Ileru fifẹ gbigbona fun isopọ irugbin SiC kristali

Ìsopọ̀ kirisita irugbin jẹ́ ọ̀kan lára ​​àwọn ìlànà pàtàkì tó ń nípa lórí ìdàgbàsókè kirisita. Ní ìbámu pẹ̀lú àwọn ànímọ́ ìsopọ̀ kirisita irugbin, Semixlab ti ṣe àgbékalẹ̀ àwọn ohun èlò ìtẹ̀wé afẹ́fẹ́ pàtàkì fún ìsopọ̀ kirisita irugbin. Ohun èlò yìí dín àwọn àbùkù tó ń wáyé nígbà tí a bá ń so pọ̀ kù dáadáa, èyí sì ń mú kí ìsopọ̀ kirisita irugbin àti dídára rẹ̀ sunwọ̀n sí i.

Ⅰ. Ifihan si Awọn Ẹrọ Isomọ Gbona ti Irugbin Crystal

1. A lo fun isopọmọ kirisita irugbin ṣaaju idagbasoke kirisita SiC;

2. Àwọn irúgbìn tí a so pọ̀ máa ń dì mọ́ ara wọn ní 2300°C láìsí ìyàsọ́tọ̀, wọ́n sì máa ń ní ìsopọ̀ tí kò ní sífófó 100% pẹ̀lú fífẹ̀ gíga àti àwọn ojú ibi tí a ti lè fi wáfà ṣe tí kò ní ìfàmọ́ra.

3. Atẹ igbona naa lo igbona resistance iru disiki, o rii daju pe pinpin iwọn otutu kan naa, iṣẹ ailewu, ati mimu ti o rọrun fun olumulo;

4. Àwọn sensọ titẹ tí a gbé kalẹ̀ lábẹ́ atẹ náà ń fi ìwọ̀n tí a fi sí ibi iṣẹ́ náà hàn ní pàtó.

II. Àkópọ̀ Iṣẹ́ ti Ohun Èlò Ìtẹ̀wé Gbóná fún Ẹ̀rọ Ìmúlétutù Sísítà Kírísítà

A ṣe apẹrẹ Semixlab Seed Crystal Vacuum Hot Press Furnace fun titẹ gbigbona ti awọn kirisita irugbin silikoni carbide ti a ṣe iranlọwọ fun vacuum.

1. Yàrá irin tí a fi omi tutu ṣe tí ó ní ìpele méjì dín ooru ojú ilé ìtura kù dáadáa, ó dín ewu ooru gíga kù, ó sì dín ipa àyíká kù;

2. Ó lè lo ìfúnpá àti dídìmọ́ ara ẹni, kíkó ẹrù díẹ̀díẹ̀, àti yíyọ kúrò pẹ̀lú ìṣàkóso aládàáṣiṣẹ;

3. Awọn iṣeto eto igbale oniruuru gba laaye yiyan awọn ipele igbale oriṣiriṣi da lori awọn ibeere ilana;

4. Pínpín titẹ deedee ati deede iṣakoso iwọn otutu giga;

5. Ohun elo titẹ nlo awọn ilana titẹ ẹrọ titọ deede fun ifijiṣẹ titẹ deede, iduroṣinṣin, rii daju pe iṣẹ ailewu ati ibamu ayika;

6. Ìsopọ̀ gbogbogbòò láàárín orí títẹ̀ òkè àti ọ̀pá títẹ̀ mú kí ó ṣeé ṣe láti ṣe àtúnṣe láàárín orí òkè àti atẹ ìsàlẹ̀ nígbà títẹ̀, èyí sì ń mú kí ìpínkiri ìfúnpá wà ní ìṣọ̀kan;

7. Ori titẹ oke pẹlu ohun elo titẹ titari fun ifijiṣẹ agbara ti o dan, ti o rọra laisi ipa, idilọwọ fifọ iṣẹ-ṣiṣe;

8. Àwọn sensọ iwọn otutu tí a so pọ̀ mọ́ àwo gbigbe ooru pẹ̀lú olùdarí iwọn otutu, èyí tí ó ń jẹ́ kí ìwọ̀n otutu gbígbóná àti ìṣàkóso ètò náà péye;

9. Paleti ati ori titẹ oke ni a fi awọn ẹrọ idabobo kun lati dinku pipadanu ooru.

Ⅲ. Iṣẹ́ àti Àwọn Ẹ̀yà Ara Ohun Èlò Títẹ̀ Sísun Semixlab Crystal Vacuum Hot Pressing

1. Ìyọkúrò ìfàsẹ́yìn díẹ̀díẹ̀ pẹ̀lú ìwọ̀n ìfúnpọ̀ tí a ṣàkóso;

2. Yàrá ńlá fún agbára ìgbéga púpọ̀;

3. Ori titẹ ti o duro ṣinṣin pẹlu iṣẹ adaṣe;

4. Ìdarí ìfúnpọ̀ àti ìtúsílẹ̀ pẹ̀lú ìtẹ̀síwájú ìfúnpọ̀ àti ìlànà ohunelo;

5. Iṣakoso iwọn otutu deedee pẹlu iwọn otutu ti a le ṣeto ati awọn iyipo titẹ;

6. A le ṣe àtúnṣe ìgbálẹ̀, ìfúnpá, àti àwọn ìlànà ìgbóná ara fún onírúurú ìlànà ìsopọ̀;

7. Ìsopọ̀ tó lágbára pẹ̀lú àwọn nọ́ńbà òfo;

8. Ìwọ̀n ìfọ́ tó kéré gan-an—ó fẹ́rẹ̀ẹ́ má sí ìfọ́ tó ń fa ìfọ́ tí ẹ̀rọ náà fà;

9. Ibamu: Ṣe atilẹyin fun awọn wafers 6-12 inch;

10. Titẹ isalẹ ti o pọ julọ: 1.6 T;

11. Àìsí omi tó ga jùlọ: 5 Pa (òtútù);

12. Iṣọ̀kan iwọn otutu ti o n mu ki ibi igbona gbona: <±3℃, σ<4 (ni 200℃);

13. Ìyípadà nínú ìfúnpá: <0.5%.

Awọn ipele ti ileru titẹ gbigbona fun isopọ irugbin