Ile> akojọ ifihan
Silicon dioxide, diẹ sii ti a tọka si bi SiO₂, jẹ ohun elo bọtini kan ti a lo ni ṣiṣẹda awọn ẹrọ kekere. Ni Semixlab, a ṣe ilana wafer silikoni pẹlu awọn ilana alaye, ni lilo ilana ti a pe sio2 gbẹ etching g. Nitorina bawo ni ọna yii ṣe n ṣiṣẹ?
SiO₂ gbẹ etching tọka si ilana kan ti etching silikoni oloro lori wafer silikoni lilo awọn kemikali pato ati pilasima. Agbara tun wa ni afikun si pilasima, eyiti o jẹ iru gaasi kan. Nipasẹ pilasima, a le yọ SiO₂ Layer kuro lai fa ipalara si awọn ipele ti o wa labẹ rẹ.
Ti a ba nilo sio2 gbẹ etching lati ni imunadoko diẹ sii, a ni lati ṣeto diẹ ninu awọn nkan bii iwọn sisan gaasi, titẹ, ati agbara yatọ. Nipa ṣiṣatunṣe awọn eto wọnyi, a ni anfani lati ṣe akoso bawo ni a ṣe le yara etch ati bawo ni imunadoko ti a le ṣe etch nikan Semixlab SiO₂. Eyi ṣe pataki, bi a ṣe fẹ lati etch SiO₂ laisi fọwọkan awọn ohun elo miiran lori wafer.
Awọn ọna oriṣiriṣi lo wa lati ṣiṣẹ Semixlab SiO₂ gbẹ etching. Ọkan ninu awọn ọna ti o wọpọ ni ifaseyin ion etching (RIE), ni lilo apapo awọn gaasi fun Layer SiO₂ pilasima etching . Ni ọna miiran, ilana ion etching ti o jinlẹ (DRIE) ni a lo lati pese awọn etches ti o jinlẹ ni Layer SiO₂ ni awọn igbesẹ pupọ.
Idiju kan ni SiO₂ gbẹ etching ni lati yago fun yiyọ ohunkohun miiran ju Semixlab etching tutu SiO₂. Lati bori eyi, iboju le ṣee lo fun aabo awọn ohun elo miiran lodi si etching. Sibẹsibẹ ipenija miiran ni aridaju pe etching jẹ aṣọ ni gbogbo wafer. A le yanju iṣoro yii nipa tweaking jia ati awọn eto wa.
Semixlab SiO 2 etching gbigbẹ ni a ṣe lati ṣe awọn ẹya pataki gẹgẹbi awọn yàrà ati awọn asopọ lori awọn sobusitireti ohun alumọni. Awọn ege wọnyi jẹ pataki fun iṣelọpọ awọn nkan bii awọn iyika iṣọpọ ati awọn sensọ. A le ṣe awọn ilana idiju pupọ pẹlu sio2 gbẹ etching
EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
