Báwo ni àwọn òrùka Deflector tí a fi bo TaC ṣe ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìdúróṣinṣin ìlànà ní àwọn yàrá ìgbóná gíga

Iduroṣinṣin gbogbo ilana naa le ni ipa pataki nipasẹ iduroṣinṣin awọn ẹya kekere, gẹgẹbi ninu yara semiconductor ti o gbona pupọ. Ọkan ninu awọn ẹya wọnyi ni oruka deflector. O wa laarin yara naa o si ṣe iranlọwọ ni ṣiṣakoso sisan gaasi ati/tabi ooru. Ti iwọn otutu ba ga pupọ, awọn ohun elo lasan yoo wọ tabi awọn patikulu yoo jade ti o ni ipa lori didara wafer. Tac bo A lo àwọn òrùka deflector láti kojú àwọn ipò líle wọ̀nyí. Àwọ̀ náà ń mú kí òrùka náà dúró ṣinṣin nígbà tí ó bá ń lọ síbi pípẹ́, èyí tí ó túmọ̀ sí wípé àyíká inú yàrá náà dúró ṣinṣin àti pé ó ṣeé ṣe kí ó ṣeé sọtẹ́lẹ̀ fún ìdàgbàsókè kristali àti ilana fíìmù tín-ín-rín.

Ipa Iṣẹ́ ti Awọn Oruka Deflector ninu Ṣíṣàn Gaasi ati Iṣakoso Ooru

Gáàsì kì í pín káàkiri déédé; àyàfi ní àwọn iwọ̀n otútù gíga. Ó ń rìn ní àwọn àpẹẹrẹ, èyí tí ó ń pinnu ìtànkálẹ̀ ooru àti ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò lórí àwọn wáfárì. Àwọn òrùka Deflector ń ran ní agbègbè yìí lọ́wọ́. Wọ́n gbé wọn sí àwọn ibi pàtàkì nínú yàrá láti darí ìṣàn gáàsì náà. A ṣe òrùka náà láti darí gáàsì gbígbóná láti ṣàn kọjá ojú ilẹ̀ wáfárì náà lọ́nà tí ó rọrùn àti déédé ju bí ó bá ṣe pé ó rọrùn láti yí kiri ní ọ̀nà àìdánimọ̀ lọ. Bí ìyàtọ̀ iwọ̀n otútù nínú yàrá náà bá ti kéré tó nígbà tí ìṣàn gáàsì bá dúró ṣinṣin. Èyí ṣe pàtàkì nítorí pé ibi gbígbóná kékeré kan lè ní ipa lórí bí ìpele kírísítà ṣe ń dàgbà. Nínú àwọn ìlà ìṣelọ́pọ́ gidi, àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ ṣàkíyèsí pé gáàsì náà kò dúró ṣinṣin àti pé ìwọ̀n wáfárì náà kò dọ́gba tàbí pé àbùkù etí ń ṣẹlẹ̀. Àwọn ìṣòro wọ̀nyẹn lè dínkù nípa lílo òrùka deflector láti máa tọ́jú ìtọ́sọ́nà ìṣàn tí ó dára láti ìbẹ̀rẹ̀ títí dé òpin ìyípo iṣẹ́ kan. Iṣẹ́ pàtàkì mìíràn ni ìṣàkóso ooru. Nínú àwọn yàrá wọ̀nyí, ooru lè ga púpọ̀ tí ó sì lè wà ní onírúurú agbègbè. Òrùka yìí ń ran ní pípín ooru náà káàkiri bí àwọn gáàsì gbígbóná ṣe ń yí kiri nínú rẹ̀. Ooru tí ó wà ní ìwọ̀ntúnwọ̀nsì ń dènà ìdààmú àìdọ́gba lórí wáfárì nínú yàrá náà. Èyí ń ran ní àtúnṣe láti ìpele dé ìpele. Nígbà tí àwọn ẹgbẹ́ bá ń lo èyí ní ìlò gidi bíi SiC tàbí GaN, wọ́n máa ń rí i pé lẹ́yìn ṣíṣe àwọn òrùka deflector tó dúró ṣinṣin, wọ́n máa ń gba àkókò díẹ̀ láti ṣe àtúnṣe àwọn ìlànà fún ìṣiṣẹ́ kọ̀ọ̀kan. Ìlànà yìí rọrùn láti tún ṣe nítorí pé àyíká inú rẹ̀ ti ṣeé sọ tẹ́lẹ̀. Èyí ni ìbòrí TaC láti ran lọ́wọ́: Ó dúró ṣinṣin ní àwọn iwọ̀n otútù gíga ó sì dín àwọn ìṣesí lórí ojú ilẹ̀ tí ó lè dí ìṣàn gaasi lọ́wọ́ kù. Òrùka deflector tó ṣe dáadáa kò ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ẹ̀rọ tó dúró ṣinṣin, ṣùgbọ́n ó ń ran gbogbo ètò náà lọ́wọ́ láti ṣiṣẹ́ ní ìdákẹ́jẹ́ẹ́ pẹ̀lú agbára gáàsì àti ìdarí ooru tó dára jùlọ ní gbogbo ìyípo kọ̀ọ̀kan.

Àwọn Àǹfààní Àwọn Àwọ̀ TaC fún Ìparun àti Ìdènà Ìbàjẹ́

Nínú àwọn yàrá tí ó ní iwọ̀n otútù gíga, àwọn èròjà náà máa ń fara hàn lábẹ́ àwọn ipò ìdánwò líle koko ní gbogbo ìyípo kọ̀ọ̀kan. Àwọn gáàsì gbígbóná máa ń yára gbéra, wọ́n sì máa ń ṣe pẹ̀lú àwọn ojú ilẹ̀, wọ́n sì máa ń jẹ àwọn ohun èlò díẹ̀díẹ̀. Ibẹ̀ ni ìbòrí TaC (tantalum carbide) ti ń ran lọ́wọ́ gan-an, pàápàá jùlọ ní ti ìfọ́ àti ìbàjẹ́. Ìfọ́ máa ń ṣẹlẹ̀ nígbà tí a bá yọ èròjà kan kúrò díẹ̀díẹ̀ nípasẹ̀ iṣẹ́ gáàsì tàbí àwọn èròjà tí ń yára gbéra. Kódà àwọn ipa kékeré lórí àkókò lè fa kí ojú ilẹ̀ náà di líle, kí ó yí ìrísí rẹ̀ padà kí ó sì yí iṣẹ́ rẹ̀ padà. TaC ti a bo lẹẹdi ti ngbona Ohun náà le gan-an, ó sì dúró ṣinṣin ní ìfiwéra pẹ̀lú ọ̀pọ̀lọpọ̀ ohun èlò ìpìlẹ̀ tí a ń lò nínú àwọn ẹ̀yà yàrá. Èyí ń jẹ́ kí ó lè pa àwọ̀ rẹ̀ mọ́ fún ìgbà pípẹ́ lábẹ́ ìṣàn gaasi gíga àti tí ó dúró pẹ́. Èyí ń ran lọ́wọ́ láti dín àwọn ìyípadà apá tí ó ń yípadà kù, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń yẹra fún àwọn ìṣiṣẹ́ ìgbà pípẹ́. Ìbàjẹ́ tún jẹ́ ìṣòro. Nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ìlànà semiconductor, àwọn gaasi tí a ń mú wọ inú yàrá ìlànà náà ń ṣiṣẹ́ ní kẹ́míkà. Àwọn gaasi wọ̀nyí lágbára jù ní àwọn iwọ̀n otútù gíga. Wọ́n lè bá àwọn ojú ilẹ̀ tí ó fara hàn mu, èyí tí ó lè yọrí sí pípadánù ohun èlò tàbí ìbàjẹ́. Ìbòrí TaC ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ìpele ààbò tí ó ń dènà àwọn ìṣesí wọ̀nyí. Kò rọrùn láti bàjẹ́ kódà lábẹ́ àwọn ipò kẹ́míkà líle koko fún ìgbà pípẹ́. Àwọn gaasi tí ń ṣe àtúnṣe ní àwọn ìpele ooru gíga gidigidi wọ́pọ̀ nínú ohun èlò ìdàgbàsókè SiC crystal, fún àpẹẹrẹ. Tí kò bá sí ààbò tó péye, àwọn apá yàrá náà lè bàjẹ́ kíákíá, kí wọ́n sì tú àwọn èròjà tí a kò fẹ́ jáde sínú ètò náà. A lè dín ìlànà yìí kù nípa lílo TaC ti a bo halfmoon awọn ẹya ara , èyí tí yóò ran lọ́wọ́ láti pa yàrá mímọ́ tónítóní mọ́ tónítóní nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́ léraléra. Àǹfààní kan tí ó wúlò ni pé dídán ojú ilẹ̀ yóò wáyé nígbà tí àkókò bá ń lọ. Pẹ̀lú ìdínkù ìfọ́, ojú ilẹ̀ náà yóò dúró ní ìpele tó ga sí i. Èyí ń ran lọ́wọ́ láti rí i dájú pé gáàsì náà ń ṣàn déédé, ó sì ń dín ewu ìfọ́ tí ń lọ sílẹ̀ kù. Ọ̀pọ̀ àwọn olùṣiṣẹ́ ròyìn pé ìtọ́jú ti di déédéé, ó ń di ohun tí a lè sọ tẹ́lẹ̀, kò sì ń ṣẹlẹ̀ mọ́ lẹ́yìn lílo àwọn ẹ̀yà tí a fi TaC bo. Láti ṣàkópọ̀, ìbòrí TaC lè ṣe ààbò tó dára. A ń lò ó láti rí i dájú pé yàrá náà dúró ṣinṣin lábẹ́ àwọn ipò iṣẹ́ líle koko nípa rírí i dájú pé àwọn ẹ̀yà pàtàkì wà nínú yàrá náà láti ara àti ìkọlù kẹ́míkà.

Ipa lori Mimọ Iyẹwu ati Iṣakoso Patikulu

Ìmọ́tótó kò túmọ̀ sí wíwẹ̀ àwọn ojú ilẹ̀ ní àwọn yàrá ìṣiṣẹ́ tí ó ní iwọ̀n otútù gíga nìkan. Ó jẹ́ ìṣàkóso ohun tí a tú jáde nínú ètò náà nígbà tí ó bá ń ṣiṣẹ́. Àwọn èròjà kéékèèké lè jábọ́ sí orí wáfà kan kí wọ́n sì fa àwọn àbùkù tí ó ṣòro láti tún ṣe. Ìdí nìyẹn tí àwọn òrùka deflector ti àwọn yàrá náà fi ṣe pàtàkì, pàápàá jùlọ tí a bá fi TaC bò wọ́n. Àǹfààní pàtàkì ti ìbòrí TaC ni pé ó ń yọrí sí ìdínkù ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀. Bí àkókò ti ń lọ, ojú ilẹ̀ kan máa ń bàjẹ́, tí ó sì ń tú àwọn èròjà kéékèèké sínú yàrá náà. Ìṣàn gaasi àti ìdúró lórí àwọn ojú ilẹ̀ wafer náà lè gbé àwọn èròjà kéékèèké wọ̀nyí. Ojú ilẹ̀ náà dúró láìsí ìṣòro fún ìgbà pípẹ́ nígbà tí a bá fi TaC bò òrùka deflector náà tí a sì fi hàn sí ooru àti gaasi. Èyí dín ewu àwọn èròjà tí a ń ṣẹ̀dá ní àwọn àkókò tí ó tẹ̀lé e kù. Ìkórajọ ìhùwàsí kẹ́míkà jẹ́ ìṣòro tí ó wọ́pọ̀ nínú àwọn yàrá. Bí àkókò ti ń lọ, àwọn ohun èlò kan máa ń dáhùn sí àwọn gáàsì ìlànà náà, wọ́n sì máa ń ní àwọn èròjà tí kò dára. Àwọn èròjà wọ̀nyí lè yà sọ́tọ̀ kí wọ́n sì ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí orísun ìbàjẹ́. Síbẹ̀síbẹ̀, ìbòrí TaC ń dènà àwọn ìṣesí wọ̀nyí, ó ń jẹ́ kí ojú ilẹ̀ mọ́ tónítóní kí ó sì dúró ṣinṣin. Àwọn ìyípadà nínú àwọn àkókò ìtọ́jú sábà máa ń yọrí sí ìdínkù àwọn èròjà tí a kò retí tí olùṣiṣẹ́ náà ń kíyèsí, nígbà tí a bá lo àwọn ẹ̀yà tí a dáàbò bo TaC. Yàtọ̀ sí ìmọ́tótó, ìṣàn gáàsì jẹ́ ohun pàtàkì kan. Dídán tí ó sì dúró ṣinṣin ń jẹ́ kí gáàsì máa ṣàn dáadáa, dípò kí ó máa fa ìrúkèrúdò nítòsí òrùka. Àwọn èròjà kì í sábàá di àmùrè tàbí kí wọ́n máa fò kiri nínú yàrá tí ìṣàn gáàsì bá dúró ṣinṣin. Èyí yóò ran lọ́wọ́ láti máa tọ́jú àyíká gbogbogbòò láti ní ìṣàkóso púpọ̀ nígbà tí a bá ń ṣe iṣẹ́ ọnà fún ìgbà pípẹ́.

Àwọn Ọ̀ràn Lílo Ohun Èlò nínú Àwọn Ẹ̀rọ Ìtọ́jú Epitaxy àti Deposition Tó Ti Gíga Jùlọ

Ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ètò epitaxy àti deposition ní ìpele gíga ti ìṣàkóso yàrá ìpamọ́ láti fi àwọn ìpele tín-ín-rín ohun èlò sí orí àwọn wafers. Àwọn ìpele wọ̀nyí gbọ́dọ̀ jẹ́ déédé gan-an, wọ́n sì fẹ́rẹ̀ẹ́ jẹ́ ọ̀kan-náàkan láti àárín dé etí. Àwọn ètò wọ̀nyí sábà máa ń ní àwọn òrùka deflector tí a fi TaC bo láti rí i dájú pé àwọn ipò ètò tí ó dúró ṣinṣin nígbà tí ó bá ń lọ fún ìgbà pípẹ́ àti tí ó le koko. Fún àpẹẹrẹ, nínú iṣẹ́dá epitaxy SiC, a máa ń ṣe iṣẹ́ náà ní iwọ̀n otútù gíga lábẹ́ ìṣàn gaasi tí ń bá a lọ ti àwọn reactants. Láìsí ìṣàkóso ìṣàn tí ó dúró ṣinṣin, ìpele ìdàgbàsókè lè má ṣe déédé, ó sì lè yọrí sí àwọn ìyàtọ̀ nínípọn jákèjádò wafer. A máa ń tàn gaasi náà kárí ojú wafer náà dáadáa nípa lílo òrùka deflector tí a fi TaC bo. Èyí yóò yọrí sí ìdàgbàsókè tí ó rọrùn àti ipa etí tí ó dínkù èyí tí ó lè fa àwọn ìṣòro iṣẹ́ ẹ̀rọ lẹ́yìn ìdàgbàsókè. A lè lo èrò kan náà fún àwọn ètò ìpamọ́ GaN fún àwọn LED àti ẹ̀rọ itanna agbára. Àwọn ìlànà náà ní ìmọ̀lára gidigidi sí ìyàtọ̀ ti ìgbóná àti ìṣàn gaasi. Ìdúróṣinṣin díẹ̀ lè yọrí sí ìyàtọ̀ nínú dídára kristali. Fífi TaC bo ara rẹ̀ mú kí ìdènà sí ooru àti ìkọlù kẹ́míkà sunwọ̀n sí i, èyí tí yóò sì yọrí sí ìhùwàsí tí a lè sọtẹ́lẹ̀ ti yàrá náà lẹ́yìn ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìyípo. A nílò àtúnṣe yàrá déédéé nígbàkúgbà ní àwọn ìlà ìṣẹ̀dá kan nígbà tí a bá ń yípadà sí àwọn òrùka deflector tí a fi TaC bo. Èyí jẹ́ nítorí pé àwọn ojú inú àti àwọn ìrísí inú rẹ̀ kò yípadà fún ìgbà pípẹ́. Tí ìrísí yàrá náà bá dúró bákan náà, a lè ṣàtúnṣe àwọn ìlànà ìṣiṣẹ́ lẹ́ẹ̀kọ̀ọ̀kan. Ohun èlò mìíràn tí ó wúlò ni àwọn ètò ìṣiṣẹ́ ìpele níbi tí a ti ń ṣe àwọn ìpele wafers ní ìpele kan. Àwọn ètò wọ̀nyí nílò ìpínkiri ooru àti gáàsì kan náà lórí agbègbè tí ó pọ̀ sí i. Àwọn òrùka deflector tí a fi TaC bo ń ran lọ́wọ́ láti dín ìrúkèrúdò àti àwọn ibi gbígbóná kù láti jẹ́ kí ó rọrùn láti ṣàṣeyọrí ìṣọ̀kan gbogbo àwọn wafers nínú ìpele náà. Nínú ilé iṣẹ́ gidi, ìdúróṣinṣin yìí lè fara hàn ní ìrísí ìdínkù iye àwọn wafer tí a fi kọ sílẹ̀ àti ìyọrísí tí ó dúró ṣinṣin lórí àkókò. Ó tún ń ran lọ́wọ́ láti dín àkókò ìsinmi kù bí àwọn ẹ̀yà náà ṣe ń wà ní lílò fún ìgbà pípẹ́ kí a tó nílò láti yípadà tàbí kí a fọ̀ wọ́n mọ́. Fún gbogbo ènìyàn, àwọn òrùka deflector tí a fi TaC bo jẹ́ àwọn èròjà pàtàkì tí ó lè pa àwọn ètò epitaxy àti deposition mọ́ láti rí i dájú pé ìdúróṣinṣin àti ìpéye wà, pàápàá jùlọ fún iṣẹ́ semiconductor ìpele gíga.