gbogbo awọn Isori
Ohun elo Idagbasoke SiC Crystal
SiC gara idagbasoke aise ohun elo
SiC gara idagbasoke aise ohun elo

SiC gara idagbasoke aise ohun elo


Ibi ti Oti: China
Brand Name: Semixlab
Awoṣe Number: CVD SiC
iwe eri: ISO 9001
Kere Bere fun opoiye: Awọn kgs diẹ (ṣe atilẹyin ipele R&D rira ipele kekere)
Iye: Ṣe akanṣe awọn agbasọ si awọn pato ṣe atilẹyin awọn aṣẹ mimọ giga (≥99.9999%)
Apoti alaye: Gaasi inert ti o ga julọ ti a fi edidi igo, ẹri-ọrinrin ati apo bankanje aluminiomu anti-oxidation
Akoko Ifijiṣẹ: Awọn ọjọ 7-15 (boṣewa) / 20-30 ọjọ (agbekalẹ aṣa)
Owo ofin: T / T (50% ilosiwaju, 50% ṣaaju ifijiṣẹ)
Ipese Agbara: Agbara iṣelọpọ oṣooṣu 500kg, atilẹyin mimọ giga (≥99.9999%) awọn aṣẹ
Apejuwe

Ohun elo aise ti idagbasoke gara siC jẹ ohun elo ilọsiwaju tuntun ti o dagbasoke nipasẹ Semixlab. Ẹya akọkọ jẹ bulọki CVD SiC. Didara SiC kristali ẹyọkan ti o dagba nipasẹ ohun elo aise jẹ o tayọ ati pe o ni ipele asiwaju ninu ile-iṣẹ naa.

Ọja mojuto imọlẹ

Subversive igbaradi ilana

Lilo imọ-ẹrọ CVD itọsi olominira (itọsi No. : ZL2024XXXXXX), methyl trichlorosilane (MTS) bi iṣaju, lati ṣaṣeyọri:

Mimo> 99.9995% (GDMS lapapọ igbekale ipilẹ)

Nitrogen akoonu ≤0.09ppm (ko si afikun ìwẹnumọ)

Iwọn patiku 4-10mm (ọna ara-itankale ti aṣa <2.5mm)

Crystal idagbasoke anfani

Ìwé mora ara-itankale ọna SiC lulú Semixlab SiC ohun elo aise idagbasoke gara
Awọn iwuwo ti microtubules larin 103~ 104cm-2 <300 cm-2
Iwọn lilo ti awọn ohun elo aise 30% -40% > 50%

Idaabobo ayika ati aje

Iyọkuro idoti odo: hydrochloric acid le jẹ didoju sinu iyọ

Idinku idiyele ti 30%: ohun elo aise methyltrichlorosilane jẹ kẹmika ti o jẹ pataki ti Ilu China

Awọn kirisita SiC ti o dagba ni lilo ohun elo aise idagba SiC gara

Awọn alaye apejuwe:

1. Awọn orukọ miiran: CVD SiC block; SiC ajeku.

2. Ohun elo: Aise ohun elo fun SiC nikan gara idagbasoke.

3. Awọn paramita mojuto: Mimo> 99.9995% (GDMS lapapọ itupalẹ ipilẹ), akoonu Nitrogen ≤0.09ppm (ko si isọdi afikun), Iwọn patiku 4-10mm (ọna ti ara ẹni-ibile <2.5mm).

ni pato

ohun elo

Aise ohun elo fun SiC nikan gara idagbasoke.

ifigagbaga Anfani

1. A aseyori ni ti nw

Mimo ≥99.9995% (GDMS odidi ano onínọmbà). Akoonu Nitrojini ≤0.09ppm ti waye nipasẹ ifasilẹ oru kẹmika (ko si isọdọmọ keji). Paapa dara fun ologbele-idabobo SiC ẹyọkan awọn iwulo idagbasoke gara.

2. Iwọn patiku ati iṣapeye iwuwo

Iwọn patiku nla (4-10mm), ṣe ilọsiwaju agbara ikojọpọ crucpot (diẹ sii ju 1.5kg fun iwọn kanna), dinku awọn abawọn encapsulation erogba lakoko idagbasoke gara.

3. Awọn anfani iye owo jẹ pataki

Dinku awọn idiyele ohun elo aise nipasẹ 30%.

Lilo methyltrichlorosilane (MTS) bi iṣaju, iye owo rira ohun elo aise jẹ 1/3 nikan ti aṣa silica fume + graphite ti o ga julọ ti aṣa. Oṣuwọn lilo ohun elo aise> 50% (ilana aṣa nikan 30% -40%).

4. Idaabobo ayika ni pipade ilana lupu

Odo idoti itujade.

Hydrochloric acid, ọja-ọja ti iṣelọpọ, n ṣe awọn iyọ ti ko ni ipalara nipasẹ ifasẹyin, yago fun patapata awọn iṣoro itọju egbin mẹta ti awọn ilana ibile (awọn idiyele itọju gaasi mimu / egbin jẹ diẹ sii ju 15%).

5. Crystal didara fo

Awọn iwuwo ti microtubules jẹ <300 cm-2.

Ipin atomu Si/C ti ohun elo aise jẹ isunmọ si 1: 1 (iyipada ọna ti aṣa> 5%), idinku awọn abawọn ipinya silikoni lakoko idagbasoke gara. Ikore ingot ti 85% -92% (65% -75% ti awọn ọja idije), idinku pipadanu gige gige ẹyọkan ti awọn alabara isalẹ.

lorun

Gbona isori