyí tí yóò yọrí sí ìdàgbàsókè kristali tí kò bá ara mu lórí ojú wafer náà. Ìmọ́tótó jẹ́ ohun pàtàkì mìíràn. Àwọn ìlànà SiC gíga nílò ìwọ̀n irin tí ó kéré gan-an àti ìpele eeru tí ó kéré gan-an nínú àwọn èròjà tí ó da lórí graphite. Nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́, àwọn irin tí a fi ń ṣe àmì yóò jáde láti inú àwọn ẹ̀yà náà lọ́ra, àwọn ohun ìbàjẹ́ náà lè tànkálẹ̀ sínú yàrá náà, yóò sì yọrí sí ìbàjẹ́ patiku tàbí àbùkù kristali agbègbè. Nínú àwọn aṣọ kan, àbùkù ìdìpọ̀ àìròtẹ́lẹ̀ ti jẹ́ àkójọpọ̀ susceptor kan ṣoṣo tí a ti bàjẹ́. Ìṣètò ojú ilẹ̀ jẹ́ ohun pàtàkì. Oju ilẹ ti o dan ati ti o dọgba yoo ṣe iranlọwọ lati dinku sisọnu awọn patikulu lakoko iyipo igbona/itutu. Oju ilẹ ti ko ni ibamu, tabi awọn iho inu eto oju ilẹ, yoo ma bajẹ nigbagbogbo lakoko iṣẹ ati nitorinaa ṣe orisun awọn patikulu ti o duro ṣinṣin sinu yara naa. Didara ti ibora tun jẹ ibeere pataki miiran. Ọpọlọpọ awọn susceptors ti o ga julọ lo ibora SiC gẹgẹbi fẹlẹfẹlẹ aabo. Ibora naa gbọdọ faramọ ohun elo ipilẹ daradara ati pe o gbọdọ koju iṣẹ pipẹ. Isopọ ti ko dara ati de-lamination yoo fi graphite ipilẹ han taara si agbegbe ihuwasi lile. A maa rii eyi ni awọn ohun elo gidi: fun apẹẹrẹ, wafer fab ti n ṣiṣẹ fun ipele iṣelọpọ pipẹ yoo rii pe oṣuwọn abawọn naa n lọ soke ni imurasilẹ lẹhin awọn iyipo ọgọọgọrun. Ṣiṣayẹwo susceptor yoo ṣafihan ibajẹ diẹ ti ibora ati ibajẹ eti. Yiyipada tabi rirọpo paati yoo da oṣuwọn abawọn pada si ipele itẹwọgba. Yiyan awọn ohun elo ti o tọ kii ṣe nipa iṣẹ akọkọ ti awọn paati nikan, ṣugbọn iduroṣinṣin ti ohun elo naa ni awọn iyipo ti o tun ṣe.

Awọn ipa ti eto ọkà lori iduroṣinṣin ooru ni awọn eto AIXTRON G10

Ìṣètò ọkà ti àwọn èròjà graphite nínú SiC iwọ̀n otútù gíga Idagbasoke Apọju ètò, bíi AIXTRON G10, ní ipa lórí ìdúróṣinṣin ooru gidigidi. Èyí ní í ṣe pẹ̀lú àwọn ìyípadà ìpele, ìdúró ìrísí, àti ìdáhùn sí ìyípo ooru. Graphite kì í ṣe ohun tó lágbára tó jẹ́ monolithic. Ó ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ kristali tàbí ọkà. Àwọn kristali kọ̀ọ̀kan lè ní àwọn ìtọ́sọ́nà tó yàtọ̀ síra. Nígbà tí kò bá sí ìṣàkóso tó dára lórí ìwọ̀n ọkà nínú ẹ̀yà graphite, ìpínkiri ooru tí kò dọ́gba máa ń dìde. Àwọn agbègbè ẹ̀yà náà máa ń gbóná tí wọ́n sì máa ń tutù ní ìwọ̀n tó yàtọ̀ síra. Èyí máa ń dá wàhálà inú sílẹ̀ lórí ìpele kékeré kan. Díẹ̀díẹ̀ bí àkókò ti ń lọ, wahala inú yìí máa ń fa ìyípo tàbí ìyípadà nínú àwọn ẹ̀yà bíi susceptor tàbí wafer carrier. Ìlànà yìí rọrùn láti dá mọ̀ nígbà ìṣẹ̀dá. Ó sábà máa ń hàn nígbà tí ìlà wafer bá ń ṣiṣẹ́ ní ìwọ̀n otútù gíga. Dídára wafer náà máa ń bẹ̀rẹ̀ sí í yípadà lẹ́yìn ọgọ́rọ̀ọ̀rún àwọn ìyípo ooru. Àwọn ìyàtọ̀ nínú sisanra máa ń pọ̀ sí i, àwọn àbùkù etí sì máa ń bẹ̀rẹ̀ sí í farahàn déédéé. Nígbà tí a bá ti ṣe àyẹ̀wò àwọn ẹ̀yà wọ̀nyí, wọ́n sábà máa ń ní àmì ìyípo tàbí àárẹ̀ ohun èlò. Àwọn ẹ̀yà ọkà tó dára pẹ̀lú ìpínkiri kristali tí a ṣàkóso yóò ní ìdúróṣinṣin ooru tó dára jù àwọn ọkà líle tàbí àwọn ẹ̀yà àìròtẹ́lẹ̀ lọ. Èyí yóò yọrí sí ìyípadà ooru tó dọ́gba àti ìdínkù àwọn ibi ìdààmú agbègbè. Pẹ̀lú ìṣètò ọkà tó péye, àwọn ẹ̀yà náà yóò kojú ìyípo kódà lórí ọgọ́rọ̀ọ̀rún àwọn ìyípo ooru. Àwọn ìṣètò onípele tàbí àwọn ìṣètò ọkà tí a pín kiri dáadáa máa ń yọrí sí àwọn ibi tí kò lágbára nínú apá náà, èyí tí yóò jẹ́ kí microcrack àti ìtújáde àwọn èròjà sínú yàrá náà nígbẹ̀yìn gbẹ́yín. Ọ̀rọ̀ pàtàkì mìíràn tí a gbọ́dọ̀ gbé yẹ̀wò ni ìdènà sí ìgbóná ooru. Àwọn ibi kan wà tí apá náà máa ń ní ìyípadà otutu tó ṣe pàtàkì bíi gbígbé sínú reactor tàbí nígbà tí a bá yọ ọ́ kúrò. Tí àwọn ààlà tí kò lágbára bá wà láàárín àwọn èròjà, àwọn micro-cracks lè ṣẹ̀dá ní ìlà ọkà náà. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé èyí kì í sábà yọrí sí ìkùnà apá kan, ó máa ń jẹ́ kí àwọn àìlera wọ̀nyí ṣẹ̀dá nínú ohun èlò náà, èyí tí yóò sì yọrí sí àwọn ìṣòro ìgbẹ́kẹ̀lé lọ́jọ́ iwájú. Ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ìṣètò náà máa ń tọ́pasẹ̀ ìgbésí ayé apá kan nípa wákàtí tí a lò, àti iye àwọn ìyípo ooru àti ìtọ́jú ooru gbogbo. Àwọn ẹ̀yà tí ó ní ìṣètò ọkà tí a ṣe dáadáa ní ìwàláàyè gígùn, àwọn àbájáde tí ó dúró ṣinṣin lórí àkókò.

Dínkù Ìbàjẹ́ Onírin nínú Àwọn Ẹ̀yà Gráfítì Tó Ní Ìmọ́tótó Gíga

Ọ̀kan lára ​​àwọn ìṣòro pàtàkì tí a kò rí nínú apá graphite èyíkéyìí, títí kan nínú ìlànà epitaxy SiC, ni ìbàjẹ́ irin. Kódà àwọn àmì díẹ̀ nínú apá graphite lè wọ inú iṣẹ́ náà kí ó sì di orísun àwọn àbùkù tí ó ṣòro láti tọ́pasẹ̀ nínú reactor epitaxy SiC bíi AIXTRON G10. Irú àwọn irin bẹ́ẹ̀ sábà máa ń wá láti inú àwọn ohun èlò aise tàbí onírúurú ìgbésẹ̀ ìṣiṣẹ́ tí ó ní í ṣe pẹ̀lú ṣíṣe ẹ̀yà graphite. Àwọn èròjà bíi Iron, Nickel, Calcium àti Sodium wọ́pọ̀ wọ́n sì máa ń wà nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ graphite ní ìwọ̀n otútù yàrá, ṣùgbọ́n, ní ìwọ̀n otútù ilana tí a lò nínú SiC epitaxy, àwọn èròjà wọ̀nyí lè di èyí tí ó ń rìn kiri. Àwọn irin ìtọ́ka wọ̀nyí lè di èyí tí a ti yọ kúrò nínú iná tàbí kí wọ́n lọ sí ojú ilẹ̀ nígbà tí a bá ń lo àwọn àkókò ìgbóná/ìtutù lẹ́ẹ̀kọ̀ọ̀kan ní agbègbè gbígbóná, èyí ni susceptor tàbí ohun tí ń gbé wafer fúnra rẹ̀. Ọ̀ràn kan tí ó wọ́pọ̀ yóò rí báyìí: fab kan bẹ̀rẹ̀ iṣẹ́ ìṣẹ̀dá nípa lílo àwọn ẹ̀yà graphite tuntun. Àwọn wafer díẹ̀ àkọ́kọ́ dára, wọn kò sì ní àbùkù kankan, ṣùgbọ́n lẹ́yìn àkókò kan, àwọn àbùkù kékeré bẹ̀rẹ̀ sí í farahàn. Wọ́n sábà máa ń jẹ́ àwọn ihò kéékèèké, àbùkù àkójọpọ̀ láìròtẹ́lẹ̀, tàbí àwọn ìṣẹ̀lẹ̀ pàǹtí tí a kò lè ṣàlàyé. Ó rọrùn láti fura sí ìṣàn gáàsì tí kò tọ́ tàbí ìṣẹ̀lẹ̀ ìbàjẹ́ nígbà tí a bá ń fọ yàrá náà. Ṣùgbọ́n ìṣàyẹ̀wò kíkún sábà máa ń yọrí sí ìtújáde díẹ̀díẹ̀ ti àwọn irin ìtọ́ka láti inú àwọn èròjà graphite. Ṣíṣàkóso mímọ́ graphite jẹ́ ọ̀kan lára ​​àwọn kókó pàtàkì. Fún àwọn èròjà pàtàkì, graphite tí a ti sọ di mímọ́ ní iwọ̀n otútù gíga pẹ̀lú akoonu eeru kékeré ni a fẹ́ràn nígbà gbogbo. Ìgbésẹ̀ ìwẹ̀nùmọ́ yìí máa ń mú ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ohun tí ó kù nínú irin kúrò. Irú graphite bẹ́ẹ̀ lè pa àwọn èròjà mọ́ fún ìgbà pípẹ́ kódà lábẹ́ àwọn àkókò ìgbóná/ìtutù tí a ń ṣe leralera. Ṣíṣàyẹ̀wò àwọn ẹ̀yà graphite tí ń bọ̀ tún ṣe pàtàkì nínú àwọn ohun èlò kan. Ṣíṣàyẹ̀wò àwọn ẹ̀yà graphite pẹ̀lú àwọn ọ̀nà bíi ICP-OES tàbí XRF lè dènà lílo àwọn ẹ̀yà tí ó ti bàjẹ́. Ó tún lè dènà dídapọ̀ àwọn ẹ̀yà láti orísun ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀ láàárín ìṣàn iṣẹ́ kan náà. Àwọn ìbòrí bíi SiC tàbí TaC tún ń ran lọ́wọ́ láti yanjú ìṣòro náà nípa ṣíṣe bí ìdènà láàárín apá graphite àti àyíká iṣẹ́ náà. Niwọn igba ti a ba fi ibora naa pamọ daradara ti a si so mọ substrate graphite ti o wa ni isalẹ, yoo dinku ibaraenisepo apakan graphite pẹlu agbegbe ilana naa. Nikẹhin ṣugbọn kii ṣe pataki julọ ni mimu ati ibi ipamọ awọn ẹya graphite. Awọn ẹya graphite le ni idoti lakoko mimu pẹlu awọn ibọwọ idọti, awọn ohun elo tabi nipa titọju si ori selifu ti ko mọ. Ibajẹ oju ilẹ yii le wọ inu ileru lakoko iyipo igbona. Lati dinku idoti irin ti awọn ẹya graphite, o jẹ apapọ awọn igbiyanju kekere pupọ. Ohun elo mimọ giga ti o darapọ mọ adaṣe mimu ti o dara ati iṣakoso ilana ti o muna ni a nilo.

Kí ló dé tí Veeco EPIK Systems fi ń béèrè fún àwọn ohun èlò Graphite Porosity Low-Low?

Àwọn ẹ̀yà Graphite nínú ìpele Veeco EPIK Systems ń fara da ọ̀kan lára ​​àwọn ipò iṣẹ́ tó le jùlọ nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor. Àwọn ipò ooru gíga, kemistri gaasi líle àti àwọn ìyípo iṣẹ́ gígùn ni àwọn èròjà wọ̀nyí ń ní. Nítorí náà, graphite porosity low low ṣe pàtàkì láti pa ìwà títọ́ àti ìmọ́tótó SiC epitaxy mọ́. Porosity tọ́ka sí àwọn ihò inú kékeré tí ó wà nínú ara graphite fúnra rẹ̀. Láìka ojú ilẹ̀ tí ó mọ́ dáadáa sí, àwọn ihò inú lè wà nínú àwọn gaasi iṣẹ́ ìdẹkùn, àwọn ìyókù àti kemistri mímọ́. Porosity gíga túmọ̀ sí ìwọ̀n inú tó pọ̀ sí i fún ìdẹkùn, níbi tí lẹ́yìn ìfarahàn otutu gíga, ohun èlò lè di èéfín díẹ̀díẹ̀. Degassing yìí kì í sábà jẹ́ ìlà, ó sì lè fa ìbúgbàù, èyí tí ó ń mú kí iṣẹ́ náà ṣòro láti ṣàkóso. Nínú SiC epitaxy, èyí burú gan-an. Nígbà tí a bá tú àwọn gaasi jáde láti ara graphite, wọ́n lè dara pọ̀ mọ́ ìṣàn gaasi nínú yàrá epitaxy, èyí tí ó ń fa àwọn patikulu tí a kò fẹ́. Àwọn èròjà yóò wá sí ojú ilẹ̀ wafer, wọn yóò ní ipa lórí ìdàgbàsókè kristali, wọ́n sì lè fa àwọn àbùkù tí a kò retí bíi àwọn ihò àìròtẹ́lẹ̀, ìró ojú ilẹ̀ tàbí àwọn ìyàtọ̀ agbègbè nínú sisanra wafer. Ohun kan tí ó sábà máa ń ṣẹlẹ̀ ni ní àwọn ibi ìṣẹ̀dá níbi tí a ti ń gba àwọn ẹ̀yà graphite tuntun fún ètò EPIK. Àwọn àbájáde àkọ́kọ́ lè jẹ́ ìtẹ́wọ́gbà, ṣùgbọ́n bí àwọn ìyípo ooru ṣe ń tún padà, àwọn ìwọ̀n àbùkù náà lè yọ́ sókè, àyẹ̀wò ọkọ̀ ojú irin pẹ̀lú àwọn ìlà gaasi, àwọn fálùfù àti àwọn ìpele iṣẹ́ ìwẹ̀nùmọ́ lè má fi ohunkóhun hàn kedere. Lọ́pọ̀ ìgbà, a máa ń rí i pé ohun tó fa ìṣòro náà ni graphite oní-porosity kékeré láàárín agbègbè igbóná gíga. Yíyan graphite oní-porosity kékeré máa ń dín ewu yìí kù nípa dídín ìwọ̀n inú tí a lè fi àwọn ẹ̀yà tí a dì mọ́, èyí tí yóò dín àǹfààní ìtújáde gaasi lójijì kù nígbà tí a bá gbóná. Ó tún ní í ṣe pẹ̀lú ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ tí ó dára jù. Ìṣètò oní-porosity graphite oní-porosity kékeré sábà máa ń fúnni ní ìdènà sí ìfọ́ bí graphite ṣe ń gba ìyípo ooru lẹ́ẹ̀kan sí i. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, àwọn ojú ilẹ̀ oní-porosity kékeré ń mú kí ìdúróṣinṣin ìbòrí pọ̀ sí i. Nígbà tí a bá fi SiC tàbí àwọn ohun èlò míràn tí kò ní ihò bo orí àwọn ojú ilẹ̀ graphite wọ̀nyí, wọ́n máa ń fara mọ́ ojú ilẹ̀ tí kò ní ihò púpọ̀. Èyí ṣeé ṣe kí ó jẹ́ nítorí ìsopọ̀ tó pọ̀ sí i láàárín ohun èlò tí a fi bò àti graphite, èyí tí ó tún mú kí agbára àti gígùn àwọn ìbòrí náà pọ̀ sí i àti agbára wọn láti bọ́ tàbí kí wọ́n fọ́. Níkẹyìn, yíyan graphite porosity ultra low in how-day-de-day, nígbà tí ó jẹ́ ohun ìní ohun èlò, ó ń fúnni ní àǹfààní tààrà láti ṣàṣeyọrí àwọn àbájáde wafer tí ó dúró ṣinṣin, mímọ́, àti tí a lè sọtẹ́lẹ̀ láàárín àwọn ìlànà epitaxy SiC gíga.