Kí ni ó túmọ̀ sí SiC Coated Planetary Suscepter nínú MOCVD Epitaxial Production

Fún iṣẹ́ ṣíṣe MOCVD epitaxial, ohun èlò pàtàkì kan tí a fi SiC bo tí ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àti ìdarí wafer nínú ìlànà ìdàgbàsókè. A gbé ẹ̀rọ náà sí yàrá ìṣesí iwọ̀n otútù gíga, wafer náà sì ń yípo ní ipa ọ̀nà tí a gbèrò, gbogbo ojú wafer náà sì lè kan ìṣàn gaasi àti ooru náà déédé. A fi ìpele Silicon Carbide bo orí ohun èlò ìpìlẹ̀ láti jẹ́ kí ohun èlò ìpìlẹ̀ náà fara da lílò àti àkókò iṣẹ́ gígùn. Nínú àwọn ìlà ìṣelọ́pọ́ bíi, ìlà ìṣelọ́pọ́ LED chip tàbí ìlà ìṣelọ́pọ́ àwọn ẹ̀rọ agbára, ó ń ṣe ìrànlọ́wọ́ láti pa ojú wafer mọ́ ní ipò tí ó dúró ṣinṣin àti mímọ́. Iṣẹ́ tí ó tọ́ yóò dín ìwọ̀n àbùkù kù, yóò sì ṣe àtúnṣe ìwọ̀n dídára fíìmù náà sí ìpele fún àwọn olùṣe.

Apẹrẹ Suscepter Planetary ati Ipa Rẹ ninu Idagbasoke Epitaxial Kanṣoṣo

Ọ̀kan lára ​​àwọn ìṣòro tó máa ń wáyé nígbà tí a bá ń gbin àwọ̀ epitaxial pẹ̀lú MOCVD ni rírí i dájú pé gbogbo àwọ̀ wafer ni a gbìn lábẹ́ irú ipò kan náà láìka ipò tí àwọ̀ wafer náà wà nínú yàrá náà sí. Èyí dàbí ohun tó rọrùn, bó tilẹ̀ jẹ́ pé ètò tó ṣọ́ra ni a fi sínú ìṣípo rẹ̀. Ọ̀rọ̀ náà planetary wá láti inú òtítọ́ pé àwọ̀ wafer wà lórí díìsì kékeré kan tó ń yípo, a sì gbé e sí orí díìsì tó tóbi tó ń yípo yípo ibi ìyípo kan - irú bí àwọn pílánẹ́ẹ̀tì ṣe ń yí oòrùn ká. Èyí túmọ̀ sí wípé a ń lo ìyípo méjì láti ṣẹ̀dá ìṣọ̀kan. Tí a kò bá lo ètò yìí, àwọ̀ wafer náà yóò dàgbà ní ọ̀nà tó yàtọ̀ sí bí wọ́n ṣe wà lórí afẹ́fẹ́, pẹ̀lú àwọn tó sún mọ́ ẹnu ọ̀nà gáàsì àti àárín gáàsì náà ní ìrísí ìdàgbàsókè tó yàtọ̀ sí àwọn tó sún mọ́ etí àwọ̀ wafer náà. Fún ẹ̀rọ tí a fẹ́, àwọn LED tàbí àwọn semiconductors power, ipa èyí lè jẹ́ ìyàtọ̀ nínú sísanra àwọn ìpele tí a gbìn, èyí tí kò dára. A sábà máa ń lo graphite ṣùgbọ́n a fi silicon carbide bò ó, èyí tí ó ń dènà ìṣesí rẹ̀ pẹ̀lú àwọn gáàsì ilana náà, ó sì tún ń ràn án lọ́wọ́ láti dúró ní dídán nígbà tí ó bá ń lọ ní ìwọ̀n otútù gíga, ó tún ń mú kí dídára wafer dúró ṣinṣin bí àwọn ìyàtọ̀ díẹ̀ nínú ìṣètò ojú ilẹ̀ ṣe ń nípa lórí dídára wafer náà. Nínú ìlà ìṣelọ́pọ́ gidi bíi ìlà ìṣelọ́pọ́ LED, àwọn olùṣiṣẹ́ máa ń gbé ọ̀pọ̀lọpọ̀ wafers sínú yàrá kan láti fi àkókò pamọ́, wọ́n sì lè gba ìdàgbàsókè tó fẹ́rẹ̀ẹ́ jọra lórí gbogbo wafers nípa lílo suscepter pílánẹ́ẹ̀tì, èyí tí ó ṣe pàtàkì nítorí pé ó ní ipa lórí bí àwọn LED ṣe mọ́lẹ̀ tó tàbí bí ẹ̀rọ náà ṣe ṣiṣẹ́ dáadáa tó. Àwọn nǹkan mìíràn bíi ipa ọ̀nà ìṣàn gaasi, àlàfo láàárín àwọn wafers àti iyàrá yíyípo náà tún jẹ́ àwọn ohun tí ó wà nínú àwòrán tí ó dára. Nígbà tí ó bá lọ́ra jù, ìṣọ̀kan náà máa ń dínkù. Yára jù lè fa ìwọ́ntúnwọ̀nsì ìwọ̀n otútù láti yọ. Lọ́pọ̀ ìgbà, onímọ̀ ẹ̀rọ ni ó ń ṣe àtúnṣe àwọn ètò wọ̀nyí, ó sinmi lórí ohun tí a ń gbìn. Nígbà lílò déédéé, suscepter pílánẹ́ẹ̀tì tí a ṣe lọ́nà ọgbọ́n ń ṣiṣẹ́ láìsí ìró. Sibẹsibẹ, o ni ipa pataki labẹ ibori ilana iṣelọpọ, rii daju pe o duro ṣinṣin ati pe o le tun ṣe, ni ipele lẹhin ipele.

Àwọn àǹfààní ti Àwọn Àwọ̀ SiC fún Ìṣọ̀kan Òórùn àti Ìdúróṣinṣin Ẹ̀rọ

Ibora silikoni carbide (SiC) kii ṣe ohun ti o n da duro fun ifihan ṣugbọn apakan pataki ti iṣẹ ti suscepter kan ninu yara MOCVD kan. Ni iwọn otutu giga o nira. Awọn ẹya graphite ti ko ni aabo le bajẹ lori akoko nitori awọn ipa ti ooru, awọn gaasi ti n ṣiṣẹ, ati awọn akoko iṣẹ pipẹ. Sic ti a bo Ó dà bí ìhámọ́ra, ó ń dáàbò bo ojú ilẹ̀ kódà lẹ́yìn ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìyípo iṣẹ́-ṣíṣe. Ọ̀kan lára ​​àwọn àǹfààní rẹ̀ tó ga jùlọ ni agbára rẹ̀ láti gbé ìṣọ̀kan ooru lárugẹ. Láti mú kí àwọn fíìmù tín-tín dàgbà ní ìbámu, àwọn fáìlì gbọ́dọ̀ wà ní ìwọ̀n otútù kan náà nínú yàrá náà. Nígbà tí a bá gbóná fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ ohun èlò náà ní ìwọ̀n tó yàtọ̀ síra ní àwọn agbègbè tó yàtọ̀ síra, fáìlì náà lè má di ọ̀kan. SiC máa ń yọrí sí ìpínkiri ooru tó dọ́gba lórí ojú ìdènà. Ó ń ṣe èyí nítorí pé ó ní agbára ìgbóná tó dára àti pé ojú náà jẹ́ èyí tó dúró ṣinṣin tí kì í yípadà ní ìrọ̀rùn nígbà tí a bá fi ooru sí i. Èyí ń ran lọ́wọ́ láti dín ìyàtọ̀ wáfer-sí-wafer kù nínú iṣẹ́-ṣíṣe gidi, pàápàá jùlọ nígbà tí a bá ń lo ọ̀pọ̀lọpọ̀ fáìlì ní àkókò kan náà. Àǹfààní pàtàkì mìíràn ni ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ rẹ̀. Nígbà tí a bá gbóná àwọn ohun èlò tí a sì tutù léraléra, wọ́n máa ń fẹ̀ sí i, wọ́n sì máa ń dì. Èyí lè fa ìfọ́ kékeré tàbí ojú tó le koko nínú àwọn ohun èlò tó lágbára ní ọ̀pọ̀ ọdún. Ìbòrí SiC kò fara mọ́ àwọn ìyípadà wọ̀nyí. Ó dúró ṣinṣin, ó sì ń dáàbò bo graphite tó wà lábẹ́ rẹ̀. Èyí ṣe pàtàkì ní àwọn ilé iṣẹ́ tí wọ́n ní iṣẹ́-ṣíṣe tó ń bá a lọ, àkókò ìparẹ́ fún ìyípadà apá kan lè dín ohun gbogbo kù. Dídára àwọn fáìlì náà lè yàtọ̀ díẹ̀ nínú LED tàbí àwọn ẹ̀rọ agbára, ó sì ní ipa lórí iṣẹ́ ẹ̀rọ náà. Lílo ohun tí a fi SiC bo tí ó dúró ṣinṣin yóò dín àwọn ewu wọ̀nyí kù nípa ṣíṣe àtúnṣe àyíká tí ó túbọ̀ ṣeé sọtẹ́lẹ̀ nínú yàrá náà. A tún mọ̀ pé ìbòrí náà ní àwọn ìṣòro ìṣiṣẹ́ díẹ̀ pẹ̀lú ìbàjẹ́ pàtákì nítorí pé ó dín ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ tí ó lè mú àwọn pàtákì tí a kò fẹ́ jáde kù. Ní ti gidi, èyí túmọ̀ sí àkókò ìsinmi díẹ̀, dídára fáfá tí ó dára jù, àti ilana ìṣelọ́pọ́ tí ó rọrùn. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé kì í ṣe ohun tí a lè lò jùlọ, Cvd sic oruka ìbòrí jẹ́ kókó pàtàkì ti ìwọ́ntúnwọ̀nsì ooru àti agbára ìṣètò, àwọn méjèèjì sì ṣe pàtàkì fún gbogbo ìlànà MOCVD.

Ibamu pẹlu GaN-Iwọn didun giga ati Iṣelọpọ LED

Àwọn ohun tí a fi SiC bo tí a fi bo ojú ọ̀run dára fún ṣíṣe àwọn ọjà GaN àti LED ní ìwọ̀n gíga nítorí agbára wọn láti kojú àtúnṣe. A kò ṣe àwọn ìpele kékeré lórí àwọn ìlà ìṣẹ̀dá wọ̀nyí. Wọ́n lè ṣiṣẹ́ ọgọ́rọ̀ọ̀rún àwọn wafers lójoojúmọ́, wọ́n sì ní ìwọ̀n tó sún mọ́ra gan-an àti àwọn ìlànà ìṣọ̀kan. Ìyàtọ̀ ìmọ́lẹ̀ LED tàbí pípadánù iṣẹ́-ṣíṣe ti àwọn ẹ̀rọ agbára GaN lè hàn nígbà tó bá yá tí ìyàtọ̀ díẹ̀ bá wà nínú iṣẹ́. Ìwọ̀n otútù ìdàgbàsókè ga, kẹ́míkà gáàsì sì lágbára ní ti ìdàgbàsókè GaN. Wafer sic Ìbòrí náà ń jẹ́ kí afẹ́fẹ́ náà kojú àwọn ipò wọ̀nyí láìsí pé ó ń tú àwọn èròjà jáde tàbí ó ń tú wọn jáde. Èyí ṣe pàtàkì nítorí pé bó tilẹ̀ jẹ́ pé ìwọ̀n ìbàjẹ́ náà kéré tó, ó lè ní ipa lórí dídára kírísítàlì. Èyí lè túmọ̀ sí ìyàtọ̀ nínú ìyọrísí ìmọ́lẹ̀ láti agbègbè kan lórí wáfà sí òmíràn fún àwọn olùṣe LED, èyí tí yóò yọrí sí ìdínkù èso. Àǹfààní mìíràn ti àwọn afẹ́fẹ́ tí a fi SiC bo nínú iṣẹ́jade iwọn didun gíga ni pé ó dúró ṣinṣin ní gbogbo ìgbà gígùn. Nínú ilé iṣẹ́ ìṣelọ́pọ́ LED déédéé, àwọn ohun èlò ń ṣiṣẹ́ ní gbogbo ìgbà. Àwọn ẹ̀yà tí ó ń yí tàbí tí ó ń bàjẹ́ kíákíá yóò nílò ìdádúró déédéé fún ìtọ́jú. SiC ń pa àwọ̀ ojú ilẹ̀ mọ́ déédé, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń pa ipò wáfà mọ́ láti sáré sí sáré. Ìdúróṣinṣin náà mú kí ó rọrùn fún àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ láti máa ṣe àtúnṣe àwọn ìlànà fún ìdàgbàsókè láìsí pé wọ́n ń yí wọn padà ní gbogbo ìgbà. Nínú ilé iṣẹ́ gidi, àwọn olùṣiṣẹ́ lè máa gbé àpò wáfà gbogbo láti gba agbára tó pọ̀ jùlọ. Ìṣípò ti àwo afẹ́fẹ́ àti ìbòrí SiC rí i dájú pé gbogbo wáfà náà fara hàn sí ooru àti gáàsì kan náà. Èyí dín ìyàtọ̀ láàárín àwọn wafers kù ní àkókò pàtó kan, èyí sì jẹ́ dídára pàtàkì tí a bá fi ẹgbẹẹgbẹ̀rún ẹ̀rọ ránṣẹ́ sí àwọn oníbàárà fún ìṣọ̀kan iṣẹ́ wọn. Yàtọ̀ sí èyí, ó ṣeé ṣe láti fi owó pamọ́. Àwọn ẹ̀yà tí a fi SiC bo jẹ́ iye owó gíga ní ìbẹ̀rẹ̀, ṣùgbọ́n wọ́n nílò ìfọ́ díẹ̀, wọ́n sì lè pẹ́ tó. Fún iṣẹ́ LED oníwọ̀n gíga, ìdàgbàsókè díẹ̀ nínú èso rẹ̀ yóò di pàtàkì bí àkókò ti ń lọ. Láti ṣàkópọ̀, àwọn ohun tí a fi SiC bo ní pílánẹ́ẹ̀tì yẹ fún ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ GaN àti LED nítorí agbára wọn láti dàgbàsókè ní ọ̀nà tí ó dúró ṣinṣin, tí a lè tún ṣe àti pẹ̀lú àkókò ìṣelọ́pọ́ gígùn láìsí ìdádúró.

Iye owo ati awọn ero ti o gbẹkẹle ninu yiyan awọn ohun elo ti o ni ipa lori aye

Nígbà tí a bá ń yan ohun èlò ìtọ́jú ara pílánẹ́ẹ̀tì fún iṣẹ́ MOCVD, iye owó àti ìgbẹ́kẹ̀lé sábà máa ń lọ papọ̀. Ní àkọ́kọ́, ẹnìkan lè ronú láti wo iye owó tí a rà á nìkan. Ṣùgbọ́n, ní ilé iṣẹ́ gidi, iye owó ìṣiṣẹ́ gbogbogbò lè yàtọ̀. Ohun èlò ìtọ́jú ara tó kéré síi lè ṣiṣẹ́ ní ìbẹ̀rẹ̀ ṣùgbọ́n tí ó bá yọrí sí ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìkùnà wafer tàbí àìdúróṣinṣin wafer tí kò dára, àdánù iṣẹ́ náà lè kó jọ kíákíá ju bí ohun èlò ìtọ́jú ara ṣe ń pẹ́ lọ. Àwọn ohun èlò tí a ti ṣòfò, àkókò àfikún àti àkókò ìtọ́jú ara ẹ̀rọ ń yọrí sí láti inú gbogbo ìpele àwọn wafer tí ó ní àbùkù. Nínú àwọn ohun èlò tí a ń béèrè fún gíga bíi iṣẹ́ ẹ̀rọ LED tàbí GaN, àkókò ìtọ́jú ara gígùn lè fa ìṣòro ìfijiṣẹ́. Àwọn ohun èlò ìtọ́jú ara tí a fi SiC bo sábà máa ń ní iye owó àkọ́kọ́ tí ó ga jù ṣùgbọ́n a tún ṣe é fún lílò fún ìgbà pípẹ́. Ipele silicon carbide ń lé ìkọlù kẹ́míkà àti ìfọ́ ojú ilẹ̀ ti ohun èlò ìpìlẹ̀ náà kúrò. Èyí yóò dènà ohun èlò ìtọ́jú ara láti yí ìrísí padà tàbí kí ó bàjẹ́ ní gbogbo ìgbà tí a bá ti lo àwọn ìgbòkègbodò ìgbóná àti ìtútù. Tí ojú ilẹ̀ náà bá dúró ṣinṣin, nígbà náà ìṣíkiri wafer àti ìwọ̀n otútù rẹ̀ yóò tún ṣeé sọtẹ́lẹ̀. Ìgbẹ́kẹ̀lé ju àkókò iṣẹ́ lọ. Ó tún kan ìṣọ̀kan àwọn àbájáde láti ìpele kan sí òmíràn. Ní àyíká iṣẹ́, ẹnìkan sábà máa ń fẹ́ láti lo apá kan tí ó ń mú ìṣẹ̀dá kan náà jáde ní àkókò ju apá kan tí ó ní ìṣẹ̀dá rere ní ìbẹ̀rẹ̀ lọ. Olùtọ́jú tí ó dúró ṣinṣin lè dín àìní láti ṣe àtúnṣe ohunelo déédéé kù kí àwọn olùṣiṣẹ́ lè fi àkókò pamọ́ kí ewu iṣẹ́ náà sì dínkù. Ètò ìtọ́jú náà tún jẹ́ ọ̀ràn kan. Bí iṣẹ́ àtúnṣe bá ṣe pẹ́ tó láàárín àwọn ìyípadà, bẹ́ẹ̀ ni olùtọ́jú náà yóò ṣe túbọ̀ ṣeé gbẹ́kẹ̀lé. Èyí mú kí ó rọrùn fún àwọn ilé iṣẹ́ láti ṣètò àkókò ìsinmi dípò kí wọ́n kojú àwọn ìkùnà tí a kò retí. Ó jẹ́ kókó pàtàkì nínú àṣeyọrí ìdúróṣinṣin ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ìlà iṣẹ́ LED láti ṣe àtìlẹ́yìn àwọn àfojúsùn ìṣẹ̀dá. Níkẹyìn, a nílò láti gbé iye owó yẹ̀wò pẹ̀lú ìgbẹ́kẹ̀lé àti iṣẹ́ àṣeyọrí. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ó lè wọ́n jù, olùtọ́jú tí yóò pẹ́ tó sì pèsè àwọn ipò ìdàgbàsókè tí ó dúró ṣinṣin lè pèsè ìníyelórí gbogbogbòò tí ó ga jù.