Òrùka seramiki kan ṣoṣo 0200-04877

A sábà máa ń lo àwọn ohun èlò ìṣẹ́dá AMAT 0200-04877 Single Ring nínú àwọn yàrá ìṣẹ́dá plasma tàbí deposition rooms láàárín àwọn pẹpẹ ẹ̀rọ ìṣelọ́pọ́ semiconductor. Ní ti ètò, ó jẹ́ ara ẹ̀ka àwọn ohun èlò ìṣẹ́dá seramiki yàrá tí a ṣe láti ṣe àtìlẹ́yìn fún ìdènà plasma, ìbáramu ilana ẹ̀gbẹ́, àti ààbò yàrá.

A maa n so ẹya ara yii pọ mọ:

●Àwọn Ètò Ẹ̀rọ Pílásmà

●Àwọn yàrá DPS (Orísun Plasma tí a ti tú síta)

●Ẹ̀rọ HDP-CVD

●Àwọn Pẹpẹ Ìṣiṣẹ́ Semiconductor Tó Tẹ̀síwájú

Ìṣẹ̀dá àti Àwọn Àǹfààní Ohun Èlò

Iṣẹ́ òrùka seramiki semiconductor kan da lori mimọ ohun elo rẹ̀, iduroṣinṣin dielectric, ati awọn abuda resistance plasma. A maa n ṣe awọn seramiki AMAT 0200-04877 Single Ring pẹlu awọn ohun elo seramiki giga ti a ṣe apẹrẹ fun awọn agbegbe iṣiṣẹ plasma lile.

Ti o da lori awọn ibeere ilana kan pato, awọn eto ohun elo ti o wọpọ le ni:

● Alumina Mímọ́ Gíga (Al₂O₃)

●Àwọn ohun èlò ìpara tí a fi Y₂O₃ bò

●Nitride Aluminium (AlN)

●Àwọn ohun èlò ìṣẹ́ amọ̀ Silicon Carbide (SiC)

Láàrín ìwọ̀nyí, alumina tó mọ́ tónítóní ṣì jẹ́ ọ̀kan lára ​​àwọn ohun èlò tó gbajúmọ̀ jùlọ nítorí pé ó ní ìwọ́ntúnwọ́nsí tó dára jùlọ nínú iṣẹ́ ìdábòbò, agbára ìdúróṣinṣin plasma, àti ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ.

1. Idaabobo Plasma to dara julọ

Nínú àwọn àyíká plasma tí ó ní fluorine bíi CF₄, NF₃, àti C₄F₈, àwọn ẹ̀yà yàrá náà máa ń fara hàn sí ìbọn ion àti àwọn ohun tí ń fa ìyípadà nínú ara. Àwọn ohun èlò seramiki tí ó ní ìmọ́tótó gíga máa ń pèsè ìdènà gíga sí ìfọ́ ẹ̀jẹ̀, èyí tí ó ń ran lọ́wọ́ láti dín ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ kù kí ó sì mú kí àwọn ẹ̀yà ara pẹ́ sí i.

2. Ìṣẹ̀dá Pátákì Kéré

Ìbàjẹ́ patiku jẹ́ ọ̀kan lára ​​​​àwọn ìpèníjà pàtàkì jùlọ nínú iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor. Ṣíṣe seramiki tó péye àti ṣíṣe àtúnṣe ojú ilẹ̀ tó dára ń dín ìtújáde patiku kù nígbà iṣẹ́ yàrá ìgbà pípẹ́, èyí sì ń mú kí ìpèsè wafer dára síi àti ìdúróṣinṣin iṣẹ́ náà.

3. Ìdènà Iná Mànàmáná Tó Tayọ̀

A ṣe àwọn ohun èlò òrùka seramiki pẹ̀lú àwọn ohun ìní dielectric tó dúró ṣinṣin tí ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìpínkiri pápá RF tí a ṣàkóso nínú yàrá náà. Èyí ń ran lọ́wọ́ láti pa ìṣọ̀kan plasma mọ́ nígbàtí ó ń dènà ìdènà iná mànàmáná tí a kò fẹ́ nígbà tí a bá ń ṣe iṣẹ́ plasma oníwọ̀n gíga.

4. Iduroṣinṣin Gbona giga

Àwọn ohun èlò amọ̀ tí ó ti pẹ́ ní ìpele yìí máa ń jẹ́ kí ìrísí ara wọn wà ní ìpele tó ga ju bí ó ti yẹ lọ àti lábẹ́ àwọn ipò ìṣiṣẹ́ líle koko. Àwọn ànímọ́ ìyípadà ooru wọn tí ó kéré máa ń ran wọ́n lọ́wọ́ láti pa ìdúróṣinṣin àti ìtúnṣe ìlànà mọ́ lórí àwọn àkókò iṣẹ́ tí ó gùn.

5. Ìmọ́tótó Kẹ́míkà Tó Tayọ̀

A ṣe àwọn ohun èlò seramiki ìpele semiconductor pẹ̀lú àwọn ìpele àìmọ́ tí a ṣàkóso dáadáa láti dín ewu ìbàjẹ́ kù nínú àwọn ohun èlò ṣíṣe wafer iwájú, èyí tí ó mú kí wọ́n dára fún àwọn àyíká ìṣe semiconductor tó ti ní ìlọsíwájú.

Ipo ati Iṣẹ́ Ninu Awọn Ẹrọ Semiconductor

Nínú àwọn yàrá plasma semiconductor, àwọn ohun èlò ìṣẹ́dá AMAT 0200-04877 Single Ring sábà máa ń wà ní àyíká agbègbè ìṣiṣẹ́ wafer, nígbà míìrán wọ́n máa ń wà nítòsí electrostatic chuck (ESC) tàbí ibi ìdènà plasma.

Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ìṣètò rẹ̀ kéré, pàtàkì iṣẹ́ rẹ̀ ṣe pàtàkì.

Ọ̀kan lára ​​àwọn iṣẹ́ pàtàkì rẹ̀ ni láti ṣe ìrànlọ́wọ́ láti ṣàkóso ìpínkiri plasma nítòsí etí wafer. Nínú àwọn iṣẹ́ semiconductor tó ti ní ìlọsíwájú, àní àwọn ìyàtọ̀ kékeré nínú ìwọ̀n plasma etí le fa ìyàtọ̀ profaili, àìdọ́gba ìwọ̀n pàtàkì, tàbí àwọn ipò lórí edge over-etch. Òrùka seramiki náà ń ran àyíká plasma agbègbè lọ́wọ́ láti dúró ṣinṣin, ó ń mú kí ìṣọ̀kan ilana eti pọ̀ sí i àti láti mú kí ìṣẹ̀dá wafer lápapọ̀ pọ̀ sí i.

Ni afikun, oruka naa n ṣiṣẹ gẹgẹbi idena aabo laarin pilasima ati awọn ẹya pataki ti iyẹwu. Nipa fifipamọ awọn oju ti o wa ni ayika kuro ninu bombu ion taara, o ṣe iranlọwọ lati dinku ibajẹ yara ati dinku igbohunsafẹfẹ itọju.

Àwọn ohun ìní dielectric ti ohun èlò seramiki náà tún ń ṣe àfikún sí ìṣàkóso pápá RF nínú yàrá náà. Níwọ́n ìgbà tí ìwà plasma ní í ṣe pẹ̀lú ìpínkiri impedance àti ìṣẹ̀dá àwọ̀, geometry àti àwọn ànímọ́ ohun èlò ti òrùka seramiki náà ní ipa tààrà lórí ìdènà plasma àti ìṣàkóso ion trajectory.

Bí àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ semiconductor ṣe ń tẹ̀síwájú sí àwọn ihò kéékèèké àti àwọn ètò ẹ̀rọ tó díjú sí i, ìdúróṣinṣin ilana yàrá túbọ̀ ń gbára lé àwọn ohun èlò tó ṣe kedere bíi àwọn òrùka seramiki. Nítorí èyí, a kà AMAT 0200-04877 Single Ring Ceramics sí ohun pàtàkì nínú ìṣàkóso ilana plasma nínú àwọn ètò ìṣelọ́pọ́ semiconductor òde òní.