EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Semikondokito kuotisi iwẹ
Awọn alaye apejuwe:
1.Other awọn orukọ: Semikondokito quartz tanki, quartz iwẹ fun semikondokito, kuotisi ojò fun semikondokito.
2.Application: Semikondokito Quartz Bath jẹ mimọ-giga, paati ipata-ipata ti a ṣe apẹrẹ pataki fun ṣiṣe mimọ ati ṣiṣe kemikali ni iṣelọpọ semikondokito. Ti a ṣe apẹrẹ fun ibamu pẹlu eto WS-620C/WS-820C/WS-820L, iwẹ quartz yii n ṣiṣẹ labẹ awọn ipo iwọn otutu giga (to 175 ° C) ati pe o jẹ iṣapeye fun lilo pẹlu phosphoric acid (H₃PO₄) awọn solusan, aridaju iṣẹ ṣiṣe ti o ṣe pataki ni awọn ilana imukuro pataki.
3. Awọn paramita koko:
Quartz ti a dapọ (> 99.99% SiO₂).
Inertness kemikali Iyatọ si H₃PO₄ (phosphoric acid) ni awọn iwọn otutu ti o ga, idilọwọ ibajẹ tabi iran patiku.
Fojusi iṣẹ lilọsiwaju ni 160°C ati awọn iwọn otutu ti o ga julọ ti 175°C, mimu iduroṣinṣin igbekalẹ ati iduroṣinṣin iwọn.
Apejuwe
Semiconductor Quartz Bath jẹ mimọ-giga, paati sooro ipata pataki ti a ṣe apẹrẹ fun mimọ deede ati iṣelọpọ kemikali ni iṣelọpọ semikondokito. Ti a ṣe apẹrẹ fun ibamu pẹlu eto WS-620C/WS-820C/WS-820L, iwẹ quartz yii n ṣiṣẹ labẹ awọn ipo iwọn otutu giga (to 175 ° C) ati pe o jẹ iṣapeye fun lilo pẹlu phosphoric acid (H₃PO₄) awọn solusan, aridaju iṣẹ ṣiṣe ti o ṣe pataki ni awọn ilana imukuro pataki.
Key Awọn ẹya ara ẹrọ
Ohun elo Superioriority
Quartz mimọ-giga: Ti a ṣelọpọ lati quartz dapo sintetiki (> 99.99% SiO₂), aridaju ibajẹ ti o kere ju ati resistance si mọnamọna gbona.
Acid Resistance
Inertness kemikali Iyatọ si H₃PO₄ (phosphoric acid) ni awọn iwọn otutu ti o ga, idilọwọ ibajẹ tabi iran patiku.
Iduroṣinṣin Gbona
Fojusi iṣẹ lilọsiwaju ni 160°C ati awọn iwọn otutu ti o ga julọ ti 180°C, mimu iduroṣinṣin igbekalẹ ati iduroṣinṣin iwọn.
Awọn anfani iṣẹ
Iṣakoso idoti: Ipari dada didan ni o dinku ifaramọ patiku, pataki fun awọn ilana ipade apa-micron semikondokito.
Igbesi aye gigun: Quartz ká resistance si ipata acid ati rirẹ gbigbona fa igbesi aye iṣẹ pọ si, idinku akoko idinku ati awọn idiyele itọju.
Aitasera ilana: Idurosinsin ele ina elekitiriki ṣe idaniloju pinpin iwọn otutu aṣọ ile, imudara ṣiṣe mimọ ati atunlo.
Kini idi ti o yan Semixlab's Semiconductor Quartz Bath?
Didara Ipe Semikondokito: Ti ṣejade ni agbegbe mimọ lati pade awọn iṣedede SEMI.
Awọn Solusan Ti a Tii: Awọn aṣa aṣa ti o wa lati baamu awọn ibeere ilana kan pato.
Igbẹkẹle: Idanwo didara lile ṣe idaniloju ibamu pẹlu awọn ibeere ile-iṣẹ semikondokito.
ni pato
| Darí ohun ini | Ìwúwo (g/cm3) | 2.2 |
| Líle Mohs | 6-7 | |
| Agbara fisinu (MPa) | 1100 | |
| Agbara fifẹ (N/mm2) | 50 | |
| Agbara iyipada (N/mm2) | 65 | |
| Agbara torsional (N/mm2) | 30 | |
| modulus ọdọ (MPa) | 7.2x104 | |
| Poisson ipin | 0.16 | |
| Awọn ohun-ini igbona | Olusọdipúpọ ti imugboroosi gbona (20 ~ 320 ℃, k-1) | 5.5x10-7 |
| Imudara igbona (20℃, W·m-1k-1) | 1.4 | |
| Ooru kan pato (20℃, J·kg-1k-1) | 670 | |
| Aaye rirọ (℃) | 1700 | |
| Ojuami mimu (℃) | 1180 | |
| Aaye igara (℃) | 1080 | |
| Itanna ohun ini | Atako itanna (Ω·m) | 1x1016(20 ℃) |
| Dielectric ibakan (10GHz) | 3.74 | |
| Pipadanu Dielectric (10GHz) | 0.0002 | |
| Agbara Dielectric (V·m-1) | 3.7x107 |
ohun elo
Wafer Cleaning: Yiyọ ti photoresist, iṣẹku, ati contaminants ni H₃PO₄-orisun solusan post-etching tabi lithography.
Awọn ilana Ooru-giga: Dara fun awọn igbesẹ iṣelọpọ semikondokito to ti ni ilọsiwaju ti o nilo awọn kemistri ibinu ni awọn iwọn otutu ti o ga.
Ibamu: Apẹrẹ fun WS-620C/WS-820C/ WS-820L eto ni fabs producing kannaa, iranti, tabi agbara awọn ẹrọ.
